In de halfgeleiderproductie spelen wafergroefmachines een cruciale rol bij het creëren van nauwkeurige kanalen op wafers. De prestaties van deze machines kunnen aanzienlijk worden beïnvloed.
d door de keuze van de machinebasis. Zeer nauwkeurige granieten machinebasissen, zoals die van ZHHIMG®, zijn in dit opzicht een gamechanger gebleken.
Stabiliteit voor nauwkeurig groeven
Stabiliteit is van het grootste belang bij het groeven van wafers. Graniet, met zijn hoge dichtheid van circa 3100 kg/m³, biedt een extreem stabiele basis. Tijdens het groeven oefent het snijgereedschap kracht uit op de wafer. Een stabiele machinebasis, zoals die van graniet, zorgt ervoor dat het wafer-houdmechanisme stevig op zijn plaats blijft. Deze stabiliteit minimaliseert ongewenste bewegingen of trillingen van de wafer, waardoor het snijgereedschap zeer nauwkeurig groeven kan creëren. Een minder stabiel basismateriaal kan er daarentegen voor zorgen dat de wafer enigszins verschuift, met als gevolg groeven die te breed, te smal of niet recht zijn. Dit kan de functionaliteit van het uiteindelijke halfgeleiderapparaat ernstig beïnvloeden.
Trillingsdemping voor een soepele werking
Trillingen zijn een inherent probleem bij elk bewerkingsproces, en het groeven van wafers vormt daarop geen uitzondering. De hoge rotatiesnelheid van het snijgereedschap in een wafergroefmachine genereert trillingen. Als deze trillingen niet effectief worden gedempt, kunnen ze leiden tot afbrokkeling van de waferranden, ongelijkmatige groefdieptes en een slechte oppervlakteafwerking. Graniet heeft uitstekende trillingsdempende eigenschappen. De natuurlijke structuur, bestaande uit in elkaar grijpende mineraalkorrels, fungeert als een natuurlijke schokdemper. Wanneer trillingen optreden, wordt de energie in het graniet gedissipeerd, waardoor de impact op de wafer en het snijgereedschap wordt verminderd. Dit resulteert in soepelere snijbewerkingen, een langere levensduur van het gereedschap en wafers met groeven van hogere kwaliteit.
Thermische weerstand voor consistente resultaten
Fabrieken voor de productie van halfgeleiders werken vaak in gecontroleerde omgevingen, maar er kunnen nog steeds kleine temperatuurschommelingen optreden. Graniet heeft een zeer lage thermische uitzettingscoëfficiënt. Dit betekent dat wanneer de temperatuur tijdens het groeven van de wafer licht verandert (door de warmte die door het snijgereedschap wordt gegenereerd of door variaties in de omgevingstemperatuur), de granieten machinebasis niet significant uitzet of krimpt. Bij het groeven van wafers, waar precisietoleranties in het micrometer- of zelfs nanometerbereik liggen, kunnen door warmte veroorzaakte dimensionale veranderingen desastreus zijn. De thermische stabiliteit van graniet helpt de uitlijning van de machineonderdelen te behouden, waardoor het groevenproces in de loop der tijd nauwkeurig en consistent blijft.
Duurzaamheid voor langdurig gebruik
Wafergroefmachines worden continu gebruikt in de grootschalige productie van halfgeleiders. De machinebasis wordt blootgesteld aan mechanische spanning, wrijving en incidentele stoten. De hoge hardheid en slijtvastheid van graniet maken het een ideaal materiaal voor langdurig gebruik. Het kan de zware omstandigheden van dagelijks gebruik doorstaan zonder noemenswaardige slijtage of vervorming. Deze duurzaamheid vermindert de noodzaak tot frequente vervanging of kostbaar onderhoud als gevolg van problemen met de basis. Bovendien is graniet chemisch inert, wat betekent dat het bestand is tegen corrosie door de chemicaliën die worden gebruikt in de halfgeleiderproductieprocessen, waardoor de levensduur verder wordt verlengd.
Kortom, een uiterst nauwkeurige granieten machinebasis kan de prestaties van wafergroefmachines aanzienlijk verbeteren. Door stabiliteit te bieden, trillingen te dempen, temperatuurschommelingen te weerstaan en een lange levensduur te garanderen, dragen granieten machinebases bij aan nauwkeurigere, efficiëntere en betrouwbaardere wafergroefbewerkingen. Bij de overweging om wafergroefmachines te upgraden of aan te schaffen, is de keuze voor een machine met een uiterst nauwkeurige granieten machinebasis, zoals die van ZHHIMG®, een verstandige beslissing die de kwaliteit en productiviteit van de halfgeleiderproductie aanzienlijk kan verbeteren.
Geplaatst op: 3 juni 2025