Op het gebied van halfgeleiderfabricage is submicronprecisie de sleutel tot het garanderen van chipprestaties. De (ZHHIMG®) granietbasis is met zijn materiaaleigenschappen, nauwkeurige verwerking en innovatieve ontwerp de belangrijkste garantie voor het bereiken van deze precisie.
Qua materiaaleigenschappen heeft het door ZHHIMG® geselecteerde zwarte graniet een dichtheid van circa 3100 kg/m³ en een dichte interne structuur. Deze hoge dichtheid verleent het materiaal een uitstekende stabiliteit en stijfheid. Tijdens de werking van halfgeleiderapparatuur genereren de rotatie van motoren en de beweging van mechanische componenten in de apparatuur trillingen. De granieten basis kan effectief meer dan 90% van de trillingsenergie absorberen, waardoor de impact van trillingen op de nauwkeurigheid van de apparatuur aanzienlijk wordt verminderd. De extreem lage thermische uitzettingscoëfficiënt zorgt er bovendien voor dat de vervorming binnen een zeer klein bereik blijft bij schommelingen in de omgevingstemperatuur. Dit biedt een stabiele basis voor halfgeleiderapparatuur en voorkomt verschuiving van apparatuurcomponenten door temperatuurschommelingen, wat de nauwkeurigheid zou kunnen beïnvloeden.
Wat betreft verwerking en productie, maakt de ZHHIMG®-fabriek gebruik van geavanceerde internationale verwerkingsapparatuur en beschikt over vier supergrote slijpmachines (elk kost meer dan 500.000 USD) die graniet met hoge precisie kunnen slijpen. Dankzij vijfassige CNC-bewerking en andere processen kan de vlakheid van de machinebasis tot op nanometerniveau worden bereikt, wat een ultravlak referentieoppervlak biedt voor de installatie van halfgeleiderapparatuur en de nauwkeurige positionering van elk onderdeel van de apparatuur garandeert. Bovendien biedt de werkplaats met een constante temperatuur en vochtigheid (met een oppervlakte van 10.000 vierkante meter) een stabiele omgeving voor de verwerking. De 500 mm brede en 2000 mm diepe trillingsdempende sleuven eromheen, evenals de stille kranen, isoleren effectief externe trillingen en garanderen de verwerkingsnauwkeurigheid van de machinebasis.
Bovendien beschikt ZHHIMG® over een sterke mogelijkheid tot maatwerk. Voor de specifieke eisen van halfgeleiderapparatuur kunnen nauwkeurige installatiegaten en kabelgoten worden geprefabriceerd om een perfecte compatibiliteit tussen de apparatuur en de basis te bereiken. Tegelijkertijd wordt de machinebasis, in combinatie met hoogwaardige metrologie- en testapparatuur zoals de Duitse Mahr-minutenmeter (met een nauwkeurigheid van 0,5 µm) en de Zwitserse WYLER elektronische waterpas, streng geïnspecteerd en gekalibreerd om te garanderen dat elke machinebasis voldoet aan de strenge eisen van halfgeleiderapparatuur voor een nauwkeurigheid tot op submicronniveau.
Het is juist de combinatie van deze voordelen die de ZHHIMG® granietbasis tot een betrouwbare keuze maakt voor het bereiken van submicronprecisie in halfgeleiderapparatuur, waardoor de productie van halfgeleiders zich kan ontwikkelen tot velden met een hogere precisie.
Plaatsingstijd: 18 juni 2025