Halfgeleiderproductie
Lithografie: Lithografie is een essentieel proces in de halfgeleiderproductie dat de precieze overdracht van complexe circuitpatronen op wafers vereist. Het XYT precisieplatform met actieve trillingsisolatie op een granieten basis biedt stabiele ondersteuning en nauwkeurige positionering voor de lithografieapparatuur. Hierdoor wordt de positioneringsnauwkeurigheid van de wafertafel tijdens het belichtingsproces tot op nanometerniveau gebracht, waardoor patroonafwijkingen als gevolg van trillingen en thermische vervorming effectief worden verminderd en de productienauwkeurigheid en het rendement van de chip worden verbeterd.
Waferinspectie: Na de productie van de wafer is een uiterst nauwkeurige inspectie noodzakelijk om kleine defecten en andere afwijkingen op te sporen. Het XYT precisieplatform met actieve trillingsisolatie kan detectieapparatuur, zoals een elektronenbundelmicroscoop en een atoomkrachtmicroscoop, dragen. Hierdoor blijft de beweging stabiel en de positionering nauwkeurig tijdens het detectieproces. Dit zorgt ervoor dat de detectieapparatuur het waferoppervlak nauwkeurig kan scannen, waardoor de resolutie en nauwkeurigheid van de detectie worden verbeterd.
Fabricage van optische instrumenten
Lensslijpen en -polijsten: Bij de productie van optische lenzen is het noodzakelijk om de lenzen met hoge precisie te slijpen en te polijsten om goede optische eigenschappen te verkrijgen. Het XYT precisieplatform met actieve trillingsisolatie kan de bewegingsbaan van de slijp- en polijstgereedschappen nauwkeurig controleren, terwijl de granieten basis externe trillingen isoleert en de impact van trillingen op de bewerkingsnauwkeurigheid vermindert. Dit garandeert dat de vlakheid en afwerking van het lensoppervlak voldoen aan de ontwerpvereisten.
Montage van het optische systeem: Tijdens de montage van het optische systeem moeten diverse optische componenten nauwkeurig op een specifieke positie worden geplaatst om een accurate lichtvoortplanting en beeldkwaliteit te garanderen. Het XYT precisieplatform met actieve trillingsisolatie en granieten voet biedt een stabiel platform voor de installatie en afstelling van optische componenten en maakt een zeer nauwkeurige uitlijning en montage van de componenten mogelijk door middel van precieze bewegingscontrole.
ruimtevaart
Test van een traagheidsnavigatiesysteem: Een traagheidsnavigatiesysteem is een belangrijk navigatiemiddel in de lucht- en ruimtevaart, en de nauwkeurigheid ervan heeft een directe invloed op de navigatienauwkeurigheid en de vliegveiligheid van vliegtuigen. Tijdens het testen van een traagheidsnavigatiesysteem is het noodzakelijk om een zeer nauwkeurige draaitafel te gebruiken om verschillende bewegingstoestanden van het vliegtuig te simuleren. Het XYT precisie actieve trillingsdempende bewegingsplatform kan worden gebruikt als ondersteuningsplatform voor de draaitafel. Door middel van nauwkeurige bewegingscontrole en goede trillingsdemping biedt het een stabiele en nauwkeurige bewegingsomgeving voor de test van het traagheidsnavigatiesysteem, waardoor de testnauwkeurigheid en -betrouwbaarheid worden verbeterd.
Bewerking van vliegtuigmotorbladen: De bewerkingsnauwkeurigheid van vliegtuigmotorbladen heeft een belangrijke invloed op de prestaties en efficiëntie van de motor. Het XYT precisieplatform met actieve trillingsisolatie kan worden toegepast bij de bewerking van bladen, bijvoorbeeld in een vijfassig bewerkingscentrum. Door de bewegingsbaan van het gereedschap nauwkeurig te controleren en een stabiele bewerkingsomgeving te handhaven, wordt een zeer nauwkeurige bewerking van het blad mogelijk gemaakt, waardoor de profielnauwkeurigheid en oppervlaktekwaliteit van het blad voldoen aan de ontwerpvereisten.
Wetenschappelijk onderzoek testen
Nanowetenschappelijk onderzoek: Bij nanowetenschappelijk onderzoek is het noodzakelijk om objecten op nanoschaal te bewerken en te observeren, zoals bij de bereiding van nanomaterialen en de assemblage van nanodevices. De granieten basis van het XYT precisieplatform met actieve trillingsisolatie biedt positioneringsnauwkeurigheid op submicron- of zelfs nanoniveau, vormt een stabiel en nauwkeurig experimenteel platform voor nanowetenschappelijk onderzoek en helpt wetenschappers de mysteries van de nanowereld beter te ontrafelen.
Biomedische beeldvorming: In de biomedische sector, bijvoorbeeld met fluorescentiemicroscopie, confocale microscopie en andere beeldvormingstechnieken, zijn nauwkeurige positionering en stabiele beeldvorming van het monster vereist om biologische beelden met hoge resolutie te verkrijgen. Het XYT precisieplatform met actieve trillingsisolatie kan biologische monsters dragen, trillingen en verschuivingen van de monsters verminderen door middel van nauwkeurige bewegingscontrole en goede trillingsisolatie, de kwaliteit en nauwkeurigheid van de beeldvorming verbeteren en biomedische onderzoekers helpen bij het uitvoeren van diepgaand onderzoek naar cellen, weefsels en andere microscopische structuren.
Geplaatst op: 11 april 2025