Granieten machinebases worden veel gebruikt in producten voor waferverwerkingsapparatuur vanwege hun superieure eigenschappen zoals hoge stijfheid, stabiliteit en precisie.Het assembleren, testen en kalibreren van een granieten machinebasis is een cruciaal proces dat uiterste aandacht voor detail, precisie en nauwkeurigheid vereist.In dit artikel bespreken we het stapsgewijze proces van het assembleren, testen en kalibreren van een granieten machinebasis voor producten voor waferverwerkingsapparatuur.
in elkaar zetten
De eerste stap is het voorbereiden van de granieten oppervlakteplaat, basis en kolom voor montage.Zorg ervoor dat alle oppervlakken schoon, droog en vrij van vuil, stof of olie zijn.Steek de nivelleringsnoppen in de basis en plaats de oppervlakteplaat er bovenop.Pas de nivelleringsnoppen zo aan dat de oppervlakteplaat horizontaal en waterpas is.Zorg ervoor dat de oppervlakteplaat gelijk ligt met de basis en de kolom.
Installeer vervolgens de kolom op de basis en zet deze vast met bouten.Gebruik een momentsleutel om de bouten vast te draaien tot het door de fabrikant aanbevolen aanhaalmoment.Controleer het niveau van de kolom en pas indien nodig de nivelleerbouten aan.
Installeer ten slotte de spilconstructie op de bovenkant van de kolom.Gebruik een momentsleutel om de bouten vast te draaien tot het door de fabrikant aanbevolen aanhaalmoment.Controleer het niveau van de spilconstructie en pas indien nodig de nivelleerbouten aan.
Testen
Na het monteren van de machinebasis is de volgende stap het testen van de functionaliteit en nauwkeurigheid ervan.Sluit de voeding aan en schakel de machine in.Zorg ervoor dat alle componenten zoals motoren, tandwielen, riemen en lagers naar behoren functioneren en zonder afwijkingen of ongebruikelijke geluiden.
Om de nauwkeurigheid van de machine te testen, gebruikt u een precisiemeetklok om de slingering van de spil te meten.Plaats de meetklok op de oppervlakteplaat en draai de spil.De maximaal toegestane slingering moet kleiner zijn dan 0,002 mm.Als de slingering groter is dan de toegestane limiet, pas dan de nivelleerbouten aan en controleer opnieuw.
Kalibratie
Kalibratie is de cruciale stap bij het garanderen van de nauwkeurigheid en precisie van de machinebasis.Het kalibratieproces omvat het testen en aanpassen van de machineparameters, zoals snelheid, positionering en nauwkeurigheid, om ervoor te zorgen dat de machine voldoet aan de specificaties van de fabrikant.
Om de machine te kalibreren heeft u een kalibratietool nodig, waaronder een laserinterferometer, een lasertracker of een ballbar.Deze gereedschappen meten de beweging, positie en uitlijning van de machine met hoge nauwkeurigheid.
Begin met het meten van de lineaire en hoekassen van de machine.Gebruik het kalibratiehulpmiddel om de beweging en positie van de machine over een bepaalde afstand of hoek te meten.Vergelijk de gemeten waarden met de specificaties van de fabrikant.Als er sprake is van een afwijking, pas dan de parameters van de machine aan, zoals de motoren, tandwielen en aandrijvingen, om de gemeten waarden binnen de toegestane grenzen te brengen.
Test vervolgens de circulaire interpolatiefunctie van de machine.Gebruik het kalibratiehulpmiddel om een cirkelvormig pad te creëren en de beweging en positie van de machine te meten.Vergelijk opnieuw de gemeten waarden met de specificaties van de fabrikant en pas de parameters indien nodig aan.
Test ten slotte de herhaalbaarheid van de machine.Meet de positie van de machine op verschillende punten gedurende een bepaalde periode.Vergelijk de gemeten waarden en controleer op eventuele afwijkingen.Als er afwijkingen zijn, pas dan de parameters van de machine aan en herhaal de test.
Conclusie
Het assembleren, testen en kalibreren van een granieten machinebasis voor producten voor waferverwerkingsapparatuur is een cruciaal proces dat geduld, aandacht voor detail en precisie vereist.Door deze stappen te volgen, kunt u ervoor zorgen dat de machine nauwkeurig, stabiel en nauwkeurig voldoet aan de specificaties en functies van de fabrikant.
Posttijd: 28 december 2023