Granieten componenten worden veelvuldig gebruikt in de halfgeleiderproductie vanwege hun uitstekende eigenschappen, zoals een superieure oppervlakteafwerking, hoge stijfheid en uitstekende trillingsdemping. Granieten componenten zijn essentieel voor halfgeleiderproductieapparatuur, waaronder lithografiemachines, polijstmachines en meetsystemen, omdat ze zorgen voor nauwkeurige positionering en stabiliteit tijdens het productieproces. Ondanks alle voordelen van het gebruik van granieten componenten, kennen ze ook gebreken. In dit artikel bespreken we de gebreken van granieten componenten voor producten in de halfgeleiderproductie.
Ten eerste hebben granieten componenten een hoge thermische uitzettingscoëfficiënt. Dit betekent dat ze aanzienlijk uitzetten onder thermische spanning, wat problemen kan veroorzaken tijdens het productieproces. Het productieproces van halfgeleiders vereist een hoge precisie en dimensionale nauwkeurigheid, die door thermische spanning in het gedrang kunnen komen. Zo kan vervorming van siliciumwafers als gevolg van thermische uitzetting leiden tot uitlijningsproblemen tijdens de lithografie, wat de kwaliteit van het halfgeleiderapparaat kan beïnvloeden.
Ten tweede bevatten granieten componenten poreuze defecten die vacuümlekken kunnen veroorzaken in het halfgeleiderproductieproces. De aanwezigheid van lucht of andere gassen in het systeem kan leiden tot verontreiniging van het waferoppervlak, met defecten tot gevolg die de prestaties van het halfgeleiderapparaat kunnen beïnvloeden. Inertgassen zoals argon en helium kunnen in poreuze granieten componenten sijpelen en gasbellen vormen die de integriteit van het vacuümproces kunnen verstoren.
Ten derde bevatten granieten componenten microbreuken die de precisie van het productieproces kunnen beïnvloeden. Graniet is een bros materiaal dat na verloop van tijd microbreuken kan ontwikkelen, vooral bij blootstelling aan constante spanningscycli. De aanwezigheid van microbreuken kan leiden tot dimensionale instabiliteit, wat aanzienlijke problemen kan veroorzaken tijdens het productieproces, zoals bij lithografische uitlijning of het polijsten van wafers.
Ten vierde hebben granieten componenten een beperkte flexibiliteit. Het productieproces van halfgeleiders vereist flexibele apparatuur die verschillende proceswijzigingen kan opvangen. Granieten componenten zijn echter star en kunnen zich niet aanpassen aan verschillende proceswijzigingen. Daarom vereist elke wijziging in het productieproces het verwijderen of vervangen van de granieten componenten, wat leidt tot stilstand en een lagere productiviteit.
Ten vijfde vereisen granieten onderdelen speciale behandeling en transport vanwege hun gewicht en kwetsbaarheid. Graniet is een dicht en zwaar materiaal dat gespecialiseerde apparatuur zoals kranen en hijsinstallaties vereist. Bovendien vereisen granieten onderdelen zorgvuldige verpakking en transport om schade tijdens verzending te voorkomen, wat extra kosten en tijd met zich meebrengt.
Samenvattend hebben granieten componenten enkele nadelen die de kwaliteit en productiviteit van producten in het halfgeleiderproductieproces kunnen beïnvloeden. Deze gebreken kunnen worden geminimaliseerd door zorgvuldige behandeling en onderhoud van de granieten componenten, waaronder periodieke inspectie op microbreuken en porositeit, een goede reiniging om verontreiniging te voorkomen en zorgvuldige behandeling tijdens transport. Ondanks de gebreken blijven granieten componenten een essentieel onderdeel van het halfgeleiderproductieproces vanwege hun superieure oppervlakteafwerking, hoge stijfheid en uitstekende trillingsdemping.
Geplaatst op: 05-12-2023