Graniet is een hard en duurzaam materiaal dat veel gebruikt wordt in de bouwsector.Het heeft echter ook eigenschappen die het bruikbaar maken bij de productie van halfgeleiders, vooral bij de fabricage en verwerking van geïntegreerde schakelingen.Granieten componenten, zoals granieten tafels en granieten blokken, worden veel gebruikt vanwege hun stabiliteit, vlakheid en lage thermische uitzettingscoëfficiënt.
Een van de belangrijkste toepassingen van granietcomponenten bij de productie van halfgeleiders is het fabricageproces.Siliciumwafels, de basisbouwstenen van geïntegreerde schakelingen, moeten met hoge precisie en nauwkeurigheid worden vervaardigd.Elke vervorming of beweging tijdens het proces kan leiden tot defecten die de kwaliteit en functionaliteit van de geïntegreerde schakelingen kunnen beïnvloeden.Granieten tafels bieden met hun hoge stabiliteit en vlakheid een goed platform voor de wafelverwerkingsapparatuur.Ze zijn ook bestand tegen thermische uitzetting en krimp veroorzaakt door de verwarming en koeling die tijdens het proces nodig is.
Granieten blokken worden ook gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders vanwege hun thermische stabiliteit.Tijdens ets- of depositieprocessen worden hete gassen of plasma's gebruikt om het oppervlak van de siliciumwafel te modificeren.De temperatuur van de wafer moet worden gecontroleerd om ervoor te zorgen dat het proces efficiënt en nauwkeurig wordt uitgevoerd.Granieten blokken, met hun lage thermische uitzettingscoëfficiënt, helpen de temperatuur van de wafel te stabiliseren, waardoor het risico op temperatuurschommelingen wordt verminderd die de kwaliteit van het verwerkte materiaal kunnen beïnvloeden.
Naast de fabricage- en verwerkingsprocessen worden granieten componenten ook gebruikt in de metrologie- en inspectiefasen van de productie van halfgeleiders.Metrologische metingen worden uitgevoerd om ervoor te zorgen dat de grootte, vorm en positie van de structuren op de wafer binnen de vereiste specificaties vallen.Granieten blokken worden bij deze metingen als referentiestandaard gebruikt vanwege hun maatvastheid en nauwkeurigheid.Ze worden ook gebruikt in inspectiefasen, waarbij de kwaliteit van de geïntegreerde schakelingen onder sterke vergroting wordt gecontroleerd.
Over het geheel genomen is het gebruik van granietcomponenten bij de productie van halfgeleiders de afgelopen jaren toegenomen.De behoefte aan hoge precisie, nauwkeurigheid en stabiliteit bij de fabricage en verwerking van geïntegreerde schakelingen heeft de acceptatie van deze materialen door halfgeleiderfabrikanten gestimuleerd.De unieke eigenschappen van graniet, zoals de hardheid, stabiliteit en lage thermische uitzettingscoëfficiënt, maken het een uitstekende keuze voor gebruik in deze processen.Met de voortdurende ontwikkeling en verbetering van de halfgeleidertechnologie wordt verwacht dat het gebruik van granietcomponenten in de toekomst verder zal groeien.
Posttijd: 05-dec-2023