In de halfgeleiderproductiewerkplaats worden extreme eisen gesteld aan de omgevingsomstandigheden en de nauwkeurigheid van de apparatuur tijdens het chipproductieproces. Elke kleine afwijking kan leiden tot een aanzienlijke afname van de chipopbrengst. Het XYZT precisieplatform voor portaalbewegingen is gebaseerd op granietcomponenten die samenwerken met andere onderdelen van het platform om een solide basis te leggen voor het bereiken van nauwkeurigheid op nanoschaal.
Uitstekende trillingsblokkerende eigenschappen
In de halfgeleiderproductiewerkplaats kunnen de bediening van randapparatuur en het rondlopende personeel trillingen veroorzaken. De interne structuur van granietcomponenten is dicht en uniform, met van nature hoge dempingseigenschappen, als een efficiënte trillingsbarrière. Wanneer de externe trillingen worden overgedragen op het XYZT-platform, kan het granietcomponent effectief meer dan 80% van de trillingsenergie dempen en de interferentie van trillingen op de bewegingsnauwkeurigheid van het platform verminderen. Tegelijkertijd is het platform uitgerust met een uiterst nauwkeurig luchtfloatgeleidingssysteem, dat samenwerkt met de granietcomponenten. De luchtfloatgeleiding maakt gebruik van de stabiele gasfilm die wordt gevormd door gas onder hoge druk om de contactloze zwevende beweging van de bewegende delen van het platform te realiseren en de kleine trillingen veroorzaakt door mechanische wrijving te verminderen. Samen zorgen deze twee ervoor dat de positioneringsnauwkeurigheid van het platform altijd op nanometerniveau wordt gehandhaafd in belangrijke processen zoals chiplithografie en etsen, en voorkomen ze afwijkingen in chipcircuitpatronen veroorzaakt door trillingen.
Uitstekende thermische stabiliteit
De schommelingen van temperatuur en vochtigheid in de werkplaats hebben een grote invloed op de nauwkeurigheid van chipproductieapparatuur. De thermische uitzettingscoëfficiënt van graniet is zeer laag, over het algemeen 5-7 × 10⁻⁶/℃, de grootte blijft vrijwel ongewijzigd bij temperatuurveranderingen. Zelfs als het temperatuurverschil tussen dag en nacht in de werkplaats of de warmteproductie van de apparatuur ervoor zorgt dat de omgevingstemperatuur schommelt, kunnen de granietcomponenten stabiel blijven om vervorming van het platform als gevolg van thermische uitzetting en krimp te voorkomen. Tegelijkertijd bewaakt het intelligente temperatuurregelsysteem dat met het platform is uitgerust de omgevingstemperatuur in realtime, past automatisch de airconditioning en warmteafvoerapparatuur aan en handhaaft de werkplaatstemperatuur op 20 ° C ± 1 ° C. Gecombineerd met de voordelen van granieten hittestabiliteit, zorgen ervoor dat het platform bij langdurig gebruik, de bewegingsnauwkeurigheid van elke as altijd voldoet aan de nanometerprecisienormen voor chipproductie, om ervoor te zorgen dat de grootte van het chiplithografiepatroon nauwkeurig is en de etsdiepte uniform is.
Voldoen aan de behoeften van een schone omgeving
De halfgeleiderproductieafdeling moet een hoge mate van reinheid handhaven om te voorkomen dat stofdeeltjes de chip verontreinigen. Graniet produceert zelf geen stof en het oppervlak is glad, waardoor stof niet gemakkelijk wordt geabsorbeerd. Het platform als geheel heeft een volledig gesloten of halfgesloten structuur om het binnendringen van extern stof te verminderen. Het interne luchtcirculatiesysteem is verbonden met het schone airconditioningsysteem van de werkplaats om ervoor te zorgen dat de interne luchtreinheid het vereiste niveau bereikt voor chipproductie. In deze schone omgeving zullen granietcomponenten de prestaties niet beïnvloeden door stoferosie, en belangrijke componenten zoals uiterst nauwkeurige sensoren en motoren van het platform kunnen ook stabiel functioneren, wat een continue en betrouwbare nanoschaalnauwkeurigheid garandeert voor chipproductie en de halfgeleiderindustrie helpt om naar een hoger procesniveau te gaan.
Plaatsingstijd: 14-04-2025