Granietmaterialen worden veel gebruikt in de halfgeleiderindustrie vanwege hun uitstekende eigenschappen, zoals hoge stabiliteit, lage thermische uitzetting en hoge corrosiebestendigheid. Deze eigenschappen maken graniet een ideaal materiaal voor de productie van zeer nauwkeurige componenten in een wafertransfersysteem.
In het halfgeleiderproductieproces speelt het wafertransportsysteem een cruciale rol bij het transporteren van wafers door de verschillende fasen van het productieproces. Precisie en nauwkeurigheid zijn essentiële vereisten voor deze systemen, aangezien zelfs kleine afwijkingen het hele proces in gevaar kunnen brengen. Daarom moeten componenten in het wafertransportsysteem gemaakt zijn van hoogwaardige materialen, en graniet voldoet aan deze criteria.
Enkele onderdelen van het waferoverdrachtssysteem die van granietmaterialen zijn gemaakt, zijn:
1. Vacuümklauwtafel
De vacuümtafel wordt gebruikt om de wafer tijdens het proces vast te houden en moet een stabiel oppervlak hebben om beschadiging van de wafer te voorkomen. Graniet is een ideaal materiaal voor deze tafel vanwege het vlakke, niet-poreuze oppervlak dat zorgt voor hoge stabiliteit en precisie. Bovendien heeft graniet een lage thermische uitzettingscoëfficiënt, waardoor het bestand is tegen temperatuurschommelingen die maatveranderingen in de wafer kunnen veroorzaken.
2. Luchtlagerfase
De luchtgelagerde tafel wordt gebruikt om de wafer door verschillende fasen van het productieproces te transporteren. De tafel is ontworpen voor een wrijvingsloze beweging, wat een hoge precisie en stabiliteit vereist. Graniet wordt in deze toepassing gebruikt omdat het een stijve en harde steensoort is die bestand is tegen vervorming en slijtage na verloop van tijd.
3. Lineaire bewegingsgeleiders
De lineaire bewegingsgeleiders worden gebruikt om de luchtlagertafel te geleiden en moeten nauwkeurig worden gepositioneerd om fouten te minimaliseren. Graniet is gebruikt voor de productie van deze geleider vanwege de uitstekende mechanische stabiliteit en sterkte. Het materiaal is bovendien corrosiebestendig, wat de levensduur van het geleidersysteem garandeert.
4. Metrologieapparatuur
Metrologieapparatuur wordt gebruikt om de afmetingen en eigenschappen van de wafer tijdens het productieproces te meten. Graniet is een ideaal materiaal voor de bouw van deze apparatuur vanwege de hoge stijfheid, lage uitzetting en minimale vervorming onder belasting. Bovendien zorgt de thermische stabiliteit van graniet ervoor dat de metrologieapparatuur stabiel en nauwkeurig blijft, ook na verloop van tijd.
Concluderend kan gesteld worden dat de halfgeleiderindustrie vertrouwt op precisie en nauwkeurigheid, en granietmaterialen hebben zich bewezen als zeer betrouwbaar en stabiel in het productieproces. Omdat veel kritische componenten in het wafertransfersysteem een hoge stabiliteit, precisie en lage thermische uitzetting vereisen, hebben ingenieurs zich tot granietmaterialen gewend om aan deze kritische eisen te voldoen.
Plaatsingstijd: 19-03-2024