Graniet is een uitstekend materiaal voor machinevoeten, met name voor waferverwerkingsapparatuur, vanwege de unieke eigenschappen zoals hoge stijfheid, lage thermische uitzetting en superieure trillingsdemping. Hoewel metaal traditioneel wordt gebruikt als materiaal voor machinevoeten, is graniet om de volgende redenen een beter alternatief gebleken:
Hoge stijfheid: Een machinevoet moet stijf en stabiel zijn om trillingen te minimaliseren en de nauwkeurigheid tijdens de waferbewerking te behouden. Graniet heeft een hoge stijfheid-gewichtsverhouding, waardoor het extreem stijf en stabiel is, waardoor trillingen worden verminderd en een uitstekende bewerkingsnauwkeurigheid wordt gegarandeerd.
Lage thermische uitzetting: Temperatuurveranderingen kunnen ervoor zorgen dat metaal uitzet of krimpt, wat resulteert in maatveranderingen in de machinebasis en onnauwkeurigheden in de verwerking. Graniet daarentegen heeft een lage thermische uitzettingscoëfficiënt, wat betekent dat het niet veel uitzet of krimpt bij temperatuurveranderingen, wat zorgt voor stabiliteit en nauwkeurigheid tijdens de verwerking.
Superieure trillingsdemping: Trillingen zijn een veelvoorkomend probleem bij gereedschapsmachines en kunnen leiden tot maatafwijkingen, problemen met de oppervlakteafwerking en zelfs voortijdige slijtage van de machineonderdelen. Graniet staat bekend om zijn uitstekende trillingsdempende eigenschappen, wat betekent dat het trillingen kan absorberen en dempen, wat zorgt voor een soepele en nauwkeurige bewerking.
Chemische bestendigheid: Waferverwerking omvat het gebruik van diverse chemicaliën, en blootstelling aan deze chemicaliën kan na verloop van tijd corrosie en degradatie van de machinebasis veroorzaken. Graniet is zeer goed bestand tegen chemische corrosie, waardoor het een veilige en duurzame materiaalkeuze is voor machinebasissen in waferverwerkingsapparatuur.
Onderhoudsarm: Graniet vereist minimaal onderhoud, is gemakkelijk schoon te maken en corrodeert of roest niet zoals metaal. Dit resulteert in lagere onderhoudskosten en minder uitvaltijd van de apparatuur.
Over het algemeen biedt de keuze voor graniet boven metaal als machinebasis voor waferverwerkingsapparatuur verschillende voordelen, waaronder hoge stijfheid, lage thermische uitzetting, superieure trillingsdemping, uitstekende chemische bestendigheid en weinig onderhoud. Deze voordelen garanderen een stabiele, nauwkeurige en duurzame machinebasis, wat resulteert in hoogwaardige waferverwerking en een hogere productiviteit.
Plaatsingstijd: 28-12-2023