Granietmaterialen worden op grote schaal gebruikt in de halfgeleiderindustrie vanwege hun uitstekende kenmerken, zoals hoge stabiliteit, lage thermische expansie en hoge weerstand tegen corrosie. Deze eigenschappen maken graniet een ideaal materiaal voor het bouwen van zeer nauwkeurige componenten in een wafeloverdrachtssysteem.
In het productieproces van het halfgeleider speelt het wafeloverdrachtssysteem een cruciale rol bij het transport van wafels in verschillende stadia van het productieproces. Precisie en nauwkeurigheid zijn de essentiële vereisten voor deze systemen, omdat zelfs kleine afwijkingen het hele proces in gevaar kunnen brengen. Daarom moeten componenten in het wafeloverdrachtssysteem worden gemaakt van hoogwaardige materialen en aan graniet voldoet aan die criteria.
Sommige delen van het wafeloverdrachtssysteem die zijn gemaakt van granietmaterialen omvatten:
1. Vacuüm Chuck -tafel
De vacuümbuck -tabel wordt gebruikt om de wafel tijdens het proces vast te houden en deze moet een stabiel oppervlak hebben om ervoor te zorgen dat de wafel niet is beschadigd. Graniet is een ideaal materiaal voor het maken van deze tafel omdat het een plat, niet-poreus oppervlak heeft dat een hoge stabiliteit en precisie biedt. Bovendien heeft graniet een lage coëfficiënt van thermische expansie, waardoor het bestand is tegen temperatuurveranderingen die dimensionale veranderingen in de wafer kunnen veroorzaken.
2. Luchtdragende fase
De luchtdragende fase wordt gebruikt om de wafel door verschillende fasen van het productieproces te transporteren. Het podium is ontworpen om een wrijvingsloze beweging te bieden, die een hoge precisie en stabiliteit vereist. Graniet wordt in deze toepassing gebruikt omdat het een rigide en harde steen is, en het verzet tegen vervorming en slijtage na verloop van tijd.
3. Lineaire bewegingsgidsen
De lineaire bewegingsgidsen worden gebruikt om de luchtdragende fase te begeleiden en ze moeten nauwkeurig worden gepositioneerd om fouten te minimaliseren. Graniet wordt gebruikt om deze gids te bouwen omdat deze uitstekende mechanische stabiliteit en sterkte heeft. Het materiaal is ook corrosiebestendig, dat de levensduur van het geleidersysteem waarborgt.
4. Metrologieapparatuur
Metrologieapparatuur wordt gebruikt om de afmetingen en eigenschappen van de wafer tijdens het productieproces te meten. Graniet is een ideaal materiaal voor het bouwen van deze apparatuur omdat het een hoge stijfheid, lage expansie en minimale vervorming heeft onder belasting. Bovendien zorgt de thermische stabiliteit van Granite ervoor dat de metrologieapparatuur stabiel en nauwkeurig blijft in de loop van de tijd.
Concluderend is de halfgeleiderindustrie afhankelijk van precisie en nauwkeurigheid, en granietmaterialen zijn in het productieproces zeer betrouwbaar en stabiel gebleken. Met veel kritieke componenten in het wafeloverdrachtssysteem dat hoge stabiliteit, precisie en lage thermische expansie vereist, hebben ingenieurs zich veranderd tot granietmaterialen om aan deze kritieke vereisten te voldoen.
Posttijd: maart-19-2024