In de wereld van hoogwaardige productie en baanbrekend wetenschappelijk onderzoek is de uiterst precieze bewegingsmodule van de luchtvlotter dankzij zijn uitstekende precisie een essentieel onderdeel geworden voor nauwkeurige handelingen en metingen. De granieten precisiebasis, als ondersteunende kern, stelt strenge eisen aan de werkomgeving. Geschikte omgevingsomstandigheden zijn de basis voor stabiele prestaties en een optimaal resultaat.
Ten eerste, temperatuurregeling: nauwkeurige "stabilisator".
Hoewel graniet bekendstaat om zijn stabiliteit, is het niet volledig immuun voor temperatuurschommelingen. Ondanks de lage thermische uitzettingscoëfficiënt, doorgaans 5-7 × 10⁻⁶/℃, kunnen subtiele temperatuurschommelingen in uiterst precieze bewegingsbesturingsscenario's toch dimensionale veranderingen veroorzaken en de nauwkeurigheid van modules beïnvloeden. In een werkplaats voor de productie van halfgeleiderchips vereist het lithografieproces een positioneringsnauwkeurigheid op danami-niveau. Bij een omgevingstemperatuurschommeling van 1 °C kan een granieten basis met een zijlengte van 1 meter een lineaire uitzetting of krimp van 5-7 micron ondergaan. Deze kleine verandering wordt doorgegeven aan de uiterst precieze bewegingsmodule van de luchtgeveerde module, wat voldoende is om afwijkingen in het lithografiepatroon van de chip te veroorzaken en de opbrengst aanzienlijk te verminderen. Daarom moet de luchtzwevende ultraprecisie-bewegingsmodule, uitgerust met een granieten precisiebasis, een ideale werkomgevingtemperatuur hebben van 20 °C ±1 °C. Met behulp van zeer nauwkeurige temperatuurregelingsapparatuur, zoals een airconditioningsysteem met constante temperatuur en luchtvochtigheid, wordt de omgevingstemperatuur continu bewaakt en aangepast om temperatuurschommelingen tot een minimum te beperken, de stabiliteit van de basisafmetingen te behouden en een uiterst nauwkeurige werking van de module te garanderen.
Ten tweede, vochtregulatie: de sleutel tot vochtbestendige bescherming van "steen".
Vochtigheid is een andere belangrijke factor die de prestaties van een precisie-granietbasis beïnvloedt. In een omgeving met een hoge luchtvochtigheid absorbeert graniet gemakkelijk waterdamp, wat kan leiden tot condensatie op het oppervlak. Dit beïnvloedt niet alleen de stabiliteit van de verbinding tussen het graniet en de uiterst nauwkeurige bewegingsmodule van de luchtfloat, maar kan op de lange termijn ook leiden tot erosie van het oppervlak en een afname van de glans en nauwkeurigheid. In een werkplaats voor het slijpen van optische lenzen zal, als de luchtvochtigheid gedurende langere tijd hoger is dan 60% RH, de geabsorbeerde waterdamp op het oppervlak van de granietbasis de beweging van de gasfloat belemmeren, waardoor de nauwkeurigheid van het slijpen van de lens afneemt en het oppervlak beschadigd raakt. Daarom moet de relatieve luchtvochtigheid van de werkomgeving strikt worden gecontroleerd tussen 40% en 60% RH. Dit kan in realtime worden gecontroleerd en aangepast door het installeren van ontvochtigers, vochtigheidssensoren en andere apparatuur om schade aan de granietbasis door hoge luchtvochtigheid te voorkomen en de soepele werking van de uiterst nauwkeurige bewegingsmodule van de luchtfloat te garanderen.
Ten derde, de garantie voor reinheid: de "bewaker" van precisie.
De schade die stofdeeltjes toebrengen aan de nauwkeurige granieten basis van de ultraprecisie bewegingsmodule van de luchtflotatie mag niet worden onderschat. Zodra de kleine deeltjes in de gasfilm tussen de gasflotatieschuif en de granieten basis terechtkomen, kunnen ze de uniformiteit van de gasfilm verstoren, de wrijving verhogen en zelfs krassen op het oppervlak van de basis veroorzaken, wat resulteert in een verminderde bewegingsnauwkeurigheid. In een ultraprecisie bewerkingswerkplaats voor ruimtevaartonderdelen kan de bewegingsbaan van het bewerkingsgereedschap afwijken als stofdeeltjes uit de lucht op de granieten basis terechtkomen, wat de bewerkingsnauwkeurigheid van de onderdelen beïnvloedt. Daarom moet de werkruimte zeer schoon worden gehouden, met een reinheidsnorm van 10.000 of hoger, door de installatie van luchtzuiveringsapparatuur, zoals hoogrendementsfilters (HEPA), om stofdeeltjes uit de lucht te filteren. Tegelijkertijd moeten medewerkers stofvrije kleding, schoenovertrekken, enz. dragen om de hoeveelheid stof die door mensen wordt meegebracht te verminderen. Dit is essentieel voor een uiterst nauwkeurige werkomgeving voor de granieten basis en de ultraprecisie bewegingsmodule van de luchtflotatie.
Vier, trillingsisolatie: soepele werking van de "schokdemper".
Externe trillingen vormen een bedreiging voor de precisie van de uiterst nauwkeurige bewegingsmodule van de luchtgeveerde meetinrichting. Hoewel de granieten precisiebasis een zekere mate van trillingsdemping biedt, kunnen sterke trillingen de bufferlimiet toch overschrijden. Trillingen die worden gegenereerd door het verkeer in de fabriek en de werking van grote machines worden via de grond naar de granieten basis overgebracht, wat de nauwkeurigheid van de beweging van de uiterst nauwkeurige bewegingsmodule van de luchtgeveerde meetinrichting beïnvloedt. Bij hoogwaardige CMM's kunnen trillingen leiden tot instabiel contact tussen de meetsonde en het te meten werkstuk, met afwijkingen in de meetgegevens tot gevolg. Om dit probleem op te lossen, is het noodzakelijk om effectieve trillingsisolatiemaatregelen te treffen, zoals het plaatsen van trillingsdempende pads in het installatiegebied van de apparatuur, het bouwen van een trillingsdempende fundering of het gebruik van een actief trillingsisolatiesysteem om externe trillingen actief te compenseren en een stille en stabiele werkomgeving te creëren voor de granieten precisiebasis en de uiterst nauwkeurige bewegingsmodule van de luchtgeveerde meetinrichting.
Alleen door volledig te voldoen aan de milieueisen op het gebied van temperatuur, vochtigheid, reinheid en trillingsbeheersing, kan de granieten precisiebasis van de ultraprecisie bewegingsmodule van de luchtvlotter zijn prestatievoordelen volledig benutten, een betrouwbare garantie bieden voor ultraprecisie bewerkingen in diverse sectoren en de industrie helpen om een hoger niveau van precisieproductie en wetenschappelijk onderzoek te bereiken.
Geplaatst op: 8 april 2025