Halfgeleiderproductie: Bij de productie van chips is het fotolithografieproces essentieel voor het nauwkeurig overbrengen van het circuitpatroon op de wafer. De granieten basis van de ultraprecisie bewegingsmodule met éénassige luchtgeleiding zorgt voor een zeer nauwkeurige positionering en stabiele ondersteuning van de wafertafel in de lithografieapparatuur. Zo gebruiken ASML en andere internationaal gerenommeerde fabrikanten van lithografiemachines granieten bewegingsmodules met luchtgeleiding in hun hoogwaardige apparatuur. Deze modules maken een nauwkeurige positionering van de wafer op nanometerniveau mogelijk, waardoor de nauwkeurigheid van het lithografiepatroon wordt gewaarborgd en de integratie en prestaties van de chip worden verbeterd.
Precisiemetingen: Een CMM (coördinatenmeetmachine) is een precisie-meetinstrument dat veelvuldig wordt gebruikt in de industriële productie. Het wordt gebruikt om de afmetingen, vorm en positioneringsnauwkeurigheid van werkstukken te meten. De uiterst nauwkeurige bewegingsmodule van de enkelassige luchtgeveerde geleider op een granieten basis kan als bewegingsplatform voor de CMM worden gebruikt. Dit maakt zeer nauwkeurige lineaire bewegingen mogelijk en zorgt voor een stabiele bewegingsbaan voor de meetsonde. Zo gebruikt de high-end CMM van Hexagon deze combinatie om grote en complexe onderdelen te meten met een nauwkeurigheid tot op micronniveau. Dit biedt een sterke garantie voor kwaliteitscontrole van onderdelen in de automobiel-, ruimtevaart- en andere industrieën.
Lucht- en ruimtevaartsector: Bij de bewerking en het testen van onderdelen voor de lucht- en ruimtevaart is hoge precisie vereist. Zo vereist de bewerking van vliegtuigmotorbladen een nauwkeurige controle van de bewegingsbaan van het gereedschap om de nauwkeurigheid van het bladprofiel te garanderen. De granieten basis van de ultraprecisie bewegingsmodule met luchtvering en één as kan worden toegepast op een vijfassige bewerkingsmachine en andere apparatuur om een zeer nauwkeurige bewegingscontrole voor het gereedschap te bieden en ervoor te zorgen dat de bewerkingsnauwkeurigheid van het blad voldoet aan de ontwerpvereisten. Tegelijkertijd is het tijdens het assemblageproces van de vliegtuigmotor ook noodzakelijk om zeer nauwkeurige meetapparatuur te gebruiken om de assemblagenauwkeurigheid van de onderdelen te controleren. De bewegingsmodule met luchtvering en granieten basis biedt stabiele ondersteuning en nauwkeurige beweging voor de meetapparatuur om de assemblagekwaliteit te waarborgen.
Optische inspectie: Bij de productie en het testen van optische componenten is nauwkeurige positionering en meting van deze componenten essentieel. Bijvoorbeeld bij de productie van zeer nauwkeurige optische componenten zoals spiegels en lenzen, is het gebruik van interferometers en andere apparatuur nodig om de nauwkeurigheid van de oppervlaktevorm te controleren. De granieten basis van de eenassige, luchtgeveerde ultraprecisie-bewegingsmodule kan worden gebruikt als bewegingsplatform voor de interferometer, waardoor positionering met een nauwkeurigheid van minder dan een micron mogelijk is en nauwkeurige gegevens worden geleverd voor de detectie van optische componenten. Daarnaast is het in laserbewerkingsapparatuur ook nodig om een zeer nauwkeurig bewegingsplatform te gebruiken voor het controleren van het scantraject van de laserstraal. De granieten basis van de luchtgeveerde bewegingsmodule kan aan deze eis voldoen en zorgt voor zeer nauwkeurige laserbewerking.
Geplaatst op: 7 april 2025