Bij de productie van halfgeleiderwafers heeft de keuze van basismaterialen direct invloed op de nauwkeurigheid van de apparatuur en de productieopbrengst. Sommige malafide leveranciers presenteren marmer als natuurgraniet en inferieure producten als goede producten. Het beheersen van de identificatiemethoden voor beide is essentieel voor een stabiele werking van waferapparatuur. Dit artikel analyseert de verschillen tussen vier belangrijke dimensies om u te helpen de valkuil van inferieure alternatieven te vermijden.
I. Dichtheid en hardheid: de meest intuïtieve fysieke "ID-kaarten"
Natuurlijk graniet: met een dichtheid van 2600-3100 kg/m³, een Mohs-hardheid van 6-7 en een heldere klank bij het slaan. Het door ZHHIMG® geselecteerde zwarte graniet heeft een dichtheid van meer dan 3000 kg/m³ en is bestand tegen een gelijkmatige belasting van meer dan 1000 kg/m².
Marmer: Met een dichtheid van slechts 2500-2700 kg/m³, een hardheid van 3-5 en een doffe klank bij het slaan. Als je zachtjes met een muntje over het oppervlak krast, laat marmer snel vlekken achter, terwijl graniet vrijwel onbeschadigd blijft.
Ii. Structurele kenmerken: "gebreken" onder de microscoop
Natuurlijk graniet: Het bestaat uit minerale deeltjes zoals kwarts en veldspaat die nauw met elkaar verweven zijn, met een porositeit van minder dan 0,5%. Ultrasoon onderzoek toont geen zichtbare interne defecten.
Marmer: Het hoofdbestanddeel is calciumcarbonaat, met een losse kristalstructuur en een porositeit van 1-3%. Het heeft de neiging water te absorberen en uit te zetten. In de omgeving met hoge temperaturen van waferapparatuur kan de marmeren basis een nauwkeurigheidsafwijking van meer dan ±5 μm veroorzaken als gevolg van thermische uitzetting en krimp.
III. Prestatietesten: de "magische spiegel" in echte gevechten
Iv. Authenticatie en traceerbaarheid: betrouwbaar 'identiteitsbewijs'
Formele granieten basis: ISO 9001 kwaliteitscertificering en SGS minerale samenstelling testrapport worden geleverd, en de oorsprong van de mineraalader kan worden getraceerd (zoals Jinan Black, Shandong, Indian Black).
Vervangers van lage kwaliteit: Zonder gezaghebbende certificering, of vaag omschreven als "granietmateriaal", zijn het in feite geverfde marmer en kunnen er geen gedetailleerde testgegevens worden verstrekt.
Gids om valkuilen te vermijden: drie trucs om een hoogwaardige basis te beveiligen
Controleer het certificaat: Vraag de leverancier om testrapporten over dichtheid, hardheid en thermische uitzettingscoëfficiënt te overleggen;
Testprestaties: Simuleer de werkomgeving van de waferapparatuur om de stabiliteit van de basis te testen bij trillingen en temperatuurveranderingen;
Geef bij de keuze van een merk de voorkeur aan fabrikanten zoals ZHHIMG® die de ISO-driesysteemcertificering hebben behaald, om de lageprijzenval van kleine werkplaatsen te vermijden.
Plaatsingstijd: 10 juni 2025