Graniet is een hard gesteente dat een onmisbaar materiaal is geworden in de halfgeleiderindustrie. Dankzij zijn eigenschappen is het bestand tegen hoge temperaturen, waardoor het ideaal is voor gebruik in verschillende fasen van de productie van halfgeleiders. Hierdoor heeft graniet een breed scala aan toepassingen gevonden in de halfgeleiderproductie.
Een van de meest gebruikte toepassingen van graniet is de constructie van uiterst nauwkeurige machinegereedschappen. De stijfheid en stabiliteit van graniet maken het mogelijk om precieze gereedschappen te produceren met minimale of geen vervorming. Dit precisieniveau is noodzakelijk bij halfgeleiderproductieprocessen zoals ionenimplantatie, waarbij de bundel nauwkeurig op de wafer moet worden gericht.
Een andere toepassing van graniet in de halfgeleiderindustrie is de constructie van meetapparatuur. Meetapparatuur is essentieel in de halfgeleiderproductieprocessen, omdat het de nauwkeurigheid van de geproduceerde componenten meet en verifieert. De dimensionale stabiliteit, lage thermische uitzetting en uitstekende trillingsdempende eigenschappen van graniet maken het het materiaal bij uitstek voor de constructie van meetapparatuur. Dit omvat grote granieten oppervlakken die worden gebruikt bij het positioneren en inspecteren van wafers.
Optische tafels vormen een ander gebied waar graniet veelvuldig wordt toegepast in de halfgeleiderindustrie. Optische tafels worden gebruikt voor het testen van optische componenten, zoals golfgeleiders voor datacommunicatie. De vlakheid, lage thermische uitzetting, hoge stijfheid en mechanische stabiliteit van graniet maken het een zeer stabiel oppervlak voor de montage en positionering van optische componenten. Granieten optische tafels bieden de stabiliteit en stijfheid die nodig zijn voor nauwkeurige en precieze tests van optische componenten.
Graniet wordt ook gebruikt bij de constructie van waferhouders en positioneringssystemen. Tijdens het productieproces van halfgeleiders zijn nauwkeurige uitlijning en positionering cruciaal. Waferhouders, die de wafers tijdens de verwerking op hun plaats houden, moeten hun positioneringsnauwkeurigheid behouden en tegelijkertijd bestand zijn tegen hoge temperaturen en vacuümomstandigheden. Graniet heeft een uitstekende dimensionale stabiliteit over een breed temperatuurbereik en is bestand tegen vacuümomstandigheden, waardoor het ideaal is voor de constructie van waferhouders. Positioneringssystemen die worden gebruikt om wafers van de ene naar de andere positie te verplaatsen, doorlopen een cyclische reeks bewegingen tijdens het halfgeleiderproductieproces. Een constructie van graniet biedt de stabiliteit en duurzaamheid die nodig zijn om de continue en repetitieve bewegingscycli te doorstaan.
Samenvattend is het gebruik van graniet in de halfgeleiderindustrie zeer divers. Eigenschappen zoals dimensionale stabiliteit, lage thermische uitzetting, hoge stijfheid en trillingsdemping maken het een ideaal materiaal voor diverse fasen in de productie van halfgeleidercomponenten. Van de constructie van uiterst nauwkeurige werktuigmachines en meetapparatuur tot optische tafels, waferhouders en houders: de eigenschappen van graniet spelen een cruciale rol in het bieden van de stabiliteit, nauwkeurigheid en herhaalbaarheid die nodig zijn voor de productie van hoogwaardige halfgeleidercomponenten.
Geplaatst op: 06-12-2023