Precisie is de levensader bij het groeven van halfgeleiderwafers. Een onopvallende granieten voet kan een kwalitatieve sprong voorwaarts betekenen in de prestaties van de groefapparatuur! Welke "superkrachten" verbergt het eigenlijk? Waarom wordt er gezegd dat de keuze voor de juiste granieten voet betekent dat je al halverwege bent? Vandaag nemen we je mee om het in detail te onthullen!
I. Inherente sterkte: de drie "inherente voordelen" van graniet
De seismische weerstand is net zo stabiel als Mount Tai
Graniet heeft een dichtheid van maar liefst 2800-3100 kg/m³ en de structuur is zo dicht als een "stenen fort". In de hoogfrequente trillingsomgeving van wafergroeven (de apparatuur groeven meer dan 100 keer per minuut) kan het meer dan 90% van de trillingsenergie absorberen, net als wanneer de apparatuur is uitgerust met "schokabsorberende zwarte technologie"! Meetgegevens van een bepaalde chipfabriek tonen aan dat na gebruik van de granieten basis de trillingsamplitude van de groeffreeskop is afgenomen van 15 μm tot 3 μm, en dat de randen van de gefreesde microgroeven spiegelglad zijn.
2. "Hittebestendige constitutie" Niet bang voor temperatuurverschillen
Gewone materialen "zetten uit en vervormen" bij verhitting en "krimpen en vervormen" bij afkoeling, maar de thermische uitzettingscoëfficiënt van graniet bedraagt slechts 4,8 × 10⁻⁶/℃, wat slechts 1/5 is van die van metalen! Zelfs als de temperatuur in de werkplaats binnen 24 uur sterk met 10℃ fluctueert, is de vervorming minder dan 0,01 mm en bijna verwaarloosbaar. Dit betekent dat, ongeacht de wisseling van dag en nacht of de langdurige werking en warmteontwikkeling van de apparatuur, de granieten basis de sleufpositie te allen tijde "stil" kan houden.
3. Onverwoestbare slijtvastheid
De Mohs-hardheid van graniet bedraagt 6 tot 7, vergelijkbaar met die van kwartssteen, en de slijtvastheid is drie keer zo hoog als die van gewoon staal! Onder de langdurige hoogfrequente wrijving van de wafergroeven slijt het oppervlak van de basis nauwelijks. Nadat een bepaalde gieterij vijf jaar granieten basissen had gebruikt, bleef de vlakheid na inspectie nog steeds binnen ±0,5 μm/m en bleef de groefnauwkeurigheid consistent, wat aanzienlijk bespaarde op de kosten voor apparatuurkalibratie en vervanging.
Ii. Nauwkeurige aanpassing: hoe voldoet graniet aan verschillende groefvereisten?
Scène 1: Ultrafijne groeven (microgroeven van minder dan 10 μm)
Vereiste: Ultieme vlakheid
Voordelen van graniet: Dankzij de vijfassige koppeling en de uiterst precieze bewerking kan de vlakheid worden gecontroleerd binnen ±0,5 μm/m. Dit betekent dat de hoogtefout over een lengte van 1 meter 200 keer kleiner is dan een mensenhaar! Zorg ervoor dat de afstand tussen de groeffreeskop en de wafer altijd nauwkeurig is en dat de breedtefout van de gefreesde microgroeven niet groter is dan ±0,1 μm.
Scène 2: Grooving in massaproductie op hoge snelheid
Vereiste: Super schokabsorptieprestaties
Voordelen van graniet: De natuurlijke dempende eigenschappen van binnenuit kunnen trillingen in apparatuur snel dempen. Nadat een bepaalde paneelfabriek granieten voetstukken introduceerde, steeg de groefsnelheid met 40% en steeg de opbrengst van 85% naar 96%, wat resulteerde in een verdubbeling van de productie-efficiëntie en -kwaliteit!
Scène 3: Groeven in complexe omgeving (hoge temperatuur/corrosie)
Vereisten: Hoge temperatuurbestendigheid en corrosiebestendigheid
Voordelen van graniet: Extreem sterke chemische stabiliteit, bestand tegen zuur- en alkalicorrosie; Het heeft een lage thermische uitzettingscoëfficiënt en vervormt niet, zelfs niet bij de lokale hoge temperatuur (150 °C) tijdens lasergroeven. Een granieten sokkel die in een bepaald laboratorium met een corrosieve groefoplossing is gebruikt, is drie jaar onafgebroken in gebruik geweest en het oppervlak van de sokkel is intact gebleven.
Iii. Hoe kiest u een "echte, hoogwaardige" granieten basis?
Kijk naar de dichtheid: Graniet met een dichtheid van ≥2800kg/m³ heeft een compactere structuur.
Controleer certificeringen: zorg ervoor dat u betrouwbare certificeringen kent, zoals ISO 9001 en CNAS, om de kwaliteit te waarborgen.
Verificatiegegevens: De fabrikant is verplicht testrapporten te verstrekken over de thermische uitzettingscoëfficiënt (< 8×10⁻⁶/℃) en vlakheid (±0,5 μm/m).
Test ter plaatse: Tik op de onderkant. Een duidelijk geluid geeft aan dat er geen scheurtjes in zitten. Als het aanraakoppervlak spiegelglad is, wijst dit op een hoge verwerkingsnauwkeurigheid.
Conclusie: Kies het juiste graniet en u bent al halverwege het groeven!
Van schokbestendigheid en hittebestendigheid tot slijtvastheid: de granieten basis, met zijn "natuurlijke schoonheid" en "hardcore sterkte", is de gouden partner geworden voor wafergroefapparatuur. In het huidige tijdperk van halfgeleiderproductie, dat streeft naar nanoschaalprecisie, is een hoogwaardige granieten basis niet alleen een investering in apparatuur, maar ook een garantie op lange termijn voor productie-efficiëntie en productkwaliteit!
Plaatsingstijd: 17 juni 2025