In de halfgeleider- en opto-elektronica-industrie wordt graniet voornamelijk gebruikt voor cruciale onderdelen zoals precisiebewegingsplatforms, geleiderailbases, trillingsdempende ondersteuningsstructuren en substraten voor de installatie van optische componenten. Deze onderdelen stellen extreem hoge eisen aan precisie, stabiliteit en milieubestendigheid. De eigenschappen van graniet voldoen precies aan de strenge eisen van de halfgeleider- en opto-elektronica-industrie. Hieronder volgt een analyse van specifieke toepassingsscenario's en de bijbehorende voordelen:
I. Belangrijkste toepassingsonderdelen
Precisiebewegingsplatformen (zoals waferplatformen voor fotolithografiemachines en bondingmachines)
Het wordt gebruikt voor het transporteren van precisiecomponenten zoals wafers en optische lenzen, waardoor translatie- en rotatiebewegingen met nanometerprecisie mogelijk zijn.
Typische uitrusting: werkstuktafel van een fotolithografiemachine, positioneringsplatform van meetapparatuur.
Basis en frameconstructie van de geleiderail
Als basis voor de installatie van lineaire geleidingen en luchtgeleidingen ondersteunt het het kernbewegingsmechanisme van de apparatuur.
Typische apparatuur: mechanische frames van halfgeleiderverpakkingsapparatuur en optische inspectie-instrumenten.
Trillingsisolerende ondersteunings- en stabilisatiestructuur
Het wordt gebruikt om externe trillingen te isoleren (zoals trillingen van de fabrieksvloer of tijdens de werking van apparatuur), waardoor de stabiliteit van optische systemen of precisieapparatuur wordt gewaarborgd.
Typische scenario's: Basissteun voor optische microscopen en laserinterferometers.
Montagesubstraat voor optische componenten
Bevestig optische componenten zoals spiegels, prisma's en lasers om de langdurige stabiliteit van de uitlijningsnauwkeurigheid van het optische padsysteem te garanderen.
Typische apparatuur: Opto-elektronische verpakkingsapparatuur, optische vezelkoppelingssystemen.
Geplaatst op: 29 mei 2025