In de voorhoede van precisieproductie en wetenschappelijk onderzoek neemt de vraag naar uiterst nauwkeurige bewegingsbesturing met de dag toe. Als sleutelcomponent voor het realiseren van zeer nauwkeurige lineaire bewegingen, heeft de prestatie van de uiterst nauwkeurige enkelassige luchtzweefmodule een directe invloed op de kwaliteit van het eindproduct en de nauwkeurigheid van wetenschappelijke onderzoeksresultaten. Van de vele beïnvloedende factoren biedt de toepassing van een granieten basis een ongeëvenaard voordeel en vormt het een essentieel element voor het garanderen van een uitstekende nauwkeurigheid.
Graniet heeft na miljoenen jaren van geologische veranderingen een extreem dichte en uniforme interne structuur. Het is hoofdzakelijk samengesteld uit kwarts, veldspaat en andere mineralen. Deze unieke materiaalsamenstelling geeft graniet uitstekende fysische eigenschappen. Wanneer graniet wordt gebruikt als basis voor een ultraprecisie bewegingsmodule met luchtvering en één as, toont het allereerst een extreem hoge stabiliteit. In vergelijking met gangbare metalen basismaterialen, vertonen granieten basissen een sterkere weerstand tegen vervorming bij externe omgevingsinvloeden, zoals temperatuurschommelingen en mechanische trillingen. Bij de productie van elektronische chips is een positioneringsnauwkeurigheid van de chiplithografie vereist die nanometerniveau bereikt. In de productiehal kunnen de trillingen die worden gegenereerd door de werking van grote apparatuur en de kleine veranderingen in de omgevingstemperatuur de bewegingsnauwkeurigheid van de lithografieapparatuur beïnvloeden. De ultraprecisie bewegingsmodule met luchtvering en één as, met een granieten basis, kan externe trillingen effectief dempen en de trillingsamplitude die naar de bewegingsmodule wordt overgebracht met meer dan 80% verminderen. Tegelijkertijd zorgt de extreem lage thermische uitzettingscoëfficiënt ervoor dat de afmetingen van de basis nauwelijks veranderen bij temperatuurschommelingen. Hierdoor kan de zwevende bewegingsmodule in een complexe omgeving een stabiele bewegingsnauwkeurigheid behouden, wat een precieze positioneringsbasis biedt voor chiplithografie en de opbrengst van de chipfabricage aanzienlijk verbetert.
Bovendien heeft graniet een goede slijtvastheid. Tijdens de frequente heen-en-weergaande beweging van de uiterst nauwkeurige, eenassige luchtflotatiemodule, ontstaat er, ondanks de gasfilm tussen de luchtflotatieschuif en de basis, bij langdurig gebruik onvermijdelijk een zekere mate van wrijving. De granieten basis, met zijn hoge hardheid, kan deze slijtage effectief tegengaan en de levensduur van de bewegingsmodule verlengen. In wetenschappelijke onderzoekslaboratoria van universiteiten vereist de experimentele apparatuur voor microdeeltjesdetectie een uiterst nauwkeurige, eenassige luchtflotatiemodule die gedurende lange tijd stabiel functioneert om een grote hoeveelheid nauwkeurige experimentele gegevens te verkrijgen. De hoge slijtvastheid van de granieten basis zorgt ervoor dat de nauwkeurigheid van de bewegingsmodule ook na langdurig gebruik op het oorspronkelijke hoge precisieniveau blijft, wat een betrouwbare garantie biedt voor de continuïteit en nauwkeurigheid van wetenschappelijk onderzoek en onderzoekers helpt om de mysteries van de microscopische wereld diepgaand te verkennen.
De ultraprecieze bewegingsmodule met luchtvering en één as, voorzien van een granieten voet, is als een nauwkeurige "navigator" voor precisieproductie en wetenschappelijk onderzoek. De granieten voet, met zijn uitstekende stabiliteit en slijtvastheid, biedt een solide ondersteuning voor de uiterst nauwkeurige beweging van de luchtveringmodule. In de halfgeleiderproductie, de optische instrumentenindustrie, hoogwaardig wetenschappelijk onderzoek en vele andere sectoren die aan hoge precisie-eisen voldoen, speelt de granieten voet een onvervangbare rol en draagt bij aan de ontwikkeling van de industrie naar hogere precisie en kwaliteit.
Geplaatst op: 7 april 2025