In apparatuur voor de productie van halfgeleiders en opto-elektronica wordt graniet voornamelijk gebruikt in belangrijke onderdelen zoals precisieplatforms, geleiderailbases, trillingsisolerende draagconstructies en substraten voor de installatie van optische componenten. Deze onderdelen stellen extreem hoge eisen aan precisie, stabiliteit en omgevingsbestendigheid. De eigenschappen van graniet voldoen perfect aan de strenge eisen van de halfgeleider- en opto-elektronica-industrie. Hieronder volgt een analyse van specifieke toepassingsscenario's en voordelen:
I. Belangrijkste toepassingsonderdelen
Precieze bewegingsplatformen (zoals waferplatformen voor fotolithografiemachines en bondingmachines)
Het wordt gebruikt om precisiecomponenten zoals wafers en optische lenzen te dragen, waardoor translatie- en rotatiebewegingen met nanoschaalnauwkeurigheid kunnen worden uitgevoerd.
Typische uitrusting: werkstuktafel van de fotolithografiemachine, positioneringsplatform van de meetapparatuur.
Geleiderailbasis en frameconstructie
Als installatiebasis voor lineaire geleidingen en luchtflotatiegeleiders ondersteunt het het kernbewegingsmechanisme van de apparatuur.
Typische apparatuur: mechanische frames van halfgeleiderverpakkingsmachines en optische inspectie-instrumenten.
Trillingsisolatie-ondersteunings- en stabiliserende structuur
Het wordt gebruikt om trillingen van buitenaf (bijvoorbeeld trillingen op de fabrieksvloer of tijdens de werking van apparatuur) te isoleren en zo de stabiliteit van optische systemen of precisiemachines te waarborgen.
Typische scenario's: Basisondersteuning voor optische microscopen en laserinterferometers.
Optisch component montagesubstraat
Bevestig optische apparaten zoals spiegels, prisma's en lasers om de stabiliteit van de uitlijningsnauwkeurigheid van het optische padsysteem op de lange termijn te garanderen.
Typische apparatuur: Opto-elektronische verpakkingsapparatuur, optische vezelkoppelingssystemen.
Geplaatst op: 29 mei 2025