Graniet is een natuurlijk voorkomende rots die al lang wordt gebruikt in wafersverwerkingsapparatuur. Het staat bekend om zijn uitstekende eigenschappen van lage thermische expansie, hoge stijfheid en goede stabiliteit. Net als alle materialen heeft graniet echter zijn eigen set defecten die de kwaliteit van de wafelverwerkingsapparatuur kunnen beïnvloeden.
Een van de belangrijkste defecten van graniet is de neiging om te barsten of te breken. Dit komt door de aanwezigheid van microcracks die kunnen optreden tijdens de vorming van de rots. Als deze microcracks niet worden geïdentificeerd en behandeld, kunnen ze zich voortplanten en leiden tot het falen van de apparatuur. Om dit te voorkomen, moeten fabrikanten van verwerkingsapparatuur graniet van hoge kwaliteit gebruiken die is behandeld en getest om ervoor te zorgen dat het vrij is van microscheuren.
Een ander defect van graniet is de gevoeligheid voor corrosie. Als granieten apparatuur in contact komt met corrosieve omgevingen, kan dit na verloop van tijd beginnen af te breken. Dit kan ertoe leiden dat de apparatuur beschadigd raakt of niet goed functioneert. Om dit te voorkomen, moeten fabrikanten ervoor zorgen dat het in hun apparatuur gebruikte graniet correct wordt behandeld en gecoat om te voorkomen dat er een corrosie optreedt.
Graniet is ook vatbaar voor het kromtrekken in de tijd vanwege de inherente thermische eigenschappen. Dit komt omdat graniet een zeer lage thermische expansiecoëfficiënt heeft, wat betekent dat het niet veel uitbreidt of contracteert wanneer het wordt onderworpen aan temperatuurveranderingen. Zelfs een kleine hoeveelheid uitbreiding of samentrekking kan echter in de loop van de tijd kromtrekken in de apparatuur veroorzaken. Het is belangrijk dat de fabrikant van de apparatuur rekening houdt met de thermische eigenschappen van het graniet bij het ontwerpen van hun apparatuur om te voorkomen dat dit defect zich voordoet.
Ten slotte kan de poreuze aard van Granite leiden tot problemen met besmetting. Als het graniet niet goed is afgesloten, kan het verontreinigingen absorberen die de kwaliteit van de wafer kunnen beïnvloeden. Dit kan leiden tot dure downtime en verloren productie. Om dit te voorkomen, moeten fabrikanten het graniet correct afdichten om te voorkomen dat verontreinigingen worden geabsorbeerd.
Concluderend is graniet een uitstekend materiaal voor gebruik in wafersverwerkingsapparatuur. Het is echter belangrijk om op de hoogte te zijn van de gebreken en de nodige voorzorgsmaatregelen om te voorkomen dat ze zich voordoen. Met de juiste zorg en onderhoud kunnen granietenapparatuur vele jaren blijven functioneren, waardoor hoogwaardige wafels worden geboden voor de halfgeleiderindustrie.
Posttijd: december-27-2023