Graniet is een uitstekend materiaal voor machinebases, vooral voor waferverwerkingsapparatuur, vanwege zijn unieke eigenschappen zoals hoge stijfheid, lage thermische uitzetting en superieure trillingsdempende eigenschappen.Hoewel metaal van oudsher wordt gebruikt als materiaal voor machineonderstellen, is graniet om de volgende redenen een superieur alternatief gebleken:
Hoge stijfheid: Een machinebasis moet stijf en stabiel zijn om trillingen te minimaliseren en de nauwkeurigheid tijdens de waferverwerking te behouden.Graniet heeft een hoge stijfheid-gewichtsverhouding, waardoor het extreem stijf en stabiel is, waardoor trillingen worden verminderd en een uitstekende bewerkingsnauwkeurigheid wordt gegarandeerd.
Lage thermische uitzetting: Temperatuurveranderingen kunnen ervoor zorgen dat metaal uitzet of krimpt, wat resulteert in maatveranderingen in de machinebasis en tot onnauwkeurigheden bij de verwerking.Graniet daarentegen heeft een lage thermische uitzettingscoëfficiënt, wat betekent dat het niet veel uitzet of krimpt bij temperatuurveranderingen, wat stabiliteit en nauwkeurigheid bij de verwerking garandeert.
Superieure trillingsdemping: Trillingen zijn een veelvoorkomend probleem bij werktuigmachines en kunnen leiden tot maatfouten, problemen met de oppervlakteafwerking en zelfs voortijdige slijtage van de machineonderdelen.Graniet staat bekend om zijn uitstekende trillingsdempende eigenschappen, wat betekent dat het trillingen kan absorberen en dempen, wat zorgt voor een soepele en nauwkeurige verwerking.
Chemische weerstand: Bij de verwerking van wafers worden verschillende chemicaliën gebruikt. Blootstelling aan deze chemicaliën kan na verloop van tijd corrosie en degradatie van de machinebasis veroorzaken.Graniet is zeer goed bestand tegen chemische corrosie, waardoor het een veilige en duurzame materiaalkeuze is voor machinebases in waferverwerkingsapparatuur.
Weinig onderhoud: Graniet heeft minimaal onderhoud nodig, is gemakkelijk schoon te maken en corrodeert of roest niet zoals metaal.Dit vertaalt zich in lagere onderhoudskosten en minder stilstand van de apparatuur.
Over het geheel genomen biedt het kiezen van graniet boven metaal voor een machinebasis voor waferverwerkingsapparatuur verschillende voordelen, waaronder hoge stijfheid, lage thermische uitzetting, superieure trillingsdemping, uitstekende chemische bestendigheid en weinig onderhoud.Deze voordelen zorgen ervoor dat de machinebasis stabiel, nauwkeurig en duurzaam blijft, wat resulteert in hoogwaardige waferverwerking en verhoogde productiviteit.
Posttijd: 28 december 2023