Het “onzichtbare schild” van het nauwkeurige hydrostatische luchtdrijvende bewegingsplatform: de strenge milieuvereisten van de granieten precisiebasis.

Op het gebied van hoogwaardige productie en baanbrekend wetenschappelijk onderzoek is een precisieplatform met statische druk en luchtverplaatsing de belangrijkste apparatuur voor ultraprecieze werking. De granieten precisiebasis vormt het belangrijkste ondersteunende onderdeel van het platform en de prestaties ervan hangen nauw samen met de werkomgeving. Inzicht in en naleving van deze omgevingseisen kan niet alleen de uiterst nauwkeurige werking van het platform garanderen, maar is ook een belangrijk onderdeel van de onderneming om haar concurrentievermogen in aanverwante sectoren te verbeteren, die hieronder in detail worden beschreven.

zhhimg iso
1. Temperatuur: nauwkeurige controle om de maatvastheid te garanderen
Hoewel graniet bekend staat om zijn stabiliteit, is de thermische uitzettingscoëfficiënt niet nul en kunnen kleine temperatuurveranderingen de maatnauwkeurigheid nog steeds beïnvloeden. Over het algemeen bedraagt ​​de thermische uitzettingscoëfficiënt van graniet 5-7 × 10⁻⁶/℃. In het toepassingsscenario van een precisieplatform voor statische luchtdrukbewegingen wordt deze kleine verandering versterkt door het platform, wat kan leiden tot afwijkingen in de bewegingsnauwkeurigheid. Bijvoorbeeld, in het productieproces van halfgeleiderchips, kan het lithografieproces voor positioneringsnauwkeurigheidsvereisten van danami-niveau, bij een schommeling van de omgevingstemperatuur van 1 °C, de zijdelengte van een granieten basis van 1 meter 5-7 micron lineaire uitzetting of krimp veroorzaken, wat voldoende is om de afwijking van het chiplithografiepatroon te veroorzaken en de opbrengst te verlagen. Daarom moet de ideale werkomgevingstemperatuur strikt worden gecontroleerd op 20 ° C ± 1 ° C, zodat het nauwkeurige statische luchtdrukplatform met granieten precisiebasis is uitgerust. Bedrijven kunnen een zeer nauwkeurig airconditioningsysteem met constante temperatuur installeren, de omgevingstemperatuur continu bewaken en nauwkeurig aanpassen, de grootte van de stabiliteit van de granieten basis handhaven en ervoor zorgen dat het platform zeer nauwkeurig werkt.
2.vochtigheid: redelijke controle, bescherming van de basisprestaties
Vochtigheid heeft ook een aanzienlijk effect op precisie granieten sokkels. In een omgeving met een hoge luchtvochtigheid absorbeert graniet gemakkelijk waterdamp, waardoor condensatie op het oppervlak kan ontstaan. Dit verstoort niet alleen de normale werking van het luchtflotatiesysteem, maar leidt ook tot erosie op lange termijn van het granietoppervlak, waardoor de nauwkeurigheid en levensduur afnemen. Neem bijvoorbeeld de werkplaats voor het slijpen van optische lenzen: als de luchtvochtigheid gedurende langere tijd hoger is dan 60% RV, zal de waterdamp die op het oppervlak van de granieten sokkel wordt geadsorbeerd de uniformiteit van de luchtflotatiefilm verstoren, wat resulteert in een afname van de nauwkeurigheid van het slijpen van lenzen en oppervlaktedefecten. Daarom moet de relatieve luchtvochtigheid in de werkomgeving worden geregeld tussen 40% en 60% RV. Bedrijven kunnen luchtontvochtigers, vochtigheidssensoren en andere apparatuur gebruiken om de luchtvochtigheid in realtime te bewaken en te regelen, een geschikte vochtigheidsomgeving te creëren voor de precisie granieten sokkel en de stabiele werking van het precisie statische luchtflotatieplatform te garanderen.

precisie graniet26
3. reinheid: strikte controle, elimineer deeltjesinterferentie
Stofdeeltjes zijn de "vijand" van precisieplatforms met statische luchtdruk en brengen grote schade toe aan de granieten precisiebasis. Zodra de kleine deeltjes de gasfilmspleet tussen de gasvlotter en de granieten basis binnendringen, kunnen ze de uniformiteit van de gasfilm verstoren, de wrijving verhogen en zelfs het oppervlak van de basis krassen, wat de nauwkeurigheid van de platformbeweging ernstig beïnvloedt. In de ultraprecieze werkplaats voor lucht- en ruimtevaartonderdelen kan de bewegingsbaan van het bewerkingsgereedschap afwijken als stofdeeltjes in de lucht op de granieten basis vallen, wat de bewerkingsnauwkeurigheid van de onderdelen beïnvloedt. Daarom moet de werkruimte zeer schoon worden gehouden en een reinheidsnorm van 10.000 of zelfs hoger bereiken. Bedrijven kunnen stofdeeltjes uit de lucht filteren door hoogrendementsluchtfilters (HEPA) te installeren en hun personeel te verplichten stofvrije kleding, schoenovertrekken, enz. te dragen om de door mensen meegebrachte stofdeeltjes te verminderen en de uiterst nauwkeurige werkomgeving van de granieten basis en het precisieplatform met statische luchtdruk te behouden.
4. Trillingen: Effectieve isolatie om een ​​gladde ruimte te creëren
Externe trillingen kunnen de nauwkeurigheid van het precisieplatform met statische luchtdruk ernstig verstoren. Hoewel de precisiebasis van graniet een zekere trillingsdemping heeft, kunnen de trillingen met hoge sterkte de bufferlimiet toch overschrijden. De trillingen die worden gegenereerd door het verkeer rond de fabriek en de werking van grote mechanische apparatuur worden via de grond overgedragen op de granietbasis, wat de nauwkeurigheid van de platformbeweging beïnvloedt. Bij hoogwaardige CMM's kunnen trillingen ertoe leiden dat het contact tussen de meetsonde en het te meten werkstuk instabiel is, wat resulteert in afwijkingen in de meetgegevens. Om dit probleem op te lossen, zijn effectieve trillingsisolatiemaatregelen nodig, zoals het leggen van trillingsisolatiepads in de installatieruimte van de apparatuur, het bouwen van een trillingsisolatiefundering of het gebruik van een actief trillingsisolatiesysteem om externe trillingen actief te compenseren en een stille en stabiele werkomgeving te creëren voor de precisiebasis van graniet en het precisieplatform met statische luchtdruk.
Voldoe aan de bovenstaande milieuvereisten om de voordelen van een granieten precisiebasis in het precisieplatform voor statische luchtdruk- en zweefbewegingen volledig te benutten. Dit garandeert dat het platform zeer nauwkeurige en stabiele bewegingsbesturingsdiensten levert voor diverse industrieën. Bedrijven die in hun productieomgeving aandacht besteden aan deze details, zullen kansen grijpen in precisieproductie, wetenschappelijk onderzoek en andere sectoren, hun concurrentievermogen vergroten en een duurzame ontwikkeling realiseren.

precisie graniet22


Plaatsingstijd: 10 april 2025