In de precieze wereld van de halfgeleiderproductie is niet-destructief onderzoek van wafers een cruciale schakel om de kwaliteit van chips te waarborgen. De ogenschijnlijk onbeduidende granieten basis is in werkelijkheid de "onbezongen held" die de nauwkeurigheid van de detectie bepaalt. Hoe beïnvloedt deze basis de testresultaten? Dit artikel zal een diepgaande analyse uitvoeren vanuit aspecten zoals materiaaleigenschappen en structureel ontwerp.
1. Stabiele fundering: De natuurlijke voordelen van graniet vormen een solide basis voor precisiewerk.
1. Uitstekende aardbevingsbestendigheid
Tijdens de werking van de wafer-niet-destructieve testapparatuur genereren de rotatie van de motor en de beweging van de mechanische componenten trillingen. Als deze trillingen niet effectief worden onderdrukt, kunnen ze de nauwkeurigheid van de test ernstig beïnvloeden. Graniet is van binnen sterk verweven met minerale kristallen zoals kwarts en veldspaat. De unieke structuur geeft het een natuurlijk trillingsabsorberend vermogen, waardoor het meer dan 90% van de trillingsenergie van de apparatuur kan absorberen. Uit meetgegevens van een bepaalde halfgeleiderfabrikant blijkt dat na gebruik van een granieten basis de trillingsamplitude van de detectieapparatuur is gereduceerd van 12 μm naar 2 μm, waardoor de afwijking van het detectiesignaal als gevolg van trillingen effectief wordt voorkomen.
2. Extreem lage thermische uitzettingscoëfficiënt
Tijdens het detectieproces beïnvloeden factoren zoals opwarming van de apparatuur en veranderingen in de omgevingstemperatuur de stabiliteit van de machinebasis. Gewone materialen zetten aanzienlijk uit bij verhitting, maar de thermische uitzettingscoëfficiënt van graniet is slechts 1/5 van die van staal. Zelfs bij een temperatuurschommeling van 10℃ is de vervorming verwaarloosbaar. Hierdoor biedt de granieten basis een stabiel referentieplatform voor de inspectieapparatuur, waardoor de relatieve positie tussen de inspectiesonde en de wafer te allen tijde nauwkeurig blijft en inspectiefouten als gevolg van thermische vervorming worden voorkomen.
Ten tweede, nauwkeurig ontwerp: structurele optimalisatie verbetert de betrouwbaarheid van de detectie verder.
Zeer nauwkeurige bewerking en gegarandeerde vlakheid.
De hoogwaardige granieten basis is vervaardigd met behulp van geavanceerde vijfassige CNC-technologie, met een vlakheid van ±0,5 μm/m, waardoor een ultravlakke montagebasis voor inspectieapparatuur wordt geboden. Bij waferinspectie zijn de verticaliteit en waterpasheid van de inspectiesonde cruciaal voor de inspectieresultaten. Een zeer nauwkeurige granieten basis kan de precieze positionering van de sonde garanderen, waardoor de inspectiegegevens nauwkeuriger en betrouwbaarder worden.
2. Maatwerk structurele aanpassing
Granieten machinebases kunnen worden aangepast aan de specifieke eisen van verschillende wafer-niet-destructieve testapparatuur en -processen. Om bijvoorbeeld te voldoen aan de eisen van optische inspectieapparatuur voor lichtreflectie, kan het oppervlak van de machinebasis speciaal worden behandeld. Om te voldoen aan de installatie-eisen van ultrasone testapparatuur, kan de basis worden geprefabriceerd met nauwkeurige montagegaten en kabelgoten, waardoor de apparatuur snel en nauwkeurig kan worden geïnstalleerd en detectieafwijkingen als gevolg van installatiefouten worden verminderd.
III. Stabiliteit op lange termijn: Verminder het precisieverlies als gevolg van onderhoud aan de apparatuur.
Graniet heeft een hoge hardheid en een sterke slijtvastheid, met een Mohs-hardheid van 6 tot 7, wat driemaal zo hoog is als de slijtvastheid van gewoon staal. Tijdens langdurige inspectiewerkzaamheden is het oppervlak van de machinebasis niet gevoelig voor slijtage en behoudt het altijd een goede precisie. Daarentegen kunnen bases van andere materialen door slijtage veranderingen in de installatie-referentie van de apparatuur veroorzaken, waardoor de detectienauwkeurigheid wordt beïnvloed en frequente kalibratie en onderhoud nodig zijn. De lange levensduur en hoge stabiliteit van de granieten basis verminderen effectief de frequentie van apparatuuronderhoud en verlagen het risico op precisieverlies tijdens het onderhoud.
Van schokbestendigheid en hittebestendigheid tot een nauwkeurig ontwerp: elk aspect van de granieten basis draagt bij aan de nauwkeurigheid van niet-destructief onderzoek van wafers. In het huidige tijdperk van halfgeleiderproductie, waarin ultieme precisie centraal staat, is de keuze voor een hoogwaardige granieten basis als het toevoegen van een solide verzekeringslaag aan de nauwkeurigheid en betrouwbaarheid van de testresultaten.
Geplaatst op: 18 juni 2025