Op het gebied van precisiefabricage en wetenschappelijk onderzoek is de vlakheid van granieten precisieplatforms een belangrijke indicator voor de nauwkeurigheid van apparatuur. Hieronder vindt u een gedetailleerde introductie tot verschillende gangbare detectiemethoden en hun bedieningsprocedures.
I. Laserinterferometer Detectiemethode
De laserinterferometer is het meest gebruikte instrument voor zeer nauwkeurige vlakheidsdetectie. Neem bijvoorbeeld de ZYGO GPI XP laserinterferometer, met een resolutie tot 0,1 nm. Lijn bij het uitvoeren van de detectie eerst de lichtbron van de interferometer uit met het platform en verdeel het platformoppervlak in rasters van 50 mm × 50 mm. Vervolgens werden de interferentiezoomgegevens puntsgewijs verzameld, waarna de gegevens werden gefit en geanalyseerd met behulp van de Zernike-polynoom om de vlakheidsfout te bepalen. Deze methode is toepasbaar op zeer nauwkeurige platforms en kan vlakheidsfouten van ≤ 0,5 μm/m² detecteren. De methode wordt veel gebruikt bij de detectie van fotolithografiemachines en geavanceerde platforms voor drie-coördinatenmeetmachines.
Ii. Elektronische niveau-arraymethode
De elektronische waterpas-arraydetectie is eenvoudig te bedienen en zeer efficiënt. De TESA A2 elektronische waterpas (met een resolutie van 0,01 μm/m) werd geselecteerd en in een 9×9-array langs de X/Y-asrichting van het platform geplaatst. Door synchroon de hellingsgegevens van elk waterpas te verzamelen en vervolgens de kleinste-kwadratenmethode te gebruiken voor de berekening, kan de vlakheidswaarde nauwkeurig worden bepaald. Deze methode kan de lokale concaviteit en convexiteit van het platform effectief identificeren. Zo kan bijvoorbeeld ook een fluctuatie van 0,2 μm binnen een bereik van 50 mm worden gedetecteerd, wat geschikt is voor snelle detectie in massaproductie.
Iii. Optische vlakke kristalmethode
De optische vlakke kristalmethode is geschikt voor de detectie van platforms met een klein oppervlak. Bevestig het optische vlakke kristal stevig aan het te testen oppervlak op het platform en observeer de interferentielijnen die ertussen ontstaan onder belichting met een monochromatische lichtbron (zoals een natriumlamp). Als de strepen parallelle, rechte strepen zijn, wijst dit op een goede vlakheid. Als er gebogen strepen verschijnen, bereken dan de vlakheidsfout op basis van de kromming van de streep. Elke gebogen streep vertegenwoordigt een hoogteverschil van 0,316 μm en de vlakheidsgegevens kunnen worden verkregen door middel van eenvoudige conversie.
Vier. Drie-coördinaten Meetmachine Inspectiemethode
De drie-coördinatenmeetmachine kan zeer nauwkeurige metingen in de driedimensionale ruimte uitvoeren. Plaats het granieten platform op de werktafel van de meetmachine en gebruik de sonde om gelijkmatig gegevens te verzamelen van meerdere meetpunten op het oppervlak van het platform. Het meetsysteem verwerkt en analyseert deze gegevens om een vlakheidsrapport van het platform te genereren. Deze methode kan niet alleen vlakheid detecteren, maar ook gelijktijdig andere geometrische parameters van het platform bepalen en is geschikt voor de uitgebreide detectie van grote granieten platformen.
Wanneer u deze detectiemethoden beheerst, kunt u de vlakheid van het granieten precisieplatform nauwkeurig beoordelen en een betrouwbare garantie bieden voor de stabiele werking van precisieapparatuur.
Geplaatst op: 29 mei 2025