In de precieze wereld van de halfgeleiderproductie is niet-destructief testen van wafers een cruciale schakel om de kwaliteit van chips te garanderen. De ogenschijnlijk onbeduidende granieten basis is in werkelijkheid de "onbezongen held" die de detectienauwkeurigheid bepaalt. Hoe beïnvloedt dit in vredesnaam de testresultaten? Dit artikel voert een diepgaande analyse uit op basis van dimensies zoals materiaaleigenschappen en structureel ontwerp.
1. Stabiele fundering: De natuurlijke voordelen van graniet vormen een solide basis voor precisie
1. Uitstekende seismische prestaties
Tijdens de werking van de wafer-testapparatuur voor niet-destructief testen, zullen de rotatie van de motor en de beweging van mechanische componenten trillingen genereren. Indien deze trillingen niet effectief worden onderdrukt, zullen ze de testnauwkeurigheid ernstig verstoren. De binnenkant van graniet is nauw verweven met minerale kristallen zoals kwarts en veldspaat. De unieke structuur geeft het een natuurlijk trillingsabsorptievermogen, waarmee het meer dan 90% van de trillingsenergie van de apparatuur kan absorberen. De werkelijke meetgegevens van een bepaalde halfgeleiderfabrikant tonen aan dat na gebruik van de granieten basis de trillingsamplitude van de detectieapparatuur is teruggebracht van 12 μm naar 2 μm, waardoor de afwijking van het detectiesignaal als gevolg van trillingen effectief wordt vermeden.
2. Extreem lage thermische uitzettingscoëfficiënt
Tijdens het detectieproces beïnvloeden factoren zoals verwarming van de apparatuur en veranderingen in de omgevingstemperatuur de stabiliteit van de machinebasis. Normale materialen zetten aanzienlijk uit bij verhitting, maar de thermische uitzettingscoëfficiënt van graniet is slechts 1/5 van die van staal. Zelfs bij schommelingen in de omgevingstemperatuur van 10 °C kan de vervorming worden genegeerd. Dit stelt de granieten basis in staat een stabiel referentieplatform te bieden voor de inspectieapparatuur, waardoor de relatieve positie tussen de inspectiesonde en de wafer te allen tijde nauwkeurig blijft en inspectiefouten door thermische vervorming worden vermeden.
Ten tweede, nauwkeurig ontwerp: structurele optimalisatie verbetert de betrouwbaarheid van de detectie verder
Hoge precisie verwerking en vlakheid gegarandeerd
De hoogwaardige granieten basis wordt verwerkt door geavanceerde vijfassige CNC-technologie met een vlakheid van ±0,5 μm/m, wat zorgt voor een ultravlakke installatiereferentie voor inspectieapparatuur. Bij waferinspectie zijn de verticaliteit en waterpasheid van de inspectiesonde cruciaal voor de inspectieresultaten. Een uiterst precieze granieten basis garandeert de precieze positionering van de sonde, waardoor de inspectiegegevens nauwkeuriger en betrouwbaarder worden.
2. Maatwerk structurele aanpassing
Granieten machinevoeten kunnen worden aangepast aan verschillende wafer-apparatuur en procesvereisten voor niet-destructief testen. Om bijvoorbeeld te voldoen aan de eisen van optische inspectieapparatuur voor lichtreflectie, kan het oppervlak van de machinevoet speciaal worden behandeld. Om te voldoen aan de installatievereisten van ultrasoon testapparatuur, kan de voet worden geprefabriceerd met nauwkeurige installatiegaten en kabelgoten, waardoor de apparatuur snel en nauwkeurig kan worden geïnstalleerd en detectieafwijkingen als gevolg van installatiefouten worden verminderd.
Iii. Langetermijnstabiliteit: Verminder het precisieverlies veroorzaakt door apparatuuronderhoud
Graniet heeft een hoge hardheid en een hoge slijtvastheid, met een Mohs-hardheid van 6 tot 7, wat drie keer zo hoog is als de slijtvastheid van gewoon staal. Tijdens langdurige inspecties is het oppervlak van de machinebasis niet onderhevig aan slijtage en behoudt het altijd een goede precisie. Bases van andere materialen daarentegen kunnen door slijtage veranderingen in de installatiereferentie van de apparatuur veroorzaken, wat de detectienauwkeurigheid beïnvloedt en frequente kalibratie en onderhoud vereist. De lange levensduur en hoge stabiliteit van de granieten basis verminderen effectief de onderhoudsfrequentie van de apparatuur en verlagen het risico op precisieverlies dat tijdens het onderhoudsproces kan optreden.
Van schokbestendigheid en hittebestendigheid tot een nauwkeurig ontwerp: elke eigenschap van de granieten basis waarborgt de nauwkeurigheid van niet-destructief testen van wafers. In het huidige tijdperk van halfgeleiderproductie, dat ultieme precisie nastreeft, is de keuze voor een hoogwaardige granieten basis een solide garantie voor de nauwkeurigheid en betrouwbaarheid van de testresultaten.
Plaatsingstijd: 18 juni 2025