Graniet is een populair materiaal voor machinebedden in waferverwerkingsapparatuur vanwege de uitzonderlijke stijfheid, het hoge gewicht en de uitstekende weerstand tegen slijtage en corrosie. Ondanks deze gunstige eigenschappen zijn granieten machinebedden echter niet immuun voor bepaalde defecten die kunnen leiden tot verminderde prestaties, precisie en betrouwbaarheid van de apparatuur. In dit artikel bespreken we enkele van de meest voorkomende defecten aan granieten machinebedden voor waferverwerkingsapparatuur en geven we suggesties voor het verhelpen ervan.
1. Schort en strik
Graniet is een natuurlijk materiaal en kan daarom kleine variaties in afmetingen en vlakheid vertonen. Deze variaties kunnen ervoor zorgen dat de machinebedden van graniet na verloop van tijd kromtrekken of vervormen, wat de nauwkeurigheid van de apparatuur kan beïnvloeden. Bovendien kunnen sterke trillingen of temperatuurschommelingen dit probleem verergeren. Een manier om dit probleem op te lossen is door graniet te kiezen met een betere dimensionale stabiliteit en door middel van opspaninrichtingen ervoor te zorgen dat het machinebed vlak blijft.
2. Afbrokkelen en barsten
Graniet is een hard en broos materiaal, wat betekent dat het gemakkelijk kan afbrokkelen of barsten bij hoge impact of spanning. Deze imperfecties kunnen ervoor zorgen dat het machinebed oneffen wordt, waardoor de soepelheid van de waferverwerkingsapparatuur wordt beïnvloed. Om afbrokkeling en barsten te voorkomen, is het belangrijk om het granieten machinebed tijdens de installatie en het gebruik met zorg te behandelen. Daarnaast is het raadzaam om regelmatig inspecties uit te voeren om eventuele schade zo snel mogelijk te ontdekken.
3. Oppervlakteruwheid
Het oppervlak van een granieten machinebed moet glad en vlak zijn om ervoor te zorgen dat de waferverwerkingsapparatuur nauwkeurig en betrouwbaar werkt. Het bewerkingsproces dat wordt gebruikt om het machinebed te creëren, kan echter oppervlakteruwheid achterlaten die de prestaties van de apparatuur kan beïnvloeden. Om dit probleem te verhelpen, is het belangrijk om het bewerkingsproces zorgvuldig uit te voeren en de juiste gereedschappen en technieken te gebruiken om de gewenste oppervlakteafwerking te bereiken.
4. Vlekken en verkleuringen
Machinebedden van graniet kunnen na verloop van tijd vlekken en verkleuringen vertonen door blootstelling aan chemicaliën, water en andere stoffen. Dit kan de esthetische aantrekkingskracht van de apparatuur beïnvloeden en leiden tot voortijdige slijtage van het graniet. Om vlekken en verkleuringen te voorkomen, is het belangrijk om de juiste reinigings- en onderhoudsprocedures te volgen, waaronder het regelmatig afvegen en drogen van de apparatuur na gebruik.
5. Ongelijkmatige gewichtsverdeling
Machinebedden van graniet zijn zwaar, en als het gewicht niet gelijkmatig verdeeld is, kan dit de machine instabiel maken en de precisie en nauwkeurigheid beïnvloeden. Om ervoor te zorgen dat het gewicht gelijkmatig verdeeld is, is het belangrijk om tijdens de installatie stelvoeten en steunpoten te gebruiken. Daarnaast is het raadzaam om regelmatig het gewicht te controleren om eventuele onevenwichtigheden op te sporen.
Kortom, machinebedden van graniet zijn een populaire keuze voor waferverwerkingsapparatuur vanwege hun uitstekende eigenschappen. Ze zijn echter niet immuun voor bepaalde defecten die de prestaties, precisie en betrouwbaarheid kunnen beïnvloeden. Door de beste werkwijzen te volgen en de apparatuur goed te onderhouden, kunnen deze problemen worden aangepakt en kan ervoor worden gezorgd dat de apparatuur jarenlang optimaal blijft functioneren.
Geplaatst op: 29 december 2023