Graniet luchtlagersystemen worden veelvuldig gebruikt inultraprecisieBewegingsplatformen voor de productie van halfgeleiders, optische uitlijning en metrologie op nanometerschaal.
Deze systemen elimineren mechanisch contact door gebruik te maken van een dunne laag perslucht, waardoor wrijving vrijwel nihil is.
Luchtlagerprincipe
Luchtlagers werken door perslucht tussen twee oppervlakken te brengen, waardoor een luchtfilm van 2–20 μm ontstaat.
Dit sluit uit:
- Mechanische wrijving
- Dragen
- Stick-slip gedrag
Het systeem is gebaseerd op de dynamiek van de vloeistoffilm en stabiele laminaire stroming.
De rol van graniet
Graniet biedt:
- Structurele stabiliteit
- Onderdrukking van thermische drift
- Trillingsdemping
Het dient als mechanisch referentiepunt voor het bewegingssysteem.
Systeemcomponenten
- Granieten basis
- Luchtlagerblokken
- Luchttoevoersysteem
- Precisie-encoders
- Bewegingsbesturingssysteem
Prestatiekenmerken
Een typische uitvoering omvat:
- Positioneringsnauwkeurigheid van minder dan een micron
- Hoge rechtlijnigheid over lange afstanden
- Geen mechanische speling
Belangrijke foutbronnen zijn onder andere instabiliteit van de luchtdruk, thermische drift en encoderfouten.
Toepassingen
- inspectie van halfgeleiderwafels
- Lithografiesystemen
- Optische uitlijningsplatformen
- Hoogwaardige meetapparatuur
Veelgestelde vragen
Slijten luchtlagers?
Door mechanisch contact te vermijden, wordt slijtage voorkomen.
Waarom graniet gebruiken?
Voor stabiliteit en trillingsdemping.
Wat beperkt de nauwkeurigheid?
Luchtstabiliteit en thermische effecten.
Kunnen ze zware lasten dragen?
Ja, afhankelijk van het ontwerp.
Geplaatst op: 3 juli 2026