Granieten machinevoeten worden veel gebruikt in waferverwerkingsapparatuur vanwege hun superieure eigenschappen, zoals hoge stijfheid, stabiliteit en precisie. Het assembleren, testen en kalibreren van een granieten machinevoet is een cruciaal proces dat uiterste aandacht vereist voor detail, precisie en nauwkeurigheid. In dit artikel bespreken we het stapsgewijze proces van het assembleren, testen en kalibreren van een granieten machinevoet voor waferverwerkingsapparatuur.
Monteren
De eerste stap is het voorbereiden van de granieten oppervlakteplaat, de basis en de kolom voor montage. Zorg ervoor dat alle oppervlakken schoon, droog en vrij van vuil, stof of olie zijn. Plaats de stelbouten in de basis en plaats de oppervlakteplaat erop. Stel de stelbouten zo af dat de oppervlakteplaat horizontaal en waterpas is. Zorg ervoor dat de oppervlakteplaat gelijk ligt met de basis en de kolom.
Plaats vervolgens de kolom op de voet en zet deze vast met bouten. Draai de bouten met een momentsleutel vast met het door de fabrikant aanbevolen aanhaalmoment. Controleer de waterpasstelling van de kolom en pas indien nodig de stelbouten aan.
Plaats ten slotte de spindelconstructie bovenop de kolom. Draai de bouten met een momentsleutel vast met het door de fabrikant aanbevolen aanhaalmoment. Controleer de waterpasstelling van de spindelconstructie en pas indien nodig de stelbouten aan.
Testen
Nadat de machinebasis is gemonteerd, is de volgende stap het testen van de functionaliteit en nauwkeurigheid. Sluit de voeding aan en zet de machine aan. Controleer of alle componenten, zoals motoren, tandwielen, riemen en lagers, goed functioneren en er geen afwijkingen of ongewone geluiden te horen zijn.
Om de nauwkeurigheid van de machine te testen, gebruikt u een precisiemeetklok om de slingering van de spindel te meten. Plaats de meetklok op de vlakplaat en draai de spindel. De maximaal toegestane slingering moet minder dan 0,002 mm zijn. Als de slingering groter is dan de toegestane limiet, verstel dan de nivelleerbouten en controleer opnieuw.
Kalibratie
Kalibratie is de cruciale stap om de nauwkeurigheid en precisie van de machinebasis te garanderen. Het kalibratieproces omvat het testen en aanpassen van de machineparameters, zoals snelheid, positionering en nauwkeurigheid, om ervoor te zorgen dat de machine voldoet aan de specificaties van de fabrikant.
Om de machine te kalibreren, hebt u een kalibratietool nodig, zoals een laserinterferometer, een lasertracker of een ballbar. Deze tools meten de beweging, positie en uitlijning van de machine met hoge nauwkeurigheid.
Begin met het meten van de lineaire en hoekige assen van de machine. Gebruik de kalibratietool om de beweging en positie van de machine over een bepaalde afstand of hoek te meten. Vergelijk de gemeten waarden met de specificaties van de fabrikant. Pas bij afwijkingen de parameters van de machine, zoals de motoren, tandwielen en aandrijvingen, aan om de gemeten waarden binnen de toegestane grenzen te brengen.
Test vervolgens de circulaire interpolatiefunctie van de machine. Gebruik de kalibratietool om een cirkelvormig pad te creëren en de beweging en positie van de machine te meten. Vergelijk de gemeten waarden opnieuw met de specificaties van de fabrikant en pas de parameters indien nodig aan.
Test ten slotte de herhaalbaarheid van de machine. Meet de positie van de machine op verschillende punten gedurende een bepaalde periode. Vergelijk de gemeten waarden en controleer op eventuele afwijkingen. Pas indien nodig de parameters van de machine aan en herhaal de test.
Conclusie
Het assembleren, testen en kalibreren van een granieten machinebasis voor waferverwerkingsapparatuur is een cruciaal proces dat geduld, aandacht voor detail en precisie vereist. Door deze stappen te volgen, kunt u ervoor zorgen dat de machine voldoet aan de specificaties van de fabrikant en nauwkeurig, stabiel en precies functioneert.
Plaatsingstijd: 28-12-2023