Graniet is een populair materiaal voor machinebedden in waferverwerkingsapparatuur vanwege de uitzonderlijke stijfheid, het hoge gewicht en de uitstekende weerstand tegen slijtage en corrosie. Ondanks deze gunstige eigenschappen zijn granieten machinebedden echter niet immuun voor bepaalde defecten die kunnen leiden tot verminderde prestaties, nauwkeurigheid en betrouwbaarheid van de apparatuur. In dit artikel bespreken we enkele van de meest voorkomende defecten aan granieten machinebedden voor waferverwerkingsapparatuur en geven we suggesties om deze te verhelpen.
1. Schering en boog
Graniet is een natuurlijk materiaal en kan daardoor kleine variaties in afmetingen en vlakheid vertonen. Deze variaties kunnen ertoe leiden dat granieten machinebedden na verloop van tijd kromtrekken of verbuigen, wat de nauwkeurigheid van de apparatuur kan beïnvloeden. Bovendien kunnen zware trillingen of thermische schommelingen dit probleem verergeren. Een manier om dit probleem op te lossen, is door graniet met een betere maatvastheid te kiezen en fixatie te gebruiken om ervoor te zorgen dat het machinebed vlak blijft.
2. Afbrokkelen en barsten
Graniet is een hard en bros materiaal, wat betekent dat het gemakkelijk kan afbrokkelen of scheuren bij hoge impact of spanning. Deze onvolkomenheden kunnen leiden tot een oneffen machinebed, wat de soepele beweging van de waferverwerkingsapparatuur beïnvloedt. Om afbrokkelen en scheuren te voorkomen, is het belangrijk om voorzichtig om te gaan met het granieten machinebed tijdens de installatie en het gebruik. Daarnaast is het raadzaam om regelmatig inspecties uit te voeren om tekenen van schade zo snel mogelijk op te sporen.
3. Oppervlakteruwheid
Het oppervlak van een granieten machinebed moet glad en vlak zijn om ervoor te zorgen dat de waferverwerkingsapparatuur nauwkeurig en betrouwbaar werkt. Het bewerkingsproces dat wordt gebruikt om het machinebed te maken, kan echter oppervlakteruwheid achterlaten die de prestaties van de apparatuur kan beïnvloeden. Om dit probleem aan te pakken, is het belangrijk om het bewerkingsproces zorgvuldig uit te voeren en de juiste gereedschappen en technieken te gebruiken om de gewenste oppervlakteafwerking te bereiken.
4. Vlekken en verkleuring
Granieten machinebedden kunnen na verloop van tijd vlekken en verkleuringen krijgen door blootstelling aan chemicaliën, water en andere stoffen. Dit kan de esthetische aantrekkingskracht van de apparatuur aantasten en leiden tot vroegtijdige degradatie van het granietmateriaal. Om vlekken en verkleuringen te voorkomen, is het belangrijk om de juiste reinigings- en onderhoudsprocedures te volgen, waaronder het regelmatig afnemen en drogen van de apparatuur na gebruik.
5. Ongelijke gewichtsverdeling
Granieten machinebedden zijn zwaar en als het gewicht niet gelijkmatig verdeeld is, kan dit de apparatuur instabiel maken en de precisie en nauwkeurigheid beïnvloeden. Om ervoor te zorgen dat het gewicht gelijkmatig verdeeld is, is het belangrijk om waterpasstellen en steunpoten te gebruiken tijdens de installatie. Daarnaast is het raadzaam om regelmatig het gewicht te controleren om eventuele onbalans op te sporen.
Concluderend zijn granieten machinebedden een populaire keuze voor waferverwerkingsapparatuur vanwege hun uitstekende eigenschappen. Ze zijn echter niet immuun voor bepaalde defecten die hun prestaties, precisie en betrouwbaarheid kunnen beïnvloeden. Door best practices te volgen en de apparatuur goed te onderhouden, kunnen deze problemen worden aangepakt en ervoor worden gezorgd dat de apparatuur jarenlang optimaal blijft functioneren.
Plaatsingstijd: 29-12-2023