Graniet is een natuurlijk voorkomend gesteente dat al lange tijd wordt gebruikt in waferverwerkingsapparatuur.Het staat bekend om zijn uitstekende eigenschappen: lage thermische uitzetting, hoge stijfheid en goede stabiliteit.Zoals alle materialen heeft graniet echter zijn eigen reeks defecten die de kwaliteit van waferverwerkingsapparatuur kunnen beïnvloeden.
Een van de grootste gebreken van graniet is de neiging om te barsten of breken.Dit komt door de aanwezigheid van microscheuren die kunnen optreden tijdens de vorming van het gesteente.Als deze microscheuren niet op de juiste manier worden geïdentificeerd en behandeld, kunnen ze zich verspreiden en tot defecten aan de apparatuur leiden.Om dit te voorkomen, moeten fabrikanten van verwerkingsapparatuur graniet van hoge kwaliteit gebruiken dat is behandeld en getest om ervoor te zorgen dat het vrij is van microscheuren.
Een ander defect van graniet is de gevoeligheid voor corrosie.Als granieten apparatuur in contact komt met corrosieve omgevingen, kan deze na verloop van tijd beginnen te verslechteren.Dit kan ertoe leiden dat de apparatuur beschadigd raakt of niet goed functioneert.Om dit te voorkomen moeten fabrikanten ervoor zorgen dat het graniet dat in hun apparatuur wordt gebruikt op de juiste manier wordt behandeld en gecoat om corrosie te voorkomen.
Graniet is ook gevoelig voor kromtrekken in de loop van de tijd vanwege de inherente thermische eigenschappen.Dit komt omdat graniet een zeer lage thermische uitzettingscoëfficiënt heeft, wat betekent dat het niet veel uitzet of samentrekt als het wordt blootgesteld aan temperatuurveranderingen.Zelfs een kleine mate van uitzetting of samentrekking kan echter na verloop van tijd kromtrekken van de apparatuur veroorzaken.Het is belangrijk dat de fabrikant van de apparatuur rekening houdt met de thermische eigenschappen van het graniet bij het ontwerpen van zijn apparatuur om te voorkomen dat dit defect optreedt.
Ten slotte kan de poreuze aard van graniet leiden tot vervuilingsproblemen.Als het graniet niet goed is afgedicht, kan het verontreinigingen absorberen die de kwaliteit van de wafel kunnen aantasten.Dit kan leiden tot kostbare stilstand en productieverlies.Om dit te voorkomen, moeten fabrikanten het graniet goed afdichten om te voorkomen dat verontreinigingen worden geabsorbeerd.
Concluderend is graniet een uitstekend materiaal voor gebruik in waferverwerkingsapparatuur.Het is echter belangrijk om op de hoogte te zijn van de gebreken en de nodige voorzorgsmaatregelen te nemen om te voorkomen dat deze zich voordoen.Met de juiste zorg en onderhoud kan granietapparatuur vele jaren blijven functioneren en hoogwaardige wafers leveren voor de halfgeleiderindustrie.
Posttijd: 27 december 2023