De stabiliteit en nauwkeurigheid van elke ultraprecisiemachine – van grote coördinatenmeetmachines (CMM's) tot geavanceerde halfgeleiderlithografieapparatuur – berust fundamenteel op de granieten fundering. Bij monolithische funderingen van aanzienlijke omvang of complexe granieten vlakke panelen met meerdere secties is het assemblage- en installatieproces net zo cruciaal als de productieprecisie zelf. Het simpelweg plaatsen van een afgewerkt paneel is onvoldoende; er moet worden voldaan aan specifieke omgevings- en structurele eisen om de gecertificeerde submicronvlakheid van het paneel te behouden en te benutten.
1. De fundering: een stabiele, vlakke ondergrond
De meest voorkomende misvatting is dat precisiegranietpanelen, zoals die gemaakt van ons ZHHIMG® Black Granite met hoge dichtheid (3100 kg/m³), een instabiele vloer kunnen corrigeren. Hoewel graniet uitzonderlijke stijfheid biedt, moet het worden ondersteund door een constructie die is ontworpen voor minimale doorbuiging op lange termijn.
De assemblageruimte moet een betonnen ondergrond hebben die niet alleen vlak is, maar ook goed is uitgehard, vaak volgens militaire specificaties voor dikte en dichtheid – vergelijkbaar met de 1000 mm dikke, ultraharde betonvloeren in de assemblagehallen van ZHHIMG. Cruciaal is dat deze ondergrond geïsoleerd is van externe trillingsbronnen. Bij het ontwerp van onze grootste machinebases hebben we concepten zoals de trillingsdempende gracht rond onze metrologieruimtes geïntegreerd om ervoor te zorgen dat de fundering zelf statisch en geïsoleerd is.
2. De isolatielaag: voegen en egaliseren
Direct contact tussen het granieten paneel en de betonnen fundering wordt strikt vermeden. De granieten ondergrond moet op specifieke, wiskundig berekende punten worden ondersteund om interne spanningen te voorkomen en de gecertificeerde geometrie te behouden. Hiervoor zijn een professioneel nivelleringssysteem en een invoeglaag nodig.
Nadat het paneel nauwkeurig is gepositioneerd met behulp van verstelbare nivelleringsvijzels of wiggen, wordt een zeer sterke, krimpvrije precisiemortel in de holte tussen het graniet en de ondergrond gepompt. Deze speciale mortel hardt uit tot een uniforme interface met hoge dichtheid die het gewicht van het paneel permanent gelijkmatig verdeelt. Dit voorkomt doorzakken of vervormingen die anders interne spanningen zouden kunnen veroorzaken en de vlakheid na verloop van tijd in gevaar zouden kunnen brengen. Deze stap transformeert het granieten paneel en de fundering effectief tot één samenhangende en stijve massa.
3. Thermisch en tijdelijk evenwicht
Zoals bij alle zeer nauwkeurige metrologische werkzaamheden is geduld van het grootste belang. Het granieten paneel, het injectiemateriaal en de betonnen ondergrond moeten allemaal een thermisch evenwicht bereiken met de omgeving voordat de definitieve uitlijningscontroles kunnen worden uitgevoerd. Dit proces kan dagen duren voor zeer grote panelen.
Bovendien moet de nivelleringsafstelling – uitgevoerd met behulp van instrumenten zoals laserinterferometers en elektronische waterpassen – in langzame, kleine stapjes worden uitgevoerd, zodat het materiaal de tijd heeft om te stabiliseren. Onze ervaren technici, die zich houden aan strenge wereldwijde metrologienormen (DIN, ASME), begrijpen dat overhaasting van de uiteindelijke nivellering latente spanning kan veroorzaken, die later aan het licht komt als nauwkeurigheidsdrift.
4. Integratie van componenten en aangepaste assemblage
Voor ZHHIMG's op maat gemaakte granieten componenten of granieten vlakke panelen met lineaire motoren, luchtlagers of CMM-rails, vereist de eindmontage absolute reinheid. Onze speciale, schone assemblageruimtes, die de omgeving van halfgeleiderapparatuur nabootsen, zijn noodzakelijk omdat zelfs microscopisch kleine stofdeeltjes die tussen het graniet en een metalen component vastzitten, microdeflectie kunnen veroorzaken. Elke interface moet vóór de definitieve bevestiging zorgvuldig worden gereinigd en gecontroleerd, zodat de maatvastheid van het component feilloos wordt overgebracht op het machinesysteem zelf.
Door te voldoen aan deze strenge eisen, kunnen klanten er zeker van zijn dat ze niet alleen een component installeren, maar dat ze met succes de ultieme referentiewaarde voor hun ultraprecieze apparatuur definiëren. Deze basis wordt gegarandeerd door de materiaalkunde en productie-expertise van ZHHIMG.
Plaatsingstijd: 29-10-2025