Graniet is een populair materiaal voor machinebedden in waferverwerkingsapparatuur vanwege de uitzonderlijke stijfheid, het hoge gewicht en de uitstekende weerstand tegen slijtage en corrosie.Zelfs met deze voordelige eigenschappen zijn granieten machinebedden echter niet immuun voor bepaalde defecten die kunnen leiden tot verminderde prestaties, precisie en betrouwbaarheid van de apparatuur.In dit artikel zullen we enkele van de meest voorkomende defecten van granieten machinebedden voor waferverwerkingsapparatuur bespreken en manieren voorstellen om deze aan te pakken.
1. Scheren en buigen
Graniet is een natuurlijk materiaal en kan daarom kleine variaties in afmetingen en vlakheid vertonen.Deze variaties kunnen ervoor zorgen dat granieten machinebedden na verloop van tijd kromtrekken of buigen, wat de nauwkeurigheid van de apparatuur kan beïnvloeden.Bovendien kunnen zware trillingen of thermische cycli dit probleem verergeren.Eén manier om dit probleem op te lossen is het kiezen van graniet met een betere maatvastheid en het gebruik van opspanningen om ervoor te zorgen dat het machinebed vlak blijft.
2. Afbrokkelen en barsten
Graniet is een hard en bros materiaal, wat betekent dat het gemakkelijk kan afbrokkelen of barsten als het wordt blootgesteld aan grote schokken of spanningen.Deze onvolkomenheden kunnen ervoor zorgen dat het machinebed ongelijkmatig wordt, waardoor de soepelheid van de beweging van de waferverwerkingsapparatuur wordt aangetast.Om afbrokkelen en barsten te voorkomen, is het belangrijk om tijdens de installatie en het gebruik voorzichtig om te gaan met het granieten machinebed.Bovendien is het een goed idee om regelmatig inspecties uit te voeren om eventuele tekenen van schade zo snel mogelijk op te sporen.
3. Oppervlakteruwheid
Het oppervlak van een granieten machinebed moet glad en vlak zijn om ervoor te zorgen dat de waferverwerkingsapparatuur nauwkeurig en betrouwbaar werkt.Het bewerkingsproces dat wordt gebruikt om het machinebed te maken, kan echter oppervlakteruwheid achterlaten die de prestaties van de apparatuur kan beïnvloeden.Om dit probleem aan te pakken, is het belangrijk om het bewerkingsproces met zorg uit te voeren en de juiste gereedschappen en technieken te gebruiken om de gewenste oppervlakteafwerking te bereiken.
4. Verkleuring en verkleuring
Granieten machinebedden kunnen na verloop van tijd vlekken en verkleuringen krijgen als gevolg van blootstelling aan chemicaliën, water en andere stoffen.Dit kan de esthetische aantrekkingskracht van de apparatuur beïnvloeden en leiden tot voortijdige degradatie van het granietmateriaal.Om vlekken en verkleuring te voorkomen, is het belangrijk om de juiste reinigings- en onderhoudsprocedures te volgen, inclusief het regelmatig afvegen en drogen van de apparatuur na gebruik.
5. Ongelijkmatige gewichtsverdeling
Granieten machinebedden zijn zwaar en als het gewicht niet gelijkmatig wordt verdeeld, kan dit ertoe leiden dat de apparatuur instabiel wordt en de precisie en nauwkeurigheid ervan wordt aangetast.Om ervoor te zorgen dat het gewicht gelijkmatig wordt verdeeld, is het belangrijk om tijdens de installatie gebruik te maken van levellers en steunstandaards.Bovendien is het een goed idee om regelmatig gewichtsinspecties uit te voeren om eventuele onevenwichtigheden op te sporen.
Concluderend zijn granieten machinebedden een populaire keuze voor waferverwerkingsapparatuur vanwege hun uitstekende eigenschappen.Ze zijn echter niet immuun voor bepaalde defecten die hun prestaties, precisie en betrouwbaarheid kunnen beïnvloeden.Door de beste praktijken te volgen en goed voor de apparatuur te zorgen, is het mogelijk deze problemen aan te pakken en ervoor te zorgen dat de apparatuur de komende jaren op een optimaal niveau blijft functioneren.
Posttijd: 29 december 2023