Op het gebied van precisieproductie en wetenschappelijk onderzoek neemt de vraag naar ultraprecieze bewegingsbesturing met de dag toe. Als essentiële apparatuur voor uiterst precieze lineaire bewegingen hebben de prestaties van de ultraprecieze enkelassige luchtzweefmodule direct invloed op de kwaliteit van het eindproduct en de nauwkeurigheid van wetenschappelijke onderzoeksresultaten. Van de vele beïnvloedende factoren geeft de toepassing van een granieten basis een ongeëvenaard voordeel en vormt het de kern voor een uitstekende nauwkeurigheid.
Graniet heeft na miljoenen jaren van geologische veranderingen een extreem dichte en uniforme interne structuur. Het bestaat voornamelijk uit kwarts, veldspaat en andere mineralen. Deze unieke materiaalsamenstelling geeft graniet uitstekende fysische eigenschappen. Wanneer het wordt gebruikt als basis voor een enkelassige, luchtfloat-ultraprecisie bewegingsmodule, vertoont graniet allereerst een extreem hoge stabiliteit. Vergeleken met basismaterialen van gewone metalen, vertonen granieten basissen een sterkere vervormingsweerstand bij externe omgevingsinvloeden, zoals temperatuurschommelingen en mechanische trillingen. Bij de productie van elektronische chips moet de positioneringsnauwkeurigheid van chiplithografie nanometernauwkeurigheid bereiken. In de productiehal kunnen de trillingen die worden gegenereerd door de werking van grote apparatuur en de kleine veranderingen in de omgevingstemperatuur de bewegingsnauwkeurigheid van de lithografieapparatuur beïnvloeden. De enkelassige, luchtfloat-ultraprecisie bewegingsmodule met granieten basis kan externe trillingen effectief dempen en de trillingsamplitude die op de bewegingsmodule wordt overgebracht met meer dan 80% verminderen. Tegelijkertijd zorgt de extreem lage thermische uitzettingscoëfficiënt ervoor dat de afmetingen van de basis nauwelijks veranderen als de temperatuur verandert. Hierdoor kan de luchtzwevende bewegingsmodule nog steeds een stabiele bewegingsnauwkeurigheid handhaven in een complexe omgeving. Dit biedt een nauwkeurige positioneringsbasis voor chiplithografie en verbetert de opbrengst van chipproductie aanzienlijk.
Bovendien heeft graniet een goede slijtvastheid. Tijdens de frequente heen-en-weergaande beweging van de ultraprecieze enkelassige luchtflotatiemodule zal, ondanks de gasfilmondersteuning tussen de luchtflotatieschuif en de basis, bij langdurig gebruik onvermijdelijk een zekere mate van wrijving optreden. De granieten basis, met zijn hoge hardheidseigenschappen, kan de door deze wrijving veroorzaakte slijtage effectief weerstaan en de levensduur van de bewegingsmodule verlengen. In het wetenschappelijk onderzoekslaboratorium van universiteiten heeft de experimentele apparatuur die wordt gebruikt voor de detectie van microdeeltjes de ultraprecieze bewegingsmodule met uniaxiale luchtflotatie nodig om langdurig stabiel te werken en een groot aantal nauwkeurige experimentele gegevens te verkrijgen. De hoge slijtvastheid van de granieten basis zorgt ervoor dat de nauwkeurigheid van de bewegingsmodule ook na langdurig gebruik op het oorspronkelijke hoge precisieniveau kan blijven, wat een betrouwbare garantie biedt voor de continuïteit en nauwkeurigheid van wetenschappelijk onderzoek en onderzoekers helpt om het mysterie van de microscopische wereld diepgaand te verkennen.
De enkelassige, ultraprecieze luchtfloat-bewegingsmodule met granieten voet is als een nauwkeurige "navigator" voor precisieproductie en wetenschappelijk onderzoek. De granieten voet met zijn uitstekende stabiliteit en slijtvastheid biedt een solide basis voor de uiterst precieze beweging van de luchtfloat-bewegingsmodule in de halfgeleiderproductie, de productie van optische instrumenten, hoogwaardig wetenschappelijk onderzoek en vele andere precisievereisten in de sector. Het speelt een onvervangbare, belangrijke rol en bevordert de industrie naar een hogere precisie en hogere kwaliteit.
Plaatsingstijd: 07-04-2025