Granieten machinebedden worden veel gebruikt in waferverwerkingsapparatuur vanwege hun uitstekende stabiliteit, stijfheid en trillingsdempende eigenschappen. Het monteren, testen en kalibreren van een granieten machinebed vereist een nauwkeurige en zorgvuldige aanpak om accurate en betrouwbare prestaties te garanderen. In dit artikel begeleiden we u stap voor stap bij het monteren, testen en kalibreren van een granieten machinebed voor waferverwerkingsapparatuur.
Stap 1: Controleren en voorbereiden van de granieten vlakplaat
De eerste stap is het controleren van de granieten aanrechtplaat op eventuele gebreken of beschadigingen. Inspecteer de plaat op scheuren, afsplinteringen of krassen en zorg ervoor dat deze schoon en vrij van vuil is. Als u schade of gebreken constateert, moet de plaat gerepareerd of vervangen worden.
Controleer na het afstellen van de meetplaat met een waterpas of deze perfect vlak is. Als er afwijkingen van de vlakheid worden geconstateerd, moeten deze worden gecorrigeerd met behulp van vulplaatjes of andere nivelleringsaanpassingen.
Stap 2: Het granieten machinebed op zijn plaats zetten
De tweede stap is het plaatsen van het granieten machinebed op de definitieve positie. Zorg ervoor dat het bed waterpas en stabiel staat en lijn het uit met de rest van de waferverwerkingsapparatuur. Het granieten machinebed moet stevig vastgezet worden om beweging tijdens gebruik te voorkomen.
Stap 3: Het bevestigen van de componenten van de waferverwerkingsapparatuur
De derde stap is het bevestigen van de componenten van de waferverwerkingsapparatuur aan het granieten machinebed. Dit moet zorgvuldig gebeuren, volgens de instructies van de fabrikant, en ervoor zorgen dat alle componenten stevig vastzitten.
Stap 4: Het testen van het granieten machinebed op stabiliteit en trillingsdemping
Nadat alle onderdelen van de waferverwerkingsapparatuur zijn gemonteerd, moeten de stabiliteit en trillingsdempende eigenschappen van het granieten machinebed worden getest. Hiervoor wordt de waferverwerkingsapparatuur aangesloten op een trillingsanalysator en worden een reeks tests uitgevoerd.
Deze tests helpen bij het identificeren van eventuele trillingsbronnen en de amplitude van de trillingen die het granieten machinebed kan absorberen. Eventuele problemen die tijdens deze tests worden vastgesteld, moeten worden aangepakt en het trillingsdempingssysteem van het granieten machinebed moet dienovereenkomstig worden aangepast.
Stap 5: Kalibreren van het granieten machinebed
Nadat de stabiliteit en trillingsdempende eigenschappen van het machinebed van graniet zijn getest en afgesteld, moet het bed worden gekalibreerd zodat het met grote precisie kan worden gebruikt. Dit houdt in dat een zeer nauwkeurig meetsysteem wordt gebruikt om de vlakheid van de oppervlakteplaat te bepalen en het machinebed dienovereenkomstig af te stellen.
Conclusie
Het assembleren, testen en kalibreren van een machinebed van graniet vereist een nauwkeurige en zorgvuldige aanpak om accurate en betrouwbare prestaties te garanderen. Door deze stappen te volgen, zorgt u ervoor dat uw waferverwerkingsapparatuur op een stabiele en stevige basis is gebouwd, wat essentieel is voor accurate precisie en betrouwbare prestaties.
Geplaatst op: 29 december 2023