Hoewel een granieten platform misschien een simpele steen lijkt, veranderen de selectiecriteria drastisch wanneer men overstapt van gewone industriële toepassingen naar veeleisende optische inspectie en metrologie. Voor ZHHIMG® betekent het leveren van precisiecomponenten aan wereldleiders in halfgeleider- en lasertechnologie dat ze erkennen dat een platform voor optische metingen niet zomaar een basis is – het is een integraal, ononderhandelbaar onderdeel van het optische systeem zelf.
De eisen voor optische inspectie – waaronder beeldvorming met hoge vergroting, laserscanning en interferometrie – worden bepaald door de noodzaak om alle bronnen van meetruis te elimineren. Dit leidt tot een focus op drie speciale eigenschappen die een echt optisch platform onderscheiden van een standaard industrieel platform.
1. Superieure dichtheid voor ongeëvenaarde trillingsdemping
Voor standaard industriële CNC-bases kan gietijzer of typisch graniet voldoende stijfheid bieden. Optische opstellingen zijn echter uitzonderlijk gevoelig voor kleine verschuivingen veroorzaakt door externe trillingen van fabrieksapparatuur, luchtbehandelingssystemen of zelfs verkeer in de verte.
Dit is waar materiaalkunde van cruciaal belang is. Een optisch platform vereist graniet met uitzonderlijke inherente materiaaldemping. ZHHIMG® maakt gebruik van zijn gepatenteerde ZHHIMG® Black Granite (≈ 3100 kg/m³). Dit materiaal met ultrahoge dichtheid bezit, in tegenstelling tot graniet- of marmervervangers van lagere kwaliteit, een kristallijne structuur die mechanische energie zeer efficiënt afvoert. Het doel is niet alleen om trillingen te verminderen, maar ook om ervoor te zorgen dat de basis een uiterst stille mechanische vloer blijft, waardoor de relatieve beweging tussen de objectieflens en het geïnspecteerde monster op submicronniveau tot een minimum wordt beperkt.
2. Extreme thermische stabiliteit om drift tegen te gaan
Standaard industriële platforms tolereren kleine maatafwijkingen; een tiende graad Celsius maakt voor boren misschien niet zoveel uit. Maar in optische systemen die gedurende langere perioden nauwkeurige metingen uitvoeren, leidt elke thermische afwijking in de geometrie van de basis tot een systematische fout.
Voor optische inspectie moet een platform fungeren als een thermische gootsteen met een uitzonderlijk lage thermische uitzettingscoëfficiënt (CTE). De superieure massa en dichtheid van ZHHIMG® Black Granite bieden de nodige thermische inertie om minieme uitzettingen en krimpingen te weerstaan die in een klimaatgestuurde ruimte kunnen optreden. Deze stabiliteit zorgt ervoor dat de gekalibreerde focusafstand en planaire uitlijning van de optische componenten stabiel blijven, waardoor de integriteit van metingen over uren wordt gegarandeerd – een onmiskenbare factor voor hoge-resolutie waferinspectie of metrologie van flatpanel-displays.
3. Het bereiken van nano-niveau vlakheid en geometrische precisie
Het meest zichtbare verschil is de vereiste vlakheid. Terwijl een gewone industriële basis kan voldoen aan vlakheidsgraad 1 of 0 (gemeten in enkele micrometers), vereisen optische systemen nauwkeurigheid in het nanometerbereik. Dit niveau van geometrische perfectie is noodzakelijk om een betrouwbaar referentievlak te bieden voor lineaire platforms en autofocussystemen die werken volgens de principes van lichtinterferentie.
Het bereiken en certificeren van vlakheid op nanometerniveau vereist een compleet andere productieaanpak. Het vereist zeer gespecialiseerde technieken met geavanceerde machines zoals Taiwan Nanter-slijpmachines en wordt bevestigd door geavanceerde metrologische apparatuur zoals Renishaw-laserinterferometers. Dit proces moet plaatsvinden in een ultrastabiele omgeving, zoals de trillingsgedempte, klimaatgecontroleerde werkplaatsen van ZHHIMG®, waar zelfs de kleinste luchtbewegingen tot een minimum worden beperkt.
In essentie is de keuze voor een granieten precisieplatform voor optische inspectie een beslissing om te investeren in een component dat de nauwkeurigheid van de optische meting zelf actief garandeert. Dit vereist een samenwerking met een fabrikant die ISO 9001-certificering en uitgebreide dimensionale traceerbaarheid niet als optionele functies beschouwt, maar als fundamentele vereisten voor het betreden van de wereld van ultraprecieze optica.
Plaatsingstijd: 21-10-2025