Granieten componenten worden op grote schaal gebruikt in het productieproces van halfgeleiders vanwege hun uitstekende eigenschappen, zoals een superieure oppervlakteafwerking, hoge stijfheid en uitstekende trillingsdemping.Granieten componenten zijn essentieel voor apparatuur voor de fabricage van halfgeleiders, waaronder lithografiemachines, polijstmachines en metrologiesystemen, omdat ze zorgen voor nauwkeurige positionering en stabiliteit tijdens het productieproces.Ondanks alle voordelen van het gebruik van granieten componenten, hebben ze ook gebreken.In dit artikel bespreken we de defecten van granietcomponenten voor halfgeleiderproductieprocesproducten.
Ten eerste hebben granieten componenten een hoge thermische uitzettingscoëfficiënt.Het betekent dat ze aanzienlijk uitzetten onder thermische spanning, wat problemen zou kunnen veroorzaken tijdens het productieproces.Het productieproces van halfgeleiders vereist een hoge precisie en maatnauwkeurigheid, die door thermische spanning in gevaar kan komen.De vervorming van siliciumwafels als gevolg van thermische uitzetting zou bijvoorbeeld uitlijningsproblemen kunnen veroorzaken tijdens lithografie, wat de kwaliteit van het halfgeleiderapparaat in gevaar zou kunnen brengen.
Ten tweede hebben granieten componenten porositeitsdefecten die vacuümlekken kunnen veroorzaken in het productieproces van halfgeleiders.De aanwezigheid van lucht of een ander gas in het systeem kan vervuiling van het oppervlak van de wafer veroorzaken, wat resulteert in defecten die de prestaties van het halfgeleiderapparaat kunnen beïnvloeden.Inerte gassen zoals argon en helium kunnen in poreuze granietcomponenten sijpelen en gasbellen creëren die de integriteit van het vacuümproces kunnen verstoren.
Ten derde hebben granieten componenten microfracturen die de nauwkeurigheid van het productieproces kunnen verstoren.Graniet is een bros materiaal dat in de loop van de tijd microfracturen kan ontwikkelen, vooral bij blootstelling aan constante spanningscycli.De aanwezigheid van microfracturen kan leiden tot dimensionale instabiliteit, wat aanzienlijke problemen kan veroorzaken tijdens het productieproces, zoals het uitlijnen van de lithografie of het polijsten van wafels.
Ten vierde hebben granietcomponenten een beperkte flexibiliteit.Het productieproces van halfgeleiders vereist flexibele apparatuur die verschillende procesveranderingen kan accommoderen.Granietcomponenten zijn echter stijf en kunnen zich niet aanpassen aan verschillende procesveranderingen.Daarom vereisen elke verandering in het productieproces de verwijdering of vervanging van de granieten componenten, wat leidt tot stilstand en een negatieve invloed op de productiviteit.
Ten vijfde vereisen granieten componenten een speciale behandeling en transport vanwege hun gewicht en kwetsbaarheid.Graniet is een dicht en zwaar materiaal dat gespecialiseerde handlingapparatuur vereist, zoals kranen en lifters.Bovendien vereisen granieten componenten zorgvuldige verpakking en transport om schade tijdens verzending te voorkomen, wat leidt tot extra kosten en tijd.
Concluderend: granietcomponenten hebben enkele nadelen die de kwaliteit en productiviteit van producten uit het halfgeleiderproductieproces kunnen beïnvloeden.Deze defecten kunnen worden geminimaliseerd door zorgvuldige behandeling en onderhoud van granietcomponenten, inclusief periodieke inspectie op microfracturen en porositeitsdefecten, goede reiniging om verontreiniging te voorkomen, en zorgvuldige behandeling tijdens transport.Ondanks de gebreken blijven granieten componenten een essentieel onderdeel van het halfgeleiderproductieproces vanwege hun superieure oppervlakteafwerking, hoge stijfheid en uitstekende trillingsdemping.
Posttijd: 05-dec-2023