Graniet wordt veelvuldig gebruikt in de halfgeleiderindustrie vanwege uitstekende eigenschappen, zoals hoge stabiliteit, lage thermische uitzetting en hoge corrosiebestendigheid. Deze eigenschappen maken graniet een ideaal materiaal voor de productie van uiterst nauwkeurige componenten in een wafertransfersysteem.
In het productieproces van halfgeleiders speelt het wafertransportsysteem een cruciale rol bij het transporteren van wafers door de verschillende fasen van het productieproces. Precisie en nauwkeurigheid zijn essentiële vereisten voor deze systemen, aangezien zelfs de kleinste afwijkingen het hele proces in gevaar kunnen brengen. Daarom moeten de componenten van het wafertransportsysteem van hoogwaardige materialen gemaakt zijn, en graniet voldoet aan die criteria.
Enkele onderdelen van het wafertransfersysteem die van graniet zijn gemaakt, zijn onder andere:
1. Vacuümspantafel
De vacuümklemtafel wordt gebruikt om de wafer tijdens het proces vast te houden en moet een stabiel oppervlak hebben om te voorkomen dat de wafer beschadigd raakt. Graniet is een ideaal materiaal voor deze tafel, omdat het een vlak, niet-poreus oppervlak heeft dat zorgt voor hoge stabiliteit en precisie. Bovendien heeft graniet een lage thermische uitzettingscoëfficiënt, waardoor het bestand is tegen temperatuurschommelingen die dimensionale veranderingen in de wafer kunnen veroorzaken.
2. Luchtlagertrap
Het luchtgelagerde platform wordt gebruikt om de wafer door de verschillende fasen van het productieproces te transporteren. Het platform is ontworpen voor een wrijvingsloze beweging, wat een hoge precisie en stabiliteit vereist. Graniet wordt in deze toepassing gebruikt omdat het een stijve en harde steen is die bestand is tegen vervorming en slijtage.
3. Lineaire bewegingsgeleiders
De lineaire geleiders worden gebruikt om het luchtlagerplatform te geleiden en moeten nauwkeurig worden gepositioneerd om fouten te minimaliseren. Graniet wordt gebruikt voor de constructie van deze geleiders vanwege de uitstekende mechanische stabiliteit en sterkte. Het materiaal is bovendien corrosiebestendig, wat de lange levensduur van het geleidingssysteem garandeert.
4. Meetapparatuur
Meetapparatuur wordt gebruikt om de afmetingen en eigenschappen van de wafer tijdens het productieproces te meten. Graniet is een ideaal materiaal voor de constructie van deze apparatuur vanwege de hoge stijfheid, geringe uitzetting en minimale vervorming onder belasting. Bovendien zorgt de thermische stabiliteit van graniet ervoor dat de meetapparatuur in de loop der tijd stabiel en nauwkeurig blijft.
Kortom, de halfgeleiderindustrie is afhankelijk van precisie en nauwkeurigheid, en graniet heeft bewezen zeer betrouwbaar en stabiel te zijn in het productieproces. Omdat veel kritische componenten in het wafertransfersysteem een hoge stabiliteit, precisie en lage thermische uitzetting vereisen, hebben ingenieurs hun toevlucht genomen tot graniet om aan deze kritische eisen te voldoen.
Geplaatst op: 19 maart 2024