Granieten componenten worden veelvuldig gebruikt in het halfgeleiderproductieproces vanwege hun uitstekende eigenschappen, zoals een superieure oppervlakteafwerking, hoge stijfheid en uitstekende trillingsdemping. Granieten componenten zijn essentieel voor apparatuur voor de productie van halfgeleiders, waaronder lithografiemachines, polijstmachines en metrologiesystemen, omdat ze zorgen voor nauwkeurige positionering en stabiliteit tijdens het productieproces. Ondanks alle voordelen van granieten componenten, vertonen ze ook defecten. In dit artikel bespreken we de defecten van granieten componenten voor producten in het halfgeleiderproductieproces.
Ten eerste hebben granietcomponenten een hoge thermische uitzettingscoëfficiënt. Dit betekent dat ze aanzienlijk uitzetten onder thermische spanning, wat problemen kan veroorzaken tijdens het productieproces. Het productieproces van halfgeleiders vereist een hoge precisie en maatnauwkeurigheid, die in gevaar kunnen komen door thermische spanning. Zo kan vervorming van siliciumwafers door thermische uitzetting uitlijningsproblemen veroorzaken tijdens de lithografie, wat de kwaliteit van het halfgeleiderapparaat in gevaar kan brengen.
Ten tweede vertonen granietcomponenten porositeitsdefecten die vacuümlekken kunnen veroorzaken tijdens het productieproces van halfgeleiders. De aanwezigheid van lucht of een ander gas in het systeem kan verontreiniging van het waferoppervlak veroorzaken, wat resulteert in defecten die de prestaties van de halfgeleider kunnen beïnvloeden. Inerte gassen zoals argon en helium kunnen in poreuze granietcomponenten sijpelen en gasbellen creëren die de integriteit van het vacuümproces kunnen verstoren.
Ten derde hebben granietcomponenten microscheuren die de nauwkeurigheid van het productieproces kunnen beïnvloeden. Graniet is een bros materiaal dat na verloop van tijd microscheuren kan ontwikkelen, vooral bij blootstelling aan constante spanningscycli. De aanwezigheid van microscheuren kan leiden tot maatinstabiliteit, wat aanzienlijke problemen kan veroorzaken tijdens het productieproces, zoals bij de uitlijning van lithografie of het polijsten van wafers.
Ten vierde hebben granietcomponenten een beperkte flexibiliteit. Het halfgeleiderproductieproces vereist flexibele apparatuur die verschillende procesveranderingen kan opvangen. Granietcomponenten zijn echter stijf en kunnen zich niet aanpassen aan verschillende procesveranderingen. Daarom vereisen wijzigingen in het productieproces de verwijdering of vervanging van de granietcomponenten, wat leidt tot downtime en een negatieve invloed heeft op de productiviteit.
Ten vijfde vereisen granieten onderdelen speciale behandeling en transport vanwege hun gewicht en kwetsbaarheid. Graniet is een compact en zwaar materiaal dat speciale apparatuur vereist, zoals kranen en hijskranen. Bovendien vereisen granieten onderdelen zorgvuldige verpakking en transport om schade tijdens de verzending te voorkomen, wat leidt tot extra kosten en tijd.
Concluderend kunnen we stellen dat granietcomponenten enkele nadelen hebben die de kwaliteit en productiviteit van producten in het halfgeleiderproductieproces kunnen beïnvloeden. Deze gebreken kunnen worden geminimaliseerd door zorgvuldige behandeling en onderhoud van granietcomponenten, waaronder periodieke inspectie op microfracturen en porositeitsdefecten, goede reiniging om besmetting te voorkomen en zorgvuldige behandeling tijdens transport. Ondanks deze gebreken blijven granietcomponenten een essentieel onderdeel van het halfgeleiderproductieproces dankzij hun superieure oppervlakteafwerking, hoge stijfheid en uitstekende trillingsdemping.
Plaatsingstijd: 5 december 2023