Graniet is een hard en duurzaam materiaal dat veel wordt gebruikt in de bouwsector. Het heeft echter ook eigenschappen die het bruikbaar maken in de halfgeleiderindustrie, met name bij de fabricage en verwerking van geïntegreerde schakelingen. Granieten componenten, zoals granieten tafels en granieten blokken, worden veel gebruikt vanwege hun stabiliteit, vlakheid en lage thermische uitzettingscoëfficiënt.
Een van de belangrijkste toepassingen van granietcomponenten in de halfgeleiderproductie is het fabricageproces. Siliciumwafers, de basisbouwstenen van geïntegreerde schakelingen, moeten met hoge precisie en nauwkeurigheid worden vervaardigd. Elke vervorming of beweging tijdens het proces kan leiden tot defecten die de kwaliteit en functionaliteit van de geïntegreerde schakelingen kunnen beïnvloeden. Granieten tafels, met hun hoge stabiliteit en vlakheid, vormen een goed platform voor de waferverwerkingsapparatuur. Ze zijn ook bestand tegen thermische uitzetting en krimp die worden veroorzaakt door de verwarming en koeling die nodig zijn tijdens het proces.
Granietblokken worden ook gebruikt in de halfgeleiderverwerking vanwege hun thermische stabiliteit. Tijdens ets- of depositieprocessen worden hete gassen of plasma's gebruikt om het oppervlak van de siliciumwafer te modificeren. De temperatuur van de wafer moet worden gecontroleerd om een efficiënte en nauwkeurige uitvoering van het proces te garanderen. Granietblokken, met hun lage thermische uitzettingscoëfficiënt, helpen de temperatuur van de wafer te stabiliseren, waardoor het risico op temperatuurschommelingen die de kwaliteit van het verwerkte materiaal kunnen beïnvloeden, wordt verminderd.
Naast de fabricage- en verwerkingsprocessen worden granietcomponenten ook gebruikt in de metrologische en inspectiefasen van de halfgeleiderproductie. Metrologische metingen worden uitgevoerd om te garanderen dat de grootte, vorm en positie van de structuren op de wafer binnen de vereiste specificaties vallen. Granieten blokken worden bij deze metingen als referentiestandaard gebruikt vanwege hun maatvastheid en nauwkeurigheid. Ze worden ook gebruikt in inspectiefasen, waar de kwaliteit van de geïntegreerde schakelingen onder hoge vergroting wordt gecontroleerd.
Over het algemeen is het gebruik van granietcomponenten in de halfgeleiderproductie de afgelopen jaren toegenomen. De behoefte aan hoge precisie, nauwkeurigheid en stabiliteit bij de fabricage en verwerking van geïntegreerde schakelingen heeft de acceptatie van deze materialen door halfgeleiderfabrikanten gestimuleerd. De unieke eigenschappen van graniet, zoals de hardheid, stabiliteit en lage thermische uitzettingscoëfficiënt, maken het een uitstekende keuze voor gebruik in deze processen. Met de voortdurende ontwikkeling en verbetering van de halfgeleidertechnologie zal het gebruik van granietcomponenten naar verwachting in de toekomst verder toenemen.
Plaatsingstijd: 5 december 2023