In de halfgeleiderproductiewerkplaats zijn de eisen aan de omgevingsomstandigheden en de nauwkeurigheid van de apparatuur tijdens het chipfabricageproces extreem hoog. Elke kleine afwijking kan leiden tot een aanzienlijke daling van de chipopbrengst. Het XYZT-precisieportaalplatform maakt gebruik van granieten componenten die samenwerken met andere onderdelen van het platform om een solide basis te vormen voor het bereiken van nauwkeurigheid op nanoschaal.
Uitstekende trillingsdempende eigenschappen.
In de halfgeleiderproductiewerkplaats kunnen de werking van randapparatuur en het rondlopen van personeel trillingen veroorzaken. De interne structuur van granieten componenten is dicht en uniform, met van nature hoge dempende eigenschappen, en fungeert als een efficiënte trillingsbarrière. Wanneer externe trillingen worden overgebracht op het XYZT-platform, kunnen de granieten componenten meer dan 80% van de trillingsenergie effectief dempen en de invloed van trillingen op de bewegingsnauwkeurigheid van het platform verminderen. Tegelijkertijd is het platform uitgerust met een zeer nauwkeurig luchtgeleidingssysteem, dat samenwerkt met de granieten componenten. Het luchtgeleidingssysteem maakt gebruik van een stabiele gasfilm, gevormd door hogedrukgas, om de bewegende delen van het platform contactloos te laten zweven en kleine trillingen als gevolg van mechanische wrijving te verminderen. Samen zorgen deze twee systemen ervoor dat de positioneringsnauwkeurigheid van het platform tijdens cruciale processen zoals chiplithografie en etsen altijd op nanometerniveau blijft en dat afwijkingen in chipcircuitpatronen als gevolg van trillingen worden voorkomen.
Uitstekende thermische stabiliteit
De schommelingen in temperatuur en luchtvochtigheid in de werkplaats hebben een grote invloed op de nauwkeurigheid van de chipfabricageapparatuur. De thermische uitzettingscoëfficiënt van graniet is zeer laag, doorgaans 5-7 × 10⁻⁶/℃, waardoor de afmetingen vrijwel onveranderd blijven bij temperatuurschommelingen. Zelfs als het temperatuurverschil tussen dag en nacht in de werkplaats of de warmteproductie van de apparatuur schommelingen in de omgevingstemperatuur veroorzaakt, blijven de granieten componenten stabiel en wordt vervorming van het platform door thermische uitzetting en krimp voorkomen. Tegelijkertijd bewaakt het intelligente temperatuurregelsysteem van het platform de omgevingstemperatuur in realtime, past het automatisch de airconditioning en warmteafvoer aan en handhaaft het de temperatuur in de werkplaats op 20 °C ± 1 °C. In combinatie met de thermische stabiliteit van graniet zorgt dit ervoor dat de bewegingsnauwkeurigheid van elke as van het platform, zelfs bij langdurig gebruik, altijd voldoet aan de nanometerprecisienormen voor chipfabricage. Dit garandeert een nauwkeurige afmeting van het chiplithografiepatroon en een uniforme etsdiepte.
Voldoen aan de behoeften van een schoon milieu.
De productieomgeving voor halfgeleiders moet een hoge mate van reinheid handhaven om te voorkomen dat stofdeeltjes de chips vervuilen. Graniet zelf produceert geen stof en het oppervlak is glad, waardoor het niet gemakkelijk stof absorbeert. Het platform als geheel is volledig gesloten of halfgesloten ontworpen om de instroom van extern stof te minimaliseren. Het interne luchtcirculatiesysteem is gekoppeld aan het schone luchtconditioneringssysteem van de werkplaats om ervoor te zorgen dat de interne luchtkwaliteit voldoet aan de eisen voor chipfabricage. In deze schone omgeving zullen granieten componenten niet door stoferosie worden aangetast en kunnen belangrijke componenten zoals uiterst nauwkeurige sensoren en motoren van het platform stabiel functioneren. Dit biedt een continue en betrouwbare garantie voor nauwkeurigheid op nanoschaal tijdens de chipfabricage en helpt de halfgeleiderindustrie een hoger procesniveau te bereiken.
Geplaatst op: 14 april 2025