In de wereld van de halfgeleiderproductie is nauwkeurige en nauwkeurige apparatuur van cruciaal belang voor de productie van chips van hoge kwaliteit.Er zijn talloze delen van een halfgeleiderproductiefaciliteit die materialen met specifieke eigenschappen moeten gebruiken om een betrouwbare en uiterst nauwkeurige werking te garanderen.
Eén materiaal dat een standaardonderdeel van halfgeleiderapparatuur is geworden, is graniet.Graniet staat bekend om zijn sterkte en stabiliteit en is een uitstekend materiaal voor het construeren en vervaardigen van componenten die worden gebruikt in halfgeleiderapparatuur.Hier zijn enkele onderdelen van halfgeleiderapparatuur die gewoonlijk granietmateriaal gebruiken:
1. Basisplaten
De basisplaten van halfgeleiderapparatuur moeten extreem vlak en stabiel zijn om trillingen en temperatuurschommelingen te minimaliseren.En graniet is een van de weinige materialen die aan deze eisen kan voldoen.Graniet is een dimensionaal stabiel materiaal dat bestand is tegen kromtrekken en thermische uitzetting, waardoor de basisplaat na verloop van tijd zijn vlakheid behoudt.
2. Fasen
Fasen zijn cruciale componenten in halfgeleiderapparatuur die nauwkeurige bewegingen uitvoeren voor productieprocessen zoals het positioneren, etsen en deponeren van wafers.Granieten trappen worden veel gebruikt in halfgeleiderapparatuur vanwege hun hoge stijfheid, lage thermische uitzetting en uitstekende dempingseigenschappen.Bij granieten trappen zijn de bewegingen nauwkeuriger en heeft de apparatuur een lager risico op uitval.
3. Lineaire geleidingen
Lineaire geleidingen zijn mechanische apparaten die lineaire beweging langs twee parallelle rails mogelijk maken.Ze moeten extreem stabiel en nauwkeurig zijn, en graniet is daarvoor het ideale materiaal.De hoge stijfheid en dempende eigenschappen van graniet maken het een populaire keuze voor lineaire geleidingen die worden gebruikt in halfgeleiderapparatuur, waardoor stabiliteit en precisie in het productieproces worden gegarandeerd.
4. Klauwplaten
Chucks worden gebruikt om wafers vast te houden en te positioneren tijdens verschillende productieprocessen.Granieten klauwplaten zijn populair vanwege hun vlakheid en thermische stabiliteit.Vanwege de lage thermische uitzetting van graniet, vervormen klauwplaten gemaakt van dit materiaal niet en veranderen ze niet van afmeting wanneer ze worden blootgesteld aan temperatuurveranderingen.
5. Inspectieplaten
Inspectieplaten worden gebruikt om de kwaliteit te controleren van de producten die in halfgeleiderapparatuur worden vervaardigd.Deze platen moeten extreem vlak en stabiel zijn en het licht nauwkeurig kunnen reflecteren.Het hoge reflectiviteitsvermogen, de vlakheid van het oppervlak en de maatvastheid van graniet maken het tot een populaire keuze voor inspectieplaten in halfgeleiderapparatuur.
Concluderend: granieten elementen worden op grote schaal gebruikt voor precisieonderdelen in halfgeleiderapparatuur, en het gebruik ervan zal naar verwachting toenemen vanwege hun uitstekende eigenschappen.Met hun hoge stijfheid, lage thermische uitzetting en uitstekende dempingseigenschappen bieden granieten elementen de vereiste stabiliteit, nauwkeurigheid en herhaalbaarheid voor het uitvoeren van bewerkingen op nanoschaal in halfgeleiderapparatuur.Bedrijven die halfgeleiderapparatuur van hoge kwaliteit produceren, investeren in de beste materialen om hun producten de beste kans op succes te geven, en graniet blijft een populair materiaal vanwege zijn uitstekende eigenschappen en betrouwbaarheid.
Posttijd: 19 maart 2024