Graniet is een soort hard gesteente dat een onmisbaar materiaal is geworden in de halfgeleiderindustrie. Door zijn eigenschappen is het bestand tegen hoge temperaturen, waardoor het ideaal is voor gebruik in verschillende fasen van de productieprocessen van halfgeleiders. Hierdoor heeft granietassemblage een breed scala aan toepassingsgebieden gevonden in de productie van halfgeleiderproducten.
Een van de meest gebruikte toepassingen van granietassemblage is de constructie van zeer precieze gereedschapswerktuigen. De stijfheid en stabiliteit van graniet maken het mogelijk om nauwkeurig gereedschap te produceren met weinig tot geen vervorming. Deze precisie is noodzakelijk in halfgeleiderproductieprocessen zoals ionenimplantatie, waarbij de bundel nauwkeurig op de wafer moet worden gericht.
Een andere toepassing van granietassemblage in de halfgeleiderproductie is de constructie van metrologische apparatuur. Metrologische apparatuur is essentieel in halfgeleiderproductieprocessen, omdat het de nauwkeurigheid van geproduceerde apparaten meet en verifieert. De maatvastheid, lage thermische uitzetting en uitstekende trillingsdempende eigenschappen van graniet maken het tot het materiaal bij uitstek voor de constructie van metrologische apparatuur. Dit omvat grote granietoppervlakken die worden gebruikt bij het voorbereiden en inspecteren van wafers.
Optische tafels vormen een ander uitgebreid toepassingsgebied voor granieten assemblage in de halfgeleiderindustrie. Optische tafels worden gebruikt bij het testen van optische componenten zoals golfgeleiders voor datacommunicatie. De vlakheid, lage thermische uitzetting, hoge stijfheid en mechanische stabiliteit van graniet zorgen ervoor dat het een zeer stabiel oppervlak biedt voor de montage en positionering van optica. Optische tafels van graniet bieden de stabiliteit en stijfheid die nodig zijn voor nauwkeurige en precieze tests van optische componenten.
Graniet wordt ook toegepast bij de constructie van waferklauwplaten en -platforms. Tijdens het halfgeleiderproductieproces zijn nauwkeurige uitlijning en positiecontrole cruciaal. Waferklauwplaten, die de wafers tijdens de verwerking op hun plaats houden, moeten hun positienauwkeurigheid behouden en bestand zijn tegen hoge temperaturen en vacuümomstandigheden. Graniet heeft een uitstekende maatvastheid over een breed temperatuurbereik en is bestand tegen vacuümomstandigheden, waardoor het ideaal is voor de constructie van waferklauwplaten. Platforms die worden gebruikt bij het verplaatsen van wafers van de ene positie naar de andere, doorlopen een cyclische reeks bewegingen tijdens een halfgeleiderproductieproces. Graniet biedt de stabiliteit en duurzaamheid die nodig zijn om de continue en repeterende bewegingscycli te doorstaan.
Kortom, de toepassing van graniet in de halfgeleiderindustrie is enorm. De eigenschappen zoals maatvastheid, lage thermische uitzetting, hoge stijfheid en trillingsdemping maken het een ideaal materiaal voor gebruik in verschillende fasen van de productieprocessen van halfgeleiderapparaten. Van de constructie van zeer nauwkeurige gereedschapswerktuigen en metrologieapparatuur tot optische tafels, wafertafels en klauwplaten, de eigenschappen van graniet spelen een cruciale rol bij het bieden van de stabiliteit, nauwkeurigheid en herhaalbaarheid die nodig zijn voor de productie van hoogwaardige halfgeleiderapparaten.
Plaatsingstijd: 06-12-2023