In de halfgeleiderindustrie is waferinspectie een cruciale stap om de kwaliteit en prestaties van de chip te waarborgen. De nauwkeurigheid en stabiliteit van de inspectietafel spelen een doorslaggevende rol in de detectieresultaten. Een granieten basis, met zijn unieke eigenschappen, is de ideale keuze voor een inspectietafel voor halfgeleiderwafers. Hieronder volgt een multidimensionale analyse.
Ten eerste de afmeting van de precisiegarantie.
1. Uiterst hoge vlakheid en rechtheid: De granieten basis is vervaardigd met behulp van geavanceerde verwerkingstechnologie, waardoor een vlakheid van ±0,001 mm/m of zelfs een hogere nauwkeurigheid kan worden bereikt en de rechtheid uitstekend is. Tijdens het waferinspectieproces biedt het uiterst nauwkeurige vlak een stabiele ondersteuning voor de wafer en zorgt het voor nauwkeurig contact tussen de meetsonde van de inspectieapparatuur en de soldeerverbindingen op het waferoppervlak.
2. Zeer lage thermische uitzettingscoëfficiënt: de productie van halfgeleiders is gevoelig voor temperatuurschommelingen, en de thermische uitzettingscoëfficiënt van graniet is extreem laag, meestal ongeveer 5 × 10⁻⁶/℃. Wanneer het detectieplatform in werking is, verandert de afmeting van de granieten basis nauwelijks, zelfs niet bij schommelingen in de omgevingstemperatuur. In een werkplaats met hoge temperaturen in de zomer kan de temperatuur van een standaard detectieplatform met metalen basis bijvoorbeeld leiden tot verschuivingen in de relatieve positie van de wafer ten opzichte van de detectieapparatuur, wat de detectienauwkeurigheid beïnvloedt. Een detectieplatform met granieten basis behoudt daarentegen zijn stabiliteit, garandeert de nauwkeurigheid van de relatieve positie van de wafer ten opzichte van de detectieapparatuur tijdens het detectieproces en biedt een stabiele omgeving voor zeer nauwkeurige detectie.
Ten tweede, de stabiliteitsdimensie
1. Stabiele structuur en trillingsbestendigheid: Graniet heeft na miljoenen jaren van geologische processen een dichte en uniforme interne structuur. In de complexe omgeving van een halfgeleiderfabriek worden de trillingen die worden gegenereerd door de werking van randapparatuur en het rondlopen van personeel effectief gedempt door de granieten basis.
2. Nauwkeurigheid bij langdurig gebruik: vergeleken met andere materialen heeft graniet een hoge hardheid en een sterke slijtvastheid, met een Mohs-hardheid van 6-7. Het granieten basisoppervlak slijt niet snel tijdens het frequent laden, lossen en inspecteren van wafers. Volgens statistieken uit de praktijk blijft de vlakheid en rechtheid van een testtafel met een granieten basis na 5000 uur continu gebruik nog steeds meer dan 98% van de oorspronkelijke nauwkeurigheid. Dit vermindert de noodzaak voor regelmatige kalibratie en onderhoud als gevolg van slijtage van de basis, verlaagt de bedrijfskosten en garandeert de stabiliteit van de testwerkzaamheden op de lange termijn.
Ten derde, een schone en storingsvrije dimensie.
1. Lage stofvorming: de productieomgeving voor halfgeleiders moet zeer schoon zijn, en het graniet zelf is een stabiel materiaal dat niet gemakkelijk stofdeeltjes produceert. Tijdens de werking van het testplatform wordt voorkomen dat stof afkomstig van de basis de wafer vervuilt, waardoor het risico op kortsluiting en onderbrekingen door stofdeeltjes wordt verminderd. In het waferinspectiegebied van de stofvrije werkplaats wordt de stofconcentratie rond de granieten inspectietafel altijd tot een extreem laag niveau beperkt, waarmee wordt voldaan aan de strenge reinheidseisen van de halfgeleiderindustrie.
2. Geen magnetische interferentie: de detectieapparatuur is gevoelig voor de elektromagnetische omgeving, en graniet is een niet-magnetisch materiaal dat het elektronische signaal van de detectieapparatuur niet verstoort. Bij gebruik van elektronenbundeldetectie en andere testtechnologieën die een extreem hoge elektromagnetische omgeving vereisen, zorgt de granieten basis voor een stabiele overdracht van het elektronische signaal van de detectieapparatuur en garandeert de nauwkeurigheid van de testresultaten. Bijvoorbeeld, wanneer een wafer wordt getest op zeer nauwkeurige elektrische eigenschappen, voorkomt de niet-magnetische granieten basis interferentie met de detectiestroom- en spanningssignalen, zodat de detectiegegevens de elektrische eigenschappen van de wafer nauwkeurig weergeven.
Geplaatst op: 31 maart 2025