Materiaal

♦Alumina (Al .)2O3)

De precisiekeramische onderdelen geproduceerd door ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) kunnen worden gemaakt van zeer zuivere keramische grondstoffen, 92 ~ 97% aluminiumoxide, 99,5% aluminiumoxide,> 99,9% aluminiumoxide en CIP koud isostatisch persen. Sinteren op hoge temperatuur en precisiebewerking, maatnauwkeurigheid van ± 0,001 mm, gladheid tot Ra0.1, gebruikstemperatuur tot 1600 graden. Verschillende kleuren keramiek kunnen worden gemaakt volgens de eisen van de klant, zoals: zwart, wit, beige, donkerrood, enz. De precisiekeramische onderdelen die door ons bedrijf worden geproduceerd, zijn bestand tegen hoge temperaturen, corrosie, slijtage en isolatie en kunnen worden lange tijd gebruikt in een hoge temperatuur, vacuüm en corrosieve gasomgeving.

Op grote schaal gebruikt in een verscheidenheid aan productieapparatuur voor halfgeleiders: frames (keramische beugel), substraat (basis), arm / brug (manipulator), mechanische componenten en keramische luchtlagers.

AL2O3

Toepassing van zeer zuivere aluminiumoxidekeramiek:
1. Toegepast op halfgeleiderapparatuur: keramische vacuümkop, snijschijf, reinigingsschijf, keramische CHUCK.
2. Wafer-overdrachtsonderdelen: wafer-handgreephouders, wafelsnijschijven, wafelreinigingsschijven, zuignappen voor optische inspectie van wafels.
3. LED / LCD flat-panel display-industrie: keramisch mondstuk, keramische slijpschijf, LIFT PIN, PIN-rail.
4. Optische communicatie, zonne-industrie: keramische buizen, keramische staven, keramische zeefdrukkrabbers op printplaten.
5. Hittebestendige en elektrisch isolerende onderdelen: keramische lagers.
Op dit moment kan aluminiumoxidekeramiek worden onderverdeeld in zeer zuivere en gewone keramiek. De serie keramiek van aluminiumoxide met een hoge zuiverheid verwijst naar het keramische materiaal dat meer dan 99,9% Al₂O₃ bevat. Vanwege zijn sintertemperatuur tot 1650 - 1990°C en zijn transmissiegolflengte van 1 ~ 6μm, wordt het meestal verwerkt tot gesmolten glas in plaats van platinakroes: die kan worden gebruikt als natriumbuis vanwege zijn lichtdoorlatendheid en corrosieweerstand tegen reactief metaal. In de elektronica-industrie kan het worden gebruikt als het hoogfrequente isolatiemateriaal voor IC-substraten. Volgens verschillende inhoud van aluminiumoxide, kan de gemeenschappelijke aluminiumoxide keramiek serie worden onderverdeeld in 99 keramiek, 95 keramiek, 90 keramiek en 85 keramiek. Soms wordt keramiek met 80% of 75% aluminiumoxide ook geclassificeerd als gewone aluminiumoxide keramiekseries. Onder hen wordt 99 aluminiumoxide keramisch materiaal gebruikt om smeltkroes op hoge temperatuur, vuurvaste ovenbuis en speciale slijtvaste materialen te produceren, zoals keramische lagers, keramische afdichtingen en klepplaten. 95 aluminium keramiek wordt voornamelijk gebruikt als corrosiebestendig slijtvast onderdeel. 85 keramiek wordt vaak gemengd in sommige eigenschappen, waardoor de elektrische prestaties en mechanische sterkte worden verbeterd. Het kan molybdeen, niobium, tantaal en andere metalen afdichtingen gebruiken, en sommige worden gebruikt als elektrische vacuümapparaten.

 

Kwaliteitsitem (representatieve waarde) productnaam AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Chemische samenstelling natriumarm, gemakkelijk sinterproduct H₂O % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Lol % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Middelgrote deeltjesdiameter (MT-3300, laseranalysemethode) m 0,44 0,43 0.39 0.47 1.1 2.2 3
αKristalgrootte m 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 ~ 1.0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Vormdichtheid** g/cm 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2,57 2.56
Sinterdichtheid** g/cm 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Krimpsnelheid van sinterlijn** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO wordt niet meegenomen in de berekening van de zuiverheid van Al₂O₃.
* Geen aanslagpoeder 29,4 MPa (300 kg/cm²), sintertemperatuur is 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: voeg 0,05 ~ 0,1% MgO toe, de sinterbaarheid is uitstekend, dus het is van toepassing op aluminiumoxidekeramiek met een zuiverheid van meer dan 99%.
AES-22S: Gekenmerkt door een hoge vormdichtheid en een lage krimpsnelheid van de sinterlijn, is het van toepassing op slipvormgieten en andere grootschalige producten met de vereiste maatnauwkeurigheid.
AES-23 / AES-31-03: Het heeft een hogere vormdichtheid, thixotropie en een lagere viscositeit dan AES-22S. de eerste wordt gebruikt voor keramiek, terwijl de laatste wordt gebruikt als waterreductiemiddel voor brandwerende materialen en wint aan populariteit.

♦Siliciumcarbide (SiC) kenmerken

Algemene karakteristieken Zuiverheid van hoofdcomponenten (gew%) 97
Kleur zwart
Dichtheid (g/cm³) 3.1
Waterabsorptie (%) 0
Mechanische eigenschappen Buigsterkte (MPa) 400
Jonge modulus (GPa) 400
Vickers-hardheid (GPa) 20
Thermische kenmerken Maximale bedrijfstemperatuur (°C) 1600
Thermische expansiecoëfficiënt RT~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) RT~800°C 4.3
Warmtegeleidingsvermogen (W/m x K) 130 110
Thermische schokbestendigheid ΔT (°C) 300
Elektrische kenmerken: Volumeweerstand 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
diëlektrische constante 10GHz -
Diëlektrisch verlies (x 10-4) -
Q-factor (x 104) -
Diëlektrische doorslagspanning (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦Siliciumnitride keramiek

Materiaal Eenheid Si₃N₄
Sintermethode: - Gasdruk gesinterd
Dichtheid g/cm 3.22
Kleur - Donker grijs
Wateropnamesnelheid % 0
Jonge Modulus Gpa 290
Vickers-hardheid Gpa 18 - 20
Druksterkte Mpa 2200
Buigkracht Mpa 650
Warmtegeleiding W/mK 25
Weerstand tegen thermische schokken (°C) 450 - 650
Maximale bedrijfstemperatuur °C 1200
Volumeweerstand ·cm > 10 ^ 14
Diëlektrische constante - 8.2
Diëlektrische sterkte kV/mm 16