Granieten machinefundamenten worden veelvuldig gebruikt in waferverwerkingsapparatuur vanwege hun superieure eigenschappen, zoals hoge stijfheid, stabiliteit en precisie. Het assembleren, testen en kalibreren van een granieten machinefundament is een cruciaal proces dat uiterste aandacht voor detail, precisie en nauwkeurigheid vereist. In dit artikel bespreken we stap voor stap het assembleren, testen en kalibreren van een granieten machinefundament voor waferverwerkingsapparatuur.
Assembleren
De eerste stap is het voorbereiden van de granieten werkbladplaat, de voet en de kolom voor de montage. Zorg ervoor dat alle oppervlakken schoon, droog en vrij van vuil, stof of olie zijn. Steek de stelbouten in de voet en plaats de werkbladplaat erop. Stel de stelbouten zo af dat de werkbladplaat horizontaal en waterpas staat. Zorg ervoor dat de werkbladplaat gelijk ligt met de voet en de kolom.
Plaats vervolgens de kolom op de basis en zet deze vast met bouten. Gebruik een momentsleutel om de bouten aan te draaien tot de door de fabrikant aanbevolen waarde. Controleer of de kolom waterpas staat en stel de stelbouten indien nodig bij.
Monteer tot slot de spindelconstructie bovenop de kolom. Gebruik een momentsleutel om de bouten aan te draaien tot de door de fabrikant aanbevolen waarde. Controleer of de spindelconstructie waterpas staat en stel de stelbouten indien nodig bij.
Testen
Na het monteren van de machinebasis is de volgende stap het testen van de functionaliteit en nauwkeurigheid. Sluit de stroomvoorziening aan en schakel de machine in. Controleer of alle onderdelen, zoals motoren, tandwielen, riemen en lagers, naar behoren functioneren en geen afwijkingen of ongebruikelijke geluiden vertonen.
Om de nauwkeurigheid van de machine te testen, gebruikt u een precisie-meetklok om de slingering van de spindel te meten. Plaats de meetklok op de meetplaat en draai de spindel rond. De maximaal toelaatbare slingering mag niet meer dan 0,002 mm bedragen. Als de slingering groter is dan de toelaatbare limiet, stelt u de stelschroeven bij en controleert u opnieuw.
Kalibratie
Kalibratie is een cruciale stap om de nauwkeurigheid en precisie van de machinebasis te garanderen. Het kalibratieproces omvat het testen en aanpassen van de machineparameters, zoals snelheid, positionering en nauwkeurigheid, om ervoor te zorgen dat de machine voldoet aan de specificaties van de fabrikant.
Om de machine te kalibreren, hebt u een kalibratie-instrument nodig, zoals een laserinterferometer, een lasertracker of een ballbar. Deze instrumenten meten de beweging, positie en uitlijning van de machine zeer nauwkeurig.
Begin met het meten van de lineaire en hoekassen van de machine. Gebruik het kalibratiegereedschap om de beweging en positie van de machine over een bepaalde afstand of hoek te meten. Vergelijk de gemeten waarden met de specificaties van de fabrikant. Als er afwijkingen zijn, pas dan de parameters van de machine aan, zoals de motoren, tandwielen en aandrijvingen, zodat de gemeten waarden binnen de toegestane limieten vallen.
Test vervolgens de circulaire interpolatiefunctie van de machine. Gebruik de kalibratietool om een cirkelvormig pad te creëren en meet de beweging en positie van de machine. Vergelijk de gemeten waarden opnieuw met de specificaties van de fabrikant en pas de parameters indien nodig aan.
Test tot slot de herhaalbaarheid van de machine. Meet de positie van de machine op verschillende punten gedurende een bepaalde periode. Vergelijk de gemeten waarden en controleer op afwijkingen. Als er afwijkingen zijn, pas dan de parameters van de machine aan en herhaal de test.
Conclusie
Het assembleren, testen en kalibreren van een granieten machinebasis voor waferverwerkingsapparatuur is een cruciaal proces dat geduld, aandacht voor detail en precisie vereist. Door deze stappen te volgen, kunt u ervoor zorgen dat de machine voldoet aan de specificaties van de fabrikant en nauwkeurig, stabiel en precies functioneert.
Geplaatst op: 28 december 2023