Graniet wordt al vele jaren op grote schaal gebruikt bij de productie en het ontwerp van halfgeleiderapparatuur. Dit komt door de uitstekende eigenschappen, waardoor het voor veel toepassingen een ideaal materiaal is. Graniet is zeer bestand tegen slijtage, corrosie en thermische schokken, waardoor het geschikt is voor gebruik in harde omgevingen. In dit artikel zullen we enkele van de gemeenschappelijke toepassingen van graniet in halfgeleiderapparatuur bespreken.
1. Metrologieapparatuur
Metrologieapparatuur wordt gebruikt om de afmetingen en eigenschappen van halfgeleiderapparaten te meten. Graniet wordt vaak gebruikt als basis voor dergelijke apparatuur vanwege de hoge dimensionale stabiliteit. De vlakheid en precisie van het granietoppervlak bieden een ideale referentie voor nauwkeurige metingen. Bovendien vermindert de thermische stabiliteit van graniet het risico op dimensionale veranderingen als gevolg van temperatuurvariaties.
2. Optische apparatuur
Graniet wordt ook gebruikt in optische apparatuur zoals lithografiemachines, die worden gebruikt bij de fabricage van halfgeleiderapparaten. De granietbasis biedt een stabiel platform voor de zeer nauwkeurige optiek die in deze machines wordt gebruikt. Granite's uitstekende trillingsdempende eigenschappen helpen ook om trillingen te verminderen die de prestaties en nauwkeurigheid van de optica kunnen beïnvloeden.
3. Wafer -verwerkingsapparatuur
Semiconductor -waferverwerking omvat verschillende stappen, waaronder reiniging, etsen en depositie. Graniet wordt gebruikt in verschillende componenten van de wafelverwerkingsapparatuur. Graniet wordt bijvoorbeeld gebruikt als een substraat voor apparatuur voor chemische dampafzetting (CVD), die wordt gebruikt om dunne films op siliciumwafels af te zetten. Graniet wordt ook gebruikt bij de constructie van etsenkamers en andere procesvaten, waar de uitstekende chemische resistentie en dimensionale stabiliteit essentieel zijn.
4. Testapparatuur
Testapparatuur wordt gebruikt om de prestaties en kwaliteit van halfgeleiderapparaten te verifiëren. Graniet wordt vaak gebruikt als basis voor testapparatuur vanwege de hoge stijfheid en stabiliteit. Graniet biedt een niet-magnetisch en niet-geleidend platform dat interferentie met gevoelige testapparatuur elimineert. De vlakheid en precisie van het granietoppervlak zorgen voor zeer nauwkeurige testresultaten.
Conclusie
Concluderend is graniet een belangrijk materiaal bij het ontwerp en de productie van halfgeleiderapparatuur. De uitstekende eigenschappen, waaronder dimensionale stabiliteit, thermische stabiliteit, chemische weerstand en trillingsdempen, maken het voor veel toepassingen een ideaal materiaal. Graniet wordt gebruikt in verschillende kritieke componenten van halfgeleiderapparatuur, waaronder metrologieapparatuur, optische apparatuur, wafelverwerkingsapparatuur en testapparatuur. Omdat de vraag naar snellere, kleinere en krachtigere halfgeleiderapparaten blijft groeien, blijft het gebruik van graniet in halfgeleiderapparatuur waarschijnlijk essentieel.
Posttijd: APR-08-2024