Granietmaterialen worden veel gebruikt in de halfgeleiderindustrie vanwege hun uitstekende eigenschappen, zoals hoge stabiliteit, lage thermische uitzetting en hoge weerstand tegen corrosie.Deze eigenschappen maken graniet tot een ideaal materiaal voor het bouwen van uiterst nauwkeurige componenten in een wafeloverdrachtsysteem.
In het fabricageproces van halfgeleiders speelt het waferoverdrachtsysteem een cruciale rol bij het transporteren van wafers door verschillende stadia van het fabricageproces.Precisie en nauwkeurigheid zijn de essentiële vereisten voor deze systemen, omdat zelfs kleine afwijkingen het hele proces in gevaar kunnen brengen.Daarom moeten componenten in het waferoverdrachtsysteem gemaakt zijn van hoogwaardige materialen, en graniet voldoet aan deze criteria.
Sommige delen van het wafeloverdrachtsysteem die zijn gemaakt van granietmaterialen zijn onder meer:
1. Vacuümspantafel
De vacuümspantafel wordt gebruikt om de wafer tijdens het proces vast te houden en moet een stabiel oppervlak hebben om ervoor te zorgen dat de wafer niet wordt beschadigd.Graniet is een ideaal materiaal voor het maken van deze tafel, omdat het een vlak, niet-poreus oppervlak heeft dat voor hoge stabiliteit en precisie zorgt.Bovendien heeft graniet een lage thermische uitzettingscoëfficiënt, waardoor het bestand is tegen temperatuurveranderingen die maatveranderingen in de wafel kunnen veroorzaken.
2. Luchtlagerstadium
De luchtgelagerde fase wordt gebruikt om de wafel door verschillende fasen van het productieproces te transporteren.Het podium is ontworpen om een wrijvingsloze beweging te bieden, wat een hoge precisie en stabiliteit vereist.Graniet wordt in deze toepassing gebruikt omdat het een stijve en harde steen is en bestand is tegen vervorming en slijtage na verloop van tijd.
3. Lineaire bewegingsgeleiders
De lineaire bewegingsgeleiders worden gebruikt om de luchtgelagerde tafel te geleiden, en ze moeten nauwkeurig worden gepositioneerd om fouten te minimaliseren.Graniet wordt gebruikt om deze geleider te bouwen, omdat het een uitstekende mechanische stabiliteit en sterkte heeft.Bovendien is het materiaal corrosiebestendig, wat de lange levensduur van het geleidingssysteem garandeert.
4. Metrologieapparatuur
Metrologieapparatuur wordt gebruikt om de afmetingen en eigenschappen van de wafer tijdens het productieproces te meten.Graniet is een ideaal materiaal voor het bouwen van deze apparatuur, omdat het een hoge stijfheid, lage uitzetting en minimale vervorming onder belasting heeft.Bovendien zorgt de thermische stabiliteit van graniet ervoor dat de metrologieapparatuur in de loop van de tijd stabiel en nauwkeurig blijft.
Kortom, de halfgeleiderindustrie vertrouwt op precisie en nauwkeurigheid, en granietmaterialen hebben bewezen zeer betrouwbaar en stabiel te zijn tijdens het productieproces.Omdat veel kritische componenten in het waferoverdrachtsysteem hoge stabiliteit, precisie en lage thermische uitzetting vereisen, hebben ingenieurs zich tot granietmaterialen gewend om aan deze kritische eisen te voldoen.
Posttijd: 19 maart 2024