Halfgeleiderproductie: Bij de productie van chips moet het fotolithografieproces het circuitpatroon nauwkeurig overbrengen naar de wafer. De granieten basis van de enkelassige luchtzwevende ultraprecisie-bewegingsmodule biedt een zeer nauwkeurige positionering en stabiele ondersteuning voor de wafertafel in de lithografieapparatuur. ASML en andere internationaal gerenommeerde fabrikanten van lithografiemachines gebruiken bijvoorbeeld luchtzwevende bewegingsmodules met granieten basis in hun geavanceerde apparatuur. Deze modules kunnen de positioneringsnauwkeurigheid van de wafer op nanometerniveau regelen om de nauwkeurigheid van het lithografiepatroon te garanderen en zo de integratie en prestaties van de chip te verbeteren.
Precisiemeettechniek: CMM's zijn precisiemeetinstrumenten die veel worden gebruikt in de industriële productie en die de grootte, vorm en positienauwkeurigheid van het werkstuk meten. De ultraprecieze bewegingsmodule van de enkelassige luchtfloat op de granieten basis kan worden gebruikt als bewegingsplatform van de CMM, die zeer nauwkeurige lineaire bewegingen kan realiseren en een stabiel bewegingstraject voor de meettaster biedt. De high-end CMM van Hexagon gebruikt deze combinatie bijvoorbeeld om grote en complexe onderdelen te meten met een meetnauwkeurigheid tot op micronniveau, wat een sterke garantie biedt voor kwaliteitscontrole van onderdelen in de automobiel-, lucht- en ruimtevaartindustrie en andere industrieën.
Lucht- en ruimtevaart: Bij het bewerken en testen van onderdelen voor de lucht- en ruimtevaart is hoge precisie vereist. Zo vereist het bewerken van vliegtuigmotorbladen een nauwkeurige controle over het bewegingstraject van het gereedschap om de nauwkeurigheid van het bladprofiel te garanderen. De granieten basis van de enkelassige airfloat ultraprecision motion module kan worden toegepast op het vijfassige bewerkingscentrum en andere apparatuur om een zeer nauwkeurige bewegingsregeling voor het gereedschap te bieden en ervoor te zorgen dat de bewerkingsnauwkeurigheid van het blad voldoet aan de ontwerpeisen. Tegelijkertijd is het in het assemblageproces van de vliegtuigmotor ook noodzakelijk om zeer nauwkeurige meetapparatuur te gebruiken om de assemblagenauwkeurigheid van de onderdelen te bepalen. De airfloat motion module van de granieten basis kan stabiele ondersteuning en nauwkeurige beweging van de meetapparatuur bieden om de assemblagekwaliteit te garanderen.
Optisch inspectiegebied: In het productieproces en testproces van optische componenten is het noodzakelijk om optische componenten zeer nauwkeurig te positioneren en te meten. Bij de productie van zeer nauwkeurige optische componenten, zoals spiegels en lenzen, is het bijvoorbeeld noodzakelijk om interferometers en andere apparatuur te gebruiken om de nauwkeurigheid van de oppervlaktevorm te bepalen. De granieten basis van de enkelassige, luchtzwevende, ultraprecieze bewegingsmodule kan worden gebruikt als bewegingsplatform voor de interferometer, waarmee een submicron positioneringsnauwkeurigheid kan worden bereikt en nauwkeurige gegevensondersteuning kan worden geboden voor de detectie van optische componenten. Daarnaast is het in laserbewerkingsapparatuur ook noodzakelijk om een zeer nauwkeurig bewegingsplatform te gebruiken om het scantraject van de laserstraal te regelen. De granieten basis van de luchtzwevende bewegingsmodule voldoet aan deze eis en maakt laserbewerking met hoge precisie mogelijk.
Plaatsingstijd: 07-04-2025