Op het gebied van hoogwaardige productie en baanbrekend wetenschappelijk onderzoek is de ultraprecieze bewegingsmodule van de luchtvlotter een essentieel onderdeel geworden voor nauwkeurige bediening en metingen, met zijn uitstekende precisieprestaties. De granieten precisiebasis, als ondersteunende kern, stelt hoge eisen aan de werkomgeving en geschikte omgevingsomstandigheden vormen de basis voor stabiele prestaties en optimale resultaten.
Ten eerste, temperatuurcontrole: nauwkeurige "stabilisator"
Hoewel graniet bekend staat om zijn stabiliteit, is het niet volledig immuun voor temperatuurschommelingen. Hoewel de thermische uitzettingscoëfficiënt laag is, doorgaans 5-7 × 10⁻⁶/℃, kunnen subtiele temperatuurschommelingen in ultraprecieze bewegingsbesturingsscenario's toch maatveranderingen veroorzaken en de nauwkeurigheid van de module beïnvloeden. In de werkplaats voor de productie van halfgeleiderchips vereist het lithografieproces een positioneringsnauwkeurigheid op Danami-niveau, en de omgevingstemperatuur fluctueert met 1 °C. De granieten basis met een zijlengte van 1 meter kan een lineaire uitzetting of krimp van 5-7 micron veroorzaken. Deze kleine verandering wordt overgebracht door de ultraprecieze bewegingsmodule van de luchtfloat, wat voldoende is om het lithografiepatroon van de chip te wijzigen en de opbrengst aanzienlijk te verlagen. Daarom moet de ideale werkomgevingstemperatuur, uitgerust met een granieten precisiebasis van de luchtzwevende ultraprecieze bewegingsmodule, worden geregeld op 20 ° C ± 1 ° C, met behulp van zeer nauwkeurige apparatuur voor constante temperatuur, zoals een airconditioningsysteem met constante temperatuur en vochtigheid, continue bewaking en aanpassing van de omgevingstemperatuur, om ervoor te zorgen dat de temperatuurschommelingen binnen een zeer klein bereik blijven, de stabiliteit van de basisgrootte behouden blijft, om ervoor te zorgen dat de module zeer nauwkeurig werkt.
Ten tweede, vochtbeheer: de sleutel tot vochtwerende bescherming van "steen"
Vochtigheid is een andere belangrijke factor die de prestaties van de precisie granieten basis beïnvloedt. In een omgeving met een hoge luchtvochtigheid absorbeert graniet gemakkelijk waterdamp, wat kan leiden tot condensatie op het oppervlak. Dit beïnvloedt niet alleen de verbindingsstabiliteit van het graniet met de ultraprecieze bewegingsmodule van de luchtfloat, maar kan ook oppervlakte-erosie veroorzaken en op de lange termijn de glans en nauwkeurigheid verminderen. Als de luchtvochtigheid in de werkplaats voor het slijpen van optische lenzen gedurende langere tijd hoger is dan 60% RV, zal de op het oppervlak van de granieten basis geadsorbeerde waterdamp de beweging van de gasfloat-slider verstoren, waardoor de nauwkeurigheid van het slijpen van lenzen afneemt en het oppervlak onvolkomenheden vertoont. Daarom moet de relatieve luchtvochtigheid in de werkomgeving strikt worden gecontroleerd tussen 40% en 60% RV. Deze luchtvochtigheid kan in realtime worden bewaakt en aangepast door de installatie van luchtontvochtigers, vochtigheidssensoren en andere apparatuur om schade aan de granieten basis door een hoge luchtvochtigheid te voorkomen en een soepele werking van de ultraprecieze bewegingsmodule van de luchtfloat te garanderen.
Ten derde, de garantie van netheid: de ‘bewaker’ van de precisie
De schade die stofdeeltjes aan de precisie granieten basis van de ultra-precisie bewegingsmodule met luchtflotatie toebrengen, mag niet worden onderschat. Zodra de kleine deeltjes de gasfilmspleet tussen de gasfloatschuif en de granieten basis binnendringen, kunnen ze de uniformiteit van de gasfilm verstoren, de wrijving verhogen en zelfs het oppervlak van de basis krassen, wat resulteert in een verminderde bewegingsnauwkeurigheid. In de ultra-precisie bewerkingswerkplaats van lucht- en ruimtevaartonderdelen kan het bewegingstraject van het bewerkingsgereedschap afwijken als stofdeeltjes in de lucht op de granieten basis vallen, wat de bewerkingsnauwkeurigheid van de onderdelen beïnvloedt. Daarom moet de werkruimte zeer schoon worden gehouden, met een reinheidsnorm van 10.000 of zelfs hoger, door de installatie van luchtreinigingsapparatuur, zoals hoogrendementsluchtfilters (HEPA), die de stofdeeltjes uit de lucht filteren. Tegelijkertijd moet personeel stofvrije kleding, schoenovertrekken, enz. dragen om de door mensen meegebrachte stofdeeltjes te verminderen. Handhaaf een zeer nauwkeurige werkomgeving voor de granieten basis en de ultra-precisie bewegingsmodule met luchtflotatie.
Vier, trillingsisolatie: soepele werking van de "shock pad"
Externe trillingen vormen een bedreiging voor de precisie van de ultraprecieze bewegingsmodule van de airfloat. Hoewel de precisiegranietbasis een zekere trillingsdemping heeft, kunnen de trillingen met hoge sterkte de bufferlimiet overschrijden. De trillingen die worden gegenereerd door het verkeer rond de fabriek en de werking van grote mechanische apparatuur worden via de grond overgebracht op de granietbasis, wat de bewegingsnauwkeurigheid van de ultraprecieze bewegingsmodule van de airfloat beïnvloedt. Bij high-end CMM's kunnen trillingen ertoe leiden dat het contact tussen de meettaster en het te meten werkstuk instabiel wordt, wat resulteert in afwijkingen in de meetgegevens. Om dit probleem op te lossen, zijn effectieve trillingsisolatiemaatregelen noodzakelijk, zoals het leggen van trillingsisolatiepads in de installatieruimte van de apparatuur, het bouwen van een trillingsisolatiefundering of het gebruik van een actief trillingsisolatiesysteem om externe trillingen actief te compenseren en een stille en stabiele werkomgeving te creëren voor de granietprecieze basis en de ultraprecieze bewegingsmodule van de airfloat.
Alleen door volledig te voldoen aan de omgevingsvereisten van temperatuur, vochtigheid, reinheid en trillingscontrole, kan de granieten precisiebasis van de ultra-precieze bewegingsmodule van de luchtvlotter zijn prestatievoordelen ten volle benutten, een betrouwbare garantie bieden voor ultra-precieze bewerkingen in verschillende sectoren en de industrie helpen om over te stappen op een nauwkeuriger productie- en wetenschappelijk onderzoeksniveau.
Plaatsingstijd: 08-04-2025