Op het gebied van precisiemetingen is het granieten precisieplatform met zijn uitstekende stabiliteit, hoge hardheid en goede slijtvastheid de ideale basis geworden voor veel hoognauwkeurige meetwerkzaamheden. Temperatuurschommelingen in de omgeving, zoals de "precisiekiller" die zich in het donker schuilhoudt, hebben echter een niet te verwaarlozen invloed op de meetnauwkeurigheid van het granieten precisieplatform. Het is van groot belang om de invloedsdrempel grondig te onderzoeken om de nauwkeurigheid en betrouwbaarheid van de metingen te waarborgen.
Hoewel graniet bekend staat om zijn stabiliteit, is het niet immuun voor temperatuurschommelingen. De belangrijkste componenten zijn kwarts, veldspaat en andere mineralen, die bij verschillende temperaturen thermische uitzetting en krimp veroorzaken. Wanneer de omgevingstemperatuur stijgt, wordt het granieten precisieplatform verhit en zet het uit, waardoor de grootte van het platform licht verandert. Wanneer de temperatuur daalt, krimpt het terug naar zijn oorspronkelijke staat. Ogenschijnlijk kleine veranderingen in grootte kunnen uitgroeien tot belangrijke factoren die de meetresultaten in precisiemetingen beïnvloeden.
Als we het gangbare coördinatenmeetinstrument voor granieten platforms als voorbeeld nemen, bereiken de vereisten voor meetnauwkeurigheid bij zeer nauwkeurige metingen vaak het micronniveau of zelfs hoger. Er wordt aangenomen dat bij de standaardtemperatuur van 20 °C de verschillende dimensionale parameters van het platform zich in een ideale toestand bevinden en dat nauwkeurige gegevens kunnen worden verkregen door het werkstuk te meten. Wanneer de omgevingstemperatuur fluctueert, is de situatie heel anders. Na een groot aantal experimentele gegevensstatistieken en theoretische analyses, onder normale omstandigheden, bij een schommeling van de omgevingstemperatuur van 1 °C, bedraagt de lineaire uitzetting of krimp van het granieten precisieplatform ongeveer 5-7 × 10⁻⁶/℃. Dit betekent dat voor een granieten platform met een zijlengte van 1 meter de zijlengte met 5-7 micron kan veranderen als de temperatuur met 1 °C verandert. Bij precisiemetingen is een dergelijke verandering in grootte voldoende om meetfouten te veroorzaken die buiten het acceptabele bereik vallen.
Voor de metingen die vereist zijn bij verschillende nauwkeurigheidsniveaus, is de invloedsdrempel van temperatuurschommelingen ook verschillend. Bij gewone precisiemetingen, zoals het meten van de afmetingen van mechanische onderdelen, moet de temperatuurschommeling, volgens de bovenstaande berekening van de uitzettingscoëfficiënt, binnen het bereik van ± 3-4 ℃ worden gehouden om de meetfout veroorzaakt door de verandering in platformgrootte op een acceptabel niveau te houden. In gebieden met hoge precisie-eisen, zoals lithografie bij de productie van halfgeleiderchips, is de fout toegestaan binnen ± 1 micron en moeten de temperatuurschommelingen strikt worden beperkt tot ± 0,1-0,2 °C. Zodra de temperatuurschommeling deze drempel overschrijdt, kunnen de thermische uitzetting en krimp van het granieten platform afwijkingen in de meetresultaten veroorzaken, wat de opbrengst van de chipproductie beïnvloedt.
Om de invloed van schommelingen in de omgevingstemperatuur op de meetnauwkeurigheid van een granieten precisieplatform te beheersen, worden in de praktijk vaak veel maatregelen genomen. Zo wordt bijvoorbeeld zeer nauwkeurige apparatuur met constante temperatuur in de meetomgeving geïnstalleerd om de temperatuurschommelingen binnen een zeer klein bereik te beheersen. Temperatuurcompensatie wordt uitgevoerd op de meetgegevens en de meetresultaten worden gecorrigeerd door een softwarealgoritme op basis van de thermische uitzettingscoëfficiënt van het platform en realtime temperatuurveranderingen. Welke maatregelen er ook worden genomen, een nauwkeurig inzicht in de impact van schommelingen in de omgevingstemperatuur op de meetnauwkeurigheid van een granieten precisieplatform is de basis voor nauwkeurige en betrouwbare metingen.
Plaatsingstijd: 03-04-2025