In de wereld van hoogwaardige productie en baanbrekend wetenschappelijk onderzoek is een precisieplatform met statische luchtdruk een essentieel onderdeel voor uiterst nauwkeurige bewerkingen. De granieten precisiebasis vormt het belangrijkste ondersteunende onderdeel van het platform en de prestaties ervan zijn sterk afhankelijk van de werkomgeving. Inzicht in en naleving van deze omgevingsvereisten garandeert niet alleen een uiterst nauwkeurige werking van het platform, maar draagt ook bij aan de versterking van de concurrentiepositie van de onderneming in de betreffende sector. Dit wordt hieronder nader toegelicht.
1. Temperatuur: nauwkeurige regeling om dimensionale stabiliteit te garanderen
Hoewel graniet bekendstaat om zijn stabiliteit, is de thermische uitzettingscoëfficiënt niet nul en kunnen kleine temperatuurschommelingen de dimensionale nauwkeurigheid beïnvloeden. Over het algemeen bedraagt de thermische uitzettingscoëfficiënt van graniet 5-7 × 10⁻⁶/℃. In een toepassingsscenario met een precisieplatform voor statische luchtdrukbewegingen wordt deze kleine verandering versterkt door het platform zelf, wat kan leiden tot afwijkingen in de bewegingsnauwkeurigheid. Bijvoorbeeld, in het productieproces van halfgeleiderchips, waar positioneringsnauwkeurigheid op danami-niveau vereist is, kan een omgevingstemperatuurschommeling van 1 °C ervoor zorgen dat een granieten basis van 1 meter lengte 5-7 micron uitzet of krimpt. Dit is voldoende om afwijkingen in het lithografiepatroon van de chip te veroorzaken en de opbrengst te verlagen. Daarom moet de ideale werkomgevingstemperatuur van het nauwkeurige, statische luchtdrukplatform met een granieten precisiebasis strikt worden gecontroleerd op 20 °C ±1 °C. Bedrijven kunnen een zeer nauwkeurig, constant temperatuurregelend airconditioningsysteem installeren om de omgevingstemperatuur continu te bewaken en nauwkeurig aan te passen, de afmetingen van de granieten basis stabiel te houden en zo een uiterst nauwkeurige werking van het platform te garanderen.
2. Luchtvochtigheid: redelijke controle, beschermt de basisprestaties
Vochtigheid heeft ook een significant effect op precisiegranietbases. In een omgeving met een hoge luchtvochtigheid absorbeert graniet gemakkelijk waterdamp, waardoor condensatie op het oppervlak kan ontstaan. Dit verstoort niet alleen de normale werking van het luchtflotatiesysteem, maar leidt ook tot erosie van het granietoppervlak op de lange termijn, wat de nauwkeurigheid en levensduur vermindert. Neem bijvoorbeeld een werkplaats voor het slijpen van optische lenzen: als de luchtvochtigheid gedurende langere tijd hoger is dan 60%, zal de geabsorbeerde waterdamp op het granieten oppervlak de uniformiteit van de luchtflotatiefilm aantasten, wat resulteert in een afname van de slijpnauwkeurigheid en oppervlaktedefecten. Daarom moet de relatieve luchtvochtigheid in de werkomgeving tussen 40% en 60% worden gehouden. Bedrijven kunnen ontvochtigers, vochtigheidssensoren en andere apparatuur gebruiken om de luchtvochtigheid in realtime te monitoren en te regelen, een geschikte vochtigheidsomgeving voor de precisiegranietbases te creëren en de stabiele werking van het precisieluchtflotatieplatform te garanderen.
3. Reinheid: strikte controle, eliminatie van deeltjesverontreiniging.
Stofdeeltjes zijn de "vijand" van precisie-luchtdrukplatformen en kunnen grote schade toebrengen aan de granieten precisiebasis. Zodra de kleine deeltjes in de gasfilm tussen de gasdrukregelaar en de granieten basis terechtkomen, kunnen ze de uniformiteit van de gasfilm verstoren, de wrijving verhogen en zelfs krassen op het oppervlak van de basis veroorzaken, wat de nauwkeurigheid van de platformbeweging ernstig beïnvloedt. In een ultraprecisie-bewerkingswerkplaats voor ruimtevaartonderdelen kan de bewegingsbaan van het bewerkingsgereedschap afwijken als stofdeeltjes uit de lucht op de granieten basis terechtkomen, wat de bewerkingsnauwkeurigheid van de onderdelen beïnvloedt. Daarom moet de werkruimte zeer schoon worden gehouden en een reinheidsnorm van 10.000 of hoger bereiken. Bedrijven kunnen stofdeeltjes uit de lucht filteren door hoogrendementsluchtfilters (HEPA) te installeren en van medewerkers eisen dat ze stofvrije kleding, schoenovertrekken, enz. dragen om de door mensen meegebrachte stof te verminderen en de uiterst nauwkeurige werkomgeving van de granieten basis en het precisie-luchtdrukplatform te behouden.
4. Trillingen: Effectieve isolatie voor een rustige ruimte.
Externe trillingen kunnen de precisie van het precisieplatform met statische luchtdruk ernstig beïnvloeden. Hoewel de granieten basis een zekere trillingsdemping heeft, kunnen sterke trillingen de bufferlimiet toch overschrijden. Trillingen die worden gegenereerd door het verkeer rond de fabriek en de werking van grote machines worden via de grond naar de granieten basis overgebracht, wat de nauwkeurigheid van de platformbeweging beïnvloedt. Bij hoogwaardige CMM's kunnen trillingen leiden tot instabiel contact tussen de meetsonde en het te meten werkstuk, met afwijkingen in de meetgegevens tot gevolg. Om dit probleem op te lossen, is het noodzakelijk om effectieve trillingsisolatiemaatregelen te treffen, zoals het plaatsen van trillingsdempende pads in het installatiegebied van de apparatuur, het bouwen van een trillingsdempende fundering of het gebruik van een actief trillingsisolatiesysteem om externe trillingen actief te compenseren en een stille en stabiele werkomgeving te creëren voor de granieten precisiebasis en het precisieplatform met statische luchtdruk.
Voldoe aan de bovenstaande milieueisen om de voordelen van de granieten precisiebasis in het precisie-luchtdrukplatform optimaal te benutten en ervoor te zorgen dat het platform zeer nauwkeurige en stabiele bewegingsbesturing biedt voor diverse industrieën. Door aandacht te besteden aan deze details in de productieomgeving, kunnen bedrijven kansen grijpen in precisieproductie, wetenschappelijk onderzoek en andere gebieden, hun concurrentievermogen versterken en duurzame ontwikkeling realiseren.
Geplaatst op: 10 april 2025