Granietcomponenten zijn op grote schaal gebruikt in het productieproces van halfgeleiders vanwege hun uitstekende kenmerken zoals superieure oppervlakteafwerking, hoge stijfheid en uitstekende trillingsdemping. Granietcomponenten zijn essentieel voor fabricageapparatuur voor halfgeleiders, waaronder lithografiemachines, polijstmachines en metrologiesystemen, omdat ze tijdens het productieproces precisiepositionering en stabiliteit bieden. Ondanks alle voordelen van het gebruik van granietcomponenten, hebben ze ook defecten. In dit artikel zullen we de gebreken van granietcomponenten bespreken voor producten van het productieproces van halfgeleiders.
Ten eerste hebben granietcomponenten een hoge thermische expansiecoëfficiënt. Het betekent dat ze aanzienlijk uitzetten onder thermische stress, wat problemen zou kunnen veroorzaken tijdens het productieproces. Het productieproces van halfgeleiders vereist een hoge precisie en dimensionale nauwkeurigheid die kan worden aangetast als gevolg van thermische stress. Siliciumwafelvervorming als gevolg van thermische expansie kan bijvoorbeeld uitlijningsproblemen veroorzaken tijdens lithografie, die de kwaliteit van het halfgeleiderapparaat in gevaar kunnen brengen.
Ten tweede hebben granietcomponenten porositeitsdefecten die vacuümlekken kunnen veroorzaken in het productieproces van halfgeleiders. De aanwezigheid van lucht of ander gas in het systeem kan verontreiniging op het oppervlak van de wafel veroorzaken, wat resulteert in defecten die de prestaties van het halfgeleiderapparaat kunnen beïnvloeden. Inerte gassen zoals argon en helium kunnen in poreuze granietcomponenten sijpelen en gasbellen creëren die de integriteit van het vacuümproces kunnen verstoren.
Ten derde hebben granietcomponenten microfracturen die de precisie van het productieproces kunnen verstoren. Graniet is een broos materiaal dat in de loop van de tijd microfracturen kan ontwikkelen, vooral wanneer ze worden blootgesteld aan constante stresscycli. De aanwezigheid van microfracturen kan leiden tot dimensionale instabiliteit, wat aanzienlijke problemen veroorzaakt tijdens het productieproces, zoals lithografie -afstemming of wafelpolijsten.
Ten vierde hebben granietcomponenten beperkte flexibiliteit. Het productieproces van halfgeleiders vereist flexibele apparatuur die geschikt is voor verschillende proceswijzigingen. Granietcomponenten zijn echter rigide en kunnen zich niet aanpassen aan verschillende proceswijzigingen. Daarom vereisen wijzigingen in het productieproces het verwijderen of vervangen van de granietcomponenten, wat leidt tot downtime en de productiviteit beïnvloeden.
Ten vijfde vereisen granietcomponenten speciale behandeling en transport vanwege hun gewicht en kwetsbaarheid. Graniet is een dicht en zwaar materiaal dat gespecialiseerde hanteringsapparatuur zoals kranen en lifters vereist. Bovendien vereisen granietcomponenten zorgvuldig verpakking en transport om schade tijdens verzending te voorkomen, wat leidt tot extra kosten en tijd.
Concluderend hebben granietencomponenten enkele nadelen die de kwaliteit en productiviteit van het productie van de productie van het productieproces van halfgeleider kunnen beïnvloeden. Deze defecten kunnen worden geminimaliseerd door zorgvuldige behandeling en onderhoud van granietcomponenten, inclusief periodieke inspectie voor microfracturen en porositeitsdefecten, juiste reiniging om verontreiniging en zorgvuldige behandeling tijdens transport te voorkomen. Ondanks de defecten blijven granietcomponenten een essentieel onderdeel van het productieproces van halfgeleiders vanwege hun superieure oppervlakte -afwerking, hoge stijfheid en uitstekende trillingsdemping.
Posttijd: dec-05-2023