Hoe kan een steen een chipdetectie maken die "zo stabiel is als een berg"? Het horizontale mysterie van de granieten basis wordt onthuld.

In het precisielaboratorium voor de productie van chips bevindt zich een ogenschijnlijk onopvallende "held achter de schermen": de granieten machinevoet. Onderschat deze steen niet. Hij is de sleutel tot het garanderen van de nauwkeurigheid van niet-destructief onderzoek van wafers! Laten we vandaag eens kijken hoe hij de detectieapparatuur altijd "horizontaal en verticaal" houdt.

1. Geboren met een "stabiel gen"
Graniet is geen gewone steen. De interne structuur is als een strak in elkaar passende "mineraalpuzzel". Kwarts, veldspaat en andere kristallen zijn dicht op elkaar geplaatst, met een extreem hoge dichtheid en vrijwel geen holtes. Dit is net als het bouwen van een huis met gewapend beton, dat zowel solide als stabiel is. Wanneer de inspectieapparatuur erop "zit", is de vervorming van de granieten basis, zelfs al weegt deze enkele tonnen, verwaarloosbaar, slechts een tiende van die van staal!

Nog indrukwekkender is dat het vrijwel niet bang is voor temperatuurschommelingen. Gewone metalen materialen hebben de neiging om "uit te zetten en aan te komen" bij verhitting en "krimpen en dunner te worden" bij afkoeling. Graniet lijkt echter een "magie van constante temperatuur" te hebben. Wanneer de temperatuur met 1 ℃ schommelt, is de uitzetting en krimp slechts een duizendste van die van een mensenhaar. Opgemerkt moet worden dat zelfs bij een kleine temperatuurverandering in het testlaboratorium de granieten basis de apparatuur stevig kan ondersteunen en voorkomt dat de waterpasheid "afwijkt".
Ten tweede, de verwerkingstechniek van 'duivelse details'
Om de granieten basis nauwkeuriger te maken, gebruikten ingenieurs "zwarte technologie" voor de verwerking. Stel je voor dat je stenen polijst met "superschuurpapier" van diamant - zo werkt een vijfassige slijpmachine. Deze slijpt het granietoppervlak in drie stappen tot een vlakker oppervlak dan een spiegel:

Grof slijpen: Verwijder eerst de oppervlakteoneffenheden van de steen en controleer de vlakheid tot op een twintigste van een menselijke haar.
Halffijn slijpen: Verdere verfijning, waarbij de vlakheid wordt vergroot tot een vijftigste van een menselijke haar.
Fijn slijpen: Tot slot wordt het gepolijst met ultrafijn slijppoeder, waardoor een vlakheid van een duizendste van een mensenhaar wordt bereikt! Op dit punt is het oppervlak van de granieten voet als een "horizontaal podium" op maat gemaakt voor de inspectieapparatuur.

Sommige high-end monturen hebben ook een "slim brein": de ingebouwde, uiterst nauwkeurige waterpas is als een "kleine bewaker" die 24 uur per dag in dienst is. Zodra het detecteert dat het apparaat 0,01 graden gekanteld is (een hoek kleiner dan die van een penpunt), wordt het hydraulische apparaat onmiddellijk geactiveerd en wordt het apparaat binnen 30 seconden "rechtgezet".
Ten derde verbetert het ingenieuze ontwerp de stabiliteit nog verder
De ingenieurs hebben zich ook gebogen over de structuur van de machinebasis. De onderkant heeft de vorm van een zeshoekige honingraat, net als een bijenkorf. Dit vermindert niet alleen het gewicht, maar verdeelt ook de druk gelijkmatig. Wanneer de detectiesonde over de wafer beweegt, is de vervorming op elk punt van de basis vrijwel exact hetzelfde, waardoor de horizontale referentie altijd stabiel blijft.

Nog verbazingwekkender is dat er tussen de basis en de grond een "onzichtbare schokdemper" is geplaatst - een piëzo-elektrische keramische schokdemper. Deze kan, net als een radar, verschillende trillingen van 1 tot 1000 Hz opvangen en direct tegengestelde golven uitzenden om de interferentie "tegen te gaan". Zo zijn bijvoorbeeld de trillingen die worden gegenereerd door de werking van de machines naast de deur of de schokken van voorbijrijdende voertuigen buiten allemaal "nutteloos" voor de schokdemper.
De gegevens spreken voor zich: hoe krachtig is het effect?
In de praktijk zijn de prestaties van de granieten basis werkelijk verbazingwekkend:

Optische inspectie: de nauwkeurigheid van het identificeren van oppervlaktedefecten op wafers is verbeterd van 3 micron naar 1 micron (1 micron = een zestigste van een menselijke haar).
Ultrasoon onderzoek: De fout bij het meten van de waferdikte is met driekwart verminderd.
Langdurig gebruik: Na een jaar onafgebroken gebruik is de verandering in waterpasheid vrijwel te verwaarlozen, terwijl gewone machinevoeten allang "krommend" zijn geworden.

Van de voordelen van natuurlijke materialen tot aan de nauwkeurige verwerking en het innovatieve ontwerp: de granieten sokkel heeft met zijn "sterkte" bewezen dat als u nauwkeurig spaanders wilt detecteren, deze steen echt onmisbaar is!