Een revolutie in de precisie van het snijden van wafers! Hoe handhaaf je een positionering van ±5 µm voor een granieten basis?

In de ultieme strijd om "nanoprecisie" in de halfgeleiderproductie kan zelfs de kleinste fout in de wafer-snijapparatuur een chip onbruikbaar maken. De granieten basis is de onbezongen held die de herhaalbare positioneringsnauwkeurigheid van ±5 µm garandeert en met zijn drie natuurwonderen de regels van precisieproductie herschrijft.

Het "stabiliserende anker" tegen thermische vervorming: De thermische uitzettingscoëfficiënt van graniet is slechts 5-7 × 10⁻⁶/℃, wat slechts een derde is van die van metalen materialen. Onder de hitte die ontstaat door de hoge snelheid van de wafer-snijmachine, zullen gewone materialen vervormen door thermische uitzetting en krimp, waardoor de positionering van de snijkop verschuift. De granieten basis blijft echter "onbeweeglijk", waardoor de positioneringsafwijking als gevolg van thermische vervorming in principe wordt geëlimineerd en een solide basis voor precisie wordt gelegd.

Het "stille schild" van trillingsdemping: Het constante gebrul van werktuigmachines en de continue trillingen van apparatuur in de werkplaats kunnen worden beschouwd als "fatale moordenaars" voor precisie. De unieke kristalstructuur van graniet werkt als een natuurlijke schokdemper, die externe trillingen en mechanische trillingen die door de werking van de apparatuur worden gegenereerd, snel omzet in warmte-energie voor afvoer. Terwijl andere onderstellen nog steeds "wiebelen" door de trillingen, biedt het granieten onderstel een stabiel platform voor de snijkop, waardoor deze onbeweeglijk blijft en een nauwkeurigheid van ±5 µm mogelijk is.

Corrosiebestendig "Eeuwig Fort": Halfgeleiderwerkplaatsen zitten vol met corrosieve stoffen zoals etsoplossingen en zure en alkalische reinigingsmiddelen. In zo'n omgeving zullen metalen onderdelen geleidelijk roesten en vervormen. Graniet, met zijn inherente chemische stabiliteit, reageert helemaal niet met deze chemische stoffen. Hoe lang het ook gebruikt wordt, het behoudt zijn structurele integriteit en garandeert continu uiterst nauwkeurig snijden.

Van materiaalkundige kwaliteiten tot uiterst precieze bewerking: de granieten basis heeft met zijn sterkte bewezen dat niet alle materialen bestand zijn tegen de zware eisen van de halfgeleiderproductie. Juist vanwege deze onvervangbare natuurlijke voordelen zijn granieten bases de sleutel geworden tot het bereiken van een herhaalbare positioneringsnauwkeurigheid van ±5 µm met behulp van wafer-snijmachines, en hebben ze de halfgeleiderindustrie ertoe aangezet om continu te streven naar hogere precisie!