Graniet is een natuurlijk voorkomend gesteente dat al lange tijd wordt gebruikt in apparatuur voor de verwerking van wafers. Het staat bekend om zijn uitstekende eigenschappen, zoals een lage thermische uitzetting, hoge stijfheid en goede stabiliteit. Net als alle materialen heeft graniet echter ook zijn eigen gebreken die de kwaliteit van de waferverwerkingsapparatuur kunnen beïnvloeden.
Een van de grootste nadelen van graniet is de neiging tot barsten of breken. Dit komt door de aanwezigheid van microbarsten die tijdens de vorming van het gesteente kunnen ontstaan. Als deze microbarsten niet worden herkend en correct behandeld, kunnen ze zich uitbreiden en leiden tot het uitvallen van de apparatuur. Om dit te voorkomen, moeten fabrikanten van verwerkingsapparatuur hoogwaardig graniet gebruiken dat is behandeld en getest om er zeker van te zijn dat het vrij is van microbarsten.
Een ander nadeel van graniet is de gevoeligheid voor corrosie. Als granieten apparatuur in contact komt met corrosieve omgevingen, kan het na verloop van tijd gaan degraderen. Dit kan leiden tot schade aan de apparatuur of tot het niet meer goed functioneren ervan. Om dit te voorkomen, moeten fabrikanten ervoor zorgen dat het graniet dat in hun apparatuur wordt gebruikt, op de juiste manier wordt behandeld en gecoat om corrosie te voorkomen.
Graniet is door zijn inherente thermische eigenschappen ook gevoelig voor vervorming na verloop van tijd. Dit komt doordat graniet een zeer lage thermische uitzettingscoëfficiënt heeft, wat betekent dat het niet veel uitzet of krimpt bij temperatuurschommelingen. Zelfs een kleine uitzetting of krimp kan echter na verloop van tijd vervorming van de apparatuur veroorzaken. Het is belangrijk dat de fabrikant van de apparatuur rekening houdt met de thermische eigenschappen van het graniet bij het ontwerpen van de apparatuur om dit defect te voorkomen.
Ten slotte kan de poreuze aard van graniet leiden tot problemen met verontreiniging. Als het graniet niet goed is afgedicht, kan het verontreinigingen absorberen die de kwaliteit van de wafer kunnen beïnvloeden. Dit kan leiden tot kostbare stilstand en productieverlies. Om dit te voorkomen, moeten fabrikanten het graniet goed afdichten om te voorkomen dat er verontreinigingen worden geabsorbeerd.
Kortom, graniet is een uitstekend materiaal voor gebruik in waferverwerkingsapparatuur. Het is echter belangrijk om de mogelijke gebreken te kennen en de nodige voorzorgsmaatregelen te nemen om deze te voorkomen. Met de juiste zorg en onderhoud kan granieten apparatuur vele jaren meegaan en hoogwaardige wafers leveren aan de halfgeleiderindustrie.
Geplaatst op: 27 december 2023