IIn de halfgeleiderindustrie is de nauwkeurigheid van waferinspectieapparatuur cruciaal voor het waarborgen van de kwaliteit van geïntegreerde schakelingen. Zeer nauwkeurige granieten machinebases, zoals die van ZHHIMG®, spelen een essentiële rol in het verbeteren van de prestaties van dergelijke apparatuur. Hieronder leggen we uit hoe ze het verschil maken.
Uitzonderlijke dimensionale stabiliteit Graniet heeft een extreem lage thermische uitzettingscoëfficiënt, rond (4–8)×10⁻⁶/℃, aanzienlijk lager dan die van veel metalen. In de streng gecontroleerde omgeving van halfgeleiderfabrieken, waar zelfs kleine temperatuurschommelingen meetfouten kunnen veroorzaken, blijven granieten machinebases stabiel. Deze stabiliteit zorgt ervoor dat de positionering van componenten in waferinspectieapparatuur nauwkeurig blijft, waardoor door warmte veroorzaakte afwijkingen die de precisie van de inspectieresultaten zouden kunnen beïnvloeden, worden voorkomen.
Superieure trillingsdemping. Productievloeren zijn vaak gevuld met trillingen afkomstig van diverse bronnen. De inherente dempende eigenschappen van graniet, met een dempingsverhouding van 0,05–0,1, absorberen en verspreiden deze trillingen effectief. Voor waferinspiratie
In een sectie die beeldvorming met hoge resolutie en nauwkeurige sensoraflezingen vereist, is de vermindering van trillingen door granieten bases van onschatbare waarde. Het minimaliseert de interferentie die beelden zou kunnen vervagen of sensorgegevens zou kunnen vervormen, waardoor de apparatuur heldere en nauwkeurige informatie over het oppervlak en de interne structuur van de wafer kan vastleggen.
Hoge stijfheid en slijtvastheid. Met een dichtheid van circa 3100 kg/m³ bieden de granieten machinebases van ZHHIMG® een opmerkelijke stijfheid. Ze kunnen de zware componenten van waferinspectieapparatuur dragen zonder te vervormen, waardoor de uitlijning van optische en mechanische systemen behouden blijft. Bovendien zorgen de hoge hardheid van graniet (Mohs-schaal 6-7) en de uitstekende slijtvastheid ervoor dat het oppervlak van de machinebasis in de loop der tijd vlak en glad blijft. Deze consistentie is essentieel voor nauwkeurigheid op lange termijn, aangezien slijtage of vervorming van de basis de precisie van de apparatuur geleidelijk kan verminderen.
Chemische inertheid: Bij de productie van halfgeleiders komt men in aanraking met diverse chemicaliën. De chemische inertheid van graniet maakt het bestand tegen corrosie door deze stoffen. Deze eigenschap beschermt de integriteit van de machinebasis en voorkomt schade door chemicaliën die de stabiliteit en nauwkeurigheid van de inspectieapparatuur zou kunnen beïnvloeden.
Kortom, uiterst nauwkeurige granieten machinebases zijn niet zomaar een onderdeel, maar een cruciale factor voor het behalen van de hoge nauwkeurigheidseisen van waferinspectieapparatuur. Kies bij de aanschaf van granieten machinebases voor vertrouwde leveranciers zoals ZHHIMG®. Met meerdere certificeringen en een sterke focus op kwaliteit garandeert ZHHIMG® dat elke granieten machinebasis de betrouwbaarheid en prestaties levert die nodig zijn voor geavanceerde halfgeleiderproductie.
Geplaatst op: 3 juni 2025