In de halfgeleiderindustrie is submicronprecisie essentieel voor optimale chipprestaties, en de (ZHHIMG®) granieten basis is met zijn materiaaleigenschappen, nauwkeurige bewerking en innovatief ontwerp de belangrijkste garantie geworden voor het bereiken van deze precisie.
Vanuit het oogpunt van materiaaleigenschappen heeft het door ZHHIMG® geselecteerde zwarte graniet een dichtheid van circa 3100 kg/m³ en een dichte interne structuur. Deze hoge dichtheid zorgt voor een uitstekende stabiliteit en stijfheid. Tijdens de werking van halfgeleiderapparatuur genereren de rotatie van motoren en de beweging van mechanische componenten in de apparatuur trillingen. De granieten basis kan meer dan 90% van de trillingsenergie effectief absorberen, waardoor de impact van trillingen op de nauwkeurigheid van de apparatuur aanzienlijk wordt verminderd. Tegelijkertijd zorgt de extreem lage thermische uitzettingscoëfficiënt ervoor dat de vervorming binnen een zeer klein bereik blijft bij schommelingen in de omgevingstemperatuur. Dit biedt een stabiele ondersteuningsbasis voor halfgeleiderapparatuur en voorkomt dat componenten van de apparatuur verschuiven als gevolg van temperatuurschommelingen, wat de nauwkeurigheid zou kunnen beïnvloeden.
Wat de verwerking en productie betreft, maakt de ZHHIMG®-fabriek gebruik van internationaal geavanceerde verwerkingsapparatuur en beschikt over vier supergrote slijpmachines (elk met een prijskaartje van meer dan 500.000 dollar), waarmee zeer nauwkeurig graniet geslepen kan worden. Door middel van vijfassige CNC-bewerking en andere processen kan de vlakheid van de machinebasis tot op nanometerniveau worden gebracht, wat een ultravlak referentieoppervlak biedt voor de installatie van halfgeleiderapparatuur en de precieze positionering van elk onderdeel van de apparatuur garandeert. Bovendien zorgt de werkplaats met constante temperatuur en luchtvochtigheid (van 10.000 vierkante meter) voor een stabiele omgeving voor de verwerking. De 500 mm brede en 2000 mm diepe trillingsdempende sleuven eromheen, evenals de stille kranen, isoleren effectief externe trillingen en garanderen de nauwkeurigheid van de bewerking van de machinebasis.
Daarnaast beschikt ZHHIMG® over een sterke mogelijkheid tot maatwerk. Voor de specifieke eisen van halfgeleiderapparatuur kunnen nauwkeurige montagegaten en kabelgoten worden geprefabriceerd om een perfecte compatibiliteit tussen de apparatuur en de basis te garanderen. Tegelijkertijd wordt de machinebasis, in combinatie met hoogwaardige meet- en testapparatuur zoals de Duitse Mahr minutenmeter (met een nauwkeurigheid van 0,5 µm) en de Zwitserse WYLER elektronische waterpas, nauwkeurig geïnspecteerd en gekalibreerd om te waarborgen dat elke machinebasis voldoet aan de strenge eisen van halfgeleiderapparatuur voor nauwkeurigheid op submicronniveau.
Juist de combinatie van deze voordelen maakt de ZHHIMG® granieten basis een betrouwbare keuze voor het bereiken van submicronprecisie in halfgeleiderapparatuur, waardoor de halfgeleiderindustrie zich kan ontwikkelen naar nog nauwkeurigere toepassingen.
Geplaatst op: 18 juni 2025