Graniet is een natuurlijk gesteente dat al lange tijd wordt gebruikt in waferverwerkingsapparatuur. Het staat bekend om zijn uitstekende eigenschappen: lage thermische uitzetting, hoge stijfheid en goede stabiliteit. Net als alle andere materialen heeft graniet echter zijn eigen gebreken die de kwaliteit van waferverwerkingsapparatuur kunnen beïnvloeden.
Een van de grootste gebreken van graniet is de neiging tot barsten of breken. Dit komt door de aanwezigheid van microscheuren die kunnen ontstaan tijdens de vorming van het gesteente. Als deze microscheuren niet correct worden herkend en behandeld, kunnen ze zich uitbreiden en leiden tot defecten aan de apparatuur. Om dit te voorkomen, moeten fabrikanten van verwerkingsapparatuur hoogwaardig graniet gebruiken dat behandeld en getest is om te garanderen dat het vrij is van microscheuren.
Een ander nadeel van graniet is de gevoeligheid voor corrosie. Als granieten apparatuur in contact komt met corrosieve omgevingen, kan het na verloop van tijd degraderen. Dit kan leiden tot schade aan de apparatuur of tot een slechte werking. Om dit te voorkomen, moeten fabrikanten ervoor zorgen dat het graniet dat in hun apparatuur wordt gebruikt, correct wordt behandeld en gecoat om corrosie te voorkomen.
Graniet is ook gevoelig voor kromtrekken na verloop van tijd vanwege de inherente thermische eigenschappen. Dit komt doordat graniet een zeer lage thermische uitzettingscoëfficiënt heeft, wat betekent dat het niet veel uitzet of krimpt bij temperatuurschommelingen. Echter, zelfs een kleine hoeveelheid uitzetting of krimp kan na verloop van tijd kromtrekken in de apparatuur veroorzaken. Het is belangrijk dat de fabrikant van de apparatuur rekening houdt met de thermische eigenschappen van het graniet bij het ontwerpen van de apparatuur om dit defect te voorkomen.
Ten slotte kan de poreuze aard van graniet leiden tot problemen met verontreiniging. Als het graniet niet goed is afgedicht, kan het verontreinigingen opnemen die de kwaliteit van de wafer kunnen beïnvloeden. Dit kan leiden tot kostbare downtime en productieverlies. Om dit te voorkomen, moeten fabrikanten het graniet goed afdichten om te voorkomen dat verontreinigingen worden opgenomen.
Concluderend kan gesteld worden dat graniet een uitstekend materiaal is voor gebruik in waferverwerkingsapparatuur. Het is echter belangrijk om op de hoogte te zijn van de mogelijke defecten en de nodige voorzorgsmaatregelen te nemen om deze te voorkomen. Met de juiste zorg en onderhoud kan granietapparatuur jarenlang meegaan en hoogwaardige wafers voor de halfgeleiderindustrie opleveren.
Plaatsingstijd: 27-12-2023