Graniet is een hard en duurzaam materiaal dat vaak wordt gebruikt in de bouwsector. Het heeft echter ook eigenschappen die het nuttig maken bij de productie van halfgeleiders, met name bij de fabricage en verwerking van geïntegreerde circuits. Granietcomponenten, zoals granietentafels en granietblokken, worden veel gebruikt voor hun stabiliteit, vlakheid en lage thermische expansiecoëfficiënt.
Een van de primaire toepassingen van granietcomponenten in de productie van halfgeleiders bevindt zich in het fabricageproces. Siliconenwafels, de basisbouwstenen van geïntegreerde circuits, moeten worden gefabriceerd met hoge precisie en nauwkeurigheid. Elke vervorming of beweging tijdens het proces kan leiden tot gebreken die de kwaliteit en functionaliteit van de geïntegreerde circuits kunnen beïnvloeden. Granieten tafels, met hun hoge stabiliteit en vlakheid, bieden een goed platform voor de wafelverwerkingsapparatuur. Ze zijn ook bestand tegen thermische expansie en samentrekking veroorzaakt door de verwarming en koeling die nodig is in het proces.
Granietblokken worden ook gebruikt in de verwerking van halfgeleiders voor hun thermische stabiliteit. Tijdens etsen- of afzettingsprocessen worden hete gassen of plasma's gebruikt om het oppervlak van de siliciumwafer te wijzigen. De temperatuur van de wafer moet worden geregeld om ervoor te zorgen dat het proces efficiënt en nauwkeurig wordt uitgevoerd. Granietblokken, met hun lage thermische expansiecoëfficiënt, helpen de temperatuur van de wafel te stabiliseren, waardoor het risico op temperatuurschommelingen wordt verminderd die de kwaliteit van het bewerkte materiaal kunnen beïnvloeden.
Afgezien van de fabricage- en verwerkingsprocessen, worden granietcomponenten ook gebruikt in de metrologie- en inspectiestadia van de productie van halfgeleiders. Metrologiemetingen worden uitgevoerd om ervoor te zorgen dat de grootte, vorm en positie van de structuren op de wafel binnen de vereiste specificaties vallen. Granietblokken worden gebruikt als referentienormen in deze metingen vanwege hun dimensionale stabiliteit en nauwkeurigheid. Ze worden ook gebruikt in inspectiefase, waarbij de kwaliteit van de geïntegreerde circuits wordt gecontroleerd onder hoge vergroting.
Over het algemeen is het gebruik van granietcomponenten in de productie van halfgeleiders de afgelopen jaren toegenomen. De behoefte aan hoge precisie, nauwkeurigheid en stabiliteit bij de fabricage en verwerking van geïntegreerde circuits heeft de acceptatie van deze materialen door halfgeleidersfabrikanten aangedreven. De unieke eigenschappen van graniet, zoals zijn hardheid, stabiliteit en lage thermische expansiecoëfficiënt, maken het een uitstekende keuze voor gebruik in deze processen. Met de voortdurende ontwikkeling en verbetering van halfgeleidertechnologie wordt verwacht dat het gebruik van granietcomponenten in de toekomst verder zal groeien.
Posttijd: dec-05-2023