Graniet is een uitstekend materiaal voor machinefundamenten, met name voor waferverwerkingsapparatuur, vanwege zijn unieke eigenschappen zoals hoge stijfheid, lage thermische uitzetting en superieure trillingsdempende eigenschappen. Hoewel metaal traditioneel als materiaal voor machinefundamenten werd gebruikt, is graniet uitgegroeid tot een superieur alternatief om de volgende redenen:
Hoge stijfheid: Een machinebasis moet stijf en stabiel zijn om trillingen te minimaliseren en de nauwkeurigheid tijdens de waferbewerking te behouden. Graniet heeft een hoge stijfheid-gewichtsverhouding, waardoor het extreem stijf en stabiel is, trillingen vermindert en een uitstekende bewerkingsnauwkeurigheid garandeert.
Lage thermische uitzetting: Temperatuurschommelingen kunnen ervoor zorgen dat metaal uitzet of krimpt, wat resulteert in dimensionale veranderingen in de machinebasis en leidt tot onnauwkeurigheden in de bewerking. Graniet daarentegen heeft een lage thermische uitzettingscoëfficiënt, wat betekent dat het niet veel uitzet of krimpt bij temperatuurschommelingen, waardoor stabiliteit en nauwkeurigheid in de bewerking worden gewaarborgd.
Superieure trillingsdemping: Trillingen zijn een veelvoorkomend probleem bij werktuigmachines en kunnen leiden tot maatafwijkingen, problemen met de oppervlakteafwerking en zelfs voortijdige slijtage van de machineonderdelen. Graniet staat bekend om zijn uitstekende trillingsdempende eigenschappen, wat betekent dat het trillingen kan absorberen en dempen, waardoor een soepele en nauwkeurige bewerking wordt gegarandeerd.
Chemische bestendigheid: Bij de verwerking van wafers worden diverse chemicaliën gebruikt. Blootstelling aan deze chemicaliën kan na verloop van tijd corrosie en aantasting van de machinebasis veroorzaken. Graniet is zeer bestand tegen chemische corrosie, waardoor het een veilige en duurzame materiaalkeuze is voor machinebases in waferverwerkingsapparatuur.
Weinig onderhoud: Graniet vereist minimaal onderhoud, is gemakkelijk schoon te maken en corrodeert of roest niet zoals metaal. Dit vertaalt zich in lagere onderhoudskosten en minder stilstand van de apparatuur.
Over het algemeen biedt de keuze voor graniet in plaats van metaal als machinebasis voor waferverwerkingsapparatuur diverse voordelen, waaronder een hoge stijfheid, lage thermische uitzetting, superieure trillingsdemping, uitstekende chemische bestendigheid en weinig onderhoud. Deze voordelen zorgen ervoor dat de machinebasis stabiel, nauwkeurig en duurzaam blijft, wat resulteert in hoogwaardige waferverwerking en een verhoogde productiviteit.
Geplaatst op: 28 december 2023