Veel precisie-inspectietaken zijn gevoelig voor magnetische interferentie. Conventionele metalen portaalconstructies fungeren onder dergelijke omstandigheden als verborgen foutbronnen. Stalen en gietijzeren portaalconstructies zijn magnetisch geleidend. Zelfs zonder externe magnetische velden kunnen zwakke magnetische velden, gegenereerd door omringende motoren, kabels en elektromagnetische aandrijfcomponenten, worden geabsorbeerd en doorgegeven door metalen frames, wat resulteert in lokale magnetische veldvervorming. Bij inspectietaken die gevoelig zijn voor magnetische velden, zal een dergelijke magnetische verstoring sensorwaarden vertekenen, optische detectoren beïnvloeden of de magnetische toestand van testmonsters veranderen, wat direct leidt tot inspectiefouten. De inherente niet-magnetische eigenschap van beweegbare portaalconstructies van graniet voorkomt magnetische interferentie van het ondersteunende frame, waardoor ze ideale dragers zijn voor magnetisch gevoelige inspectiescenario's.
Graniet is een aggregaat van natuurlijke silicaatmineralen en bevat geen ferromagnetische stoffen. Het kan niet gemagnetiseerd worden en behoudt geen restmagnetisme. In tegenstelling tot metalen frames, zullen granieten portaalconstructies de oorspronkelijke magnetische veldverdeling niet veranderen, noch magnetische velden convergeren of breken onder wisselende of statische zwakke magnetische velden rondom de apparatuur. Wanneer inspectiemachines zijn uitgerust met gevoelige componenten zoals magnetische sensoren, Hall-sondes en magnetische krachtmicroscopen, zal de ondersteunende portaalconstructie geen extra magnetische ruis introduceren. Signalen die door sondes worden opgevangen, zijn uitsluitend afkomstig van de te testen monsters en niet van magnetische interferentie van het frame. Deze natuurlijke niet-magnetische eigenschap vereist geen extra afschermende coating, waardoor er geen prestatievermindering optreedt door veroudering of afbladdering van de coating. Het blijft stabiel niet-magnetisch gedurende langdurig gebruik.
Sommige waferinspectieprocessen in de halfgeleiderindustrie vereisen strikte controle over omgevingsmagnetische velden. Nauwkeurige circuitstructuren in wafers zijn extreem gevoelig voor strooimagnetische velden, die niet alleen de signaalverwerving tijdens inspectie beïnvloeden, maar in ernstige gevallen ook microcircuits op de wafers kunnen beschadigen. Bij scanplatforms met metalen portaalconstructies vormen de magnetische velden die worden gegenereerd door lineaire motoren en servokabels wervelstromen en magnetische lussen op metalen frames, waardoor lokale magnetische fluctuaties worden versterkt. Bewegende portaalconstructies van graniet dragen niet bij aan de vorming van magnetische lussen en helpen een zuivere magnetische omgeving binnen de inspectiezone te behouden. Wanneer de portaalconstructie optische of magnetische detectiemodules aandrijft voor scannen over grote afstanden, zal de beweging van het frame geen onmiddellijke magnetische verstoring veroorzaken en zorgt dit voor consistente inspectiegegevens over de gehele wafer.
Niet-destructief onderzoek van magnetische materialen is een ander scenario dat sterk afhankelijk is van niet-magnetische ondergronden. Prestatieonderzoek van permanente magneten, zachte magnetische films en magnetische sensoren vereist een nauwkeurige detectie van zwakke magnetische signalen van de monsters. Als er magnetisch geleidende portaalconstructies worden gebruikt, zal het frame de magnetische veldlijnen van de monsters aantrekken, de vorm van het magnetische veld rond de monsters vervormen en leiden tot vertekende metingen van magnetische flux en magnetische veldsterkte. Granieten portaalconstructies, die als dragend element fungeren, interfereren niet met het pad van de magnetische veldlijnen. De door de probes verzamelde gegevens kunnen de intrinsieke magnetische eigenschappen van de monsters nauwkeurig weergeven. Grote portaalconstructies kunnen probes dragen om grote magnetische materiaaloppervlakken te scannen. Tijdens continue dynamische inspectie introduceert het niet-magnetische frame geen dynamische magnetische interferentie wanneer de schuif beweegt.
De inspectie van zwakke magnetische defecten in elektronische componenten profiteert ook van de niet-magnetische eigenschappen van granieten portaalconstructies. Kleine precisiecomponenten zoals chip-leadframes, miniatuurrelais en magnetische kernen van sensoren moeten tijdens de productie worden gecontroleerd op subtiele magnetische anomalieën. Magnetische signalen die overeenkomen met dergelijke defecten zijn extreem zwak en extra magnetische ruis zal geldige signalen overstemmen. Metalen portaalconstructies produceren bovendien tribomagnetisatie en wervelstroomeffecten tijdens beweging, wat de achtergrondruis verder verhoogt. Bewegende granieten portaalconstructies hebben deze problemen niet. Het frame genereert geen extra magnetische signalen tijdens snelle heen-en-weergaande bewegingen en het starten en stoppen, waardoor zwakke magnetische defectsignalen stabiel kunnen worden gedetecteerd door de apparatuur. 
Sommige geïntegreerde vacuüm- en lage-temperatuurinspectieapparatuur geeft de voorkeur aan niet-magnetische granieten portaalconstructies. Dergelijke apparatuur heeft een beperkte interne ruimte met dicht opeengepakte aandrijf- en sensorcomponenten, wat een complexe elektromagnetische omgeving creëert. De magnetische permeabiliteit van metalen frames verandert bij lage temperaturen en de mate van magnetische interferentie fluctueert met de temperatuur, wat extra onzekerheid in de inspectieresultaten brengt. De fysische eigenschappen van graniet blijven stabiel over een breed temperatuurbereik en de niet-magnetische eigenschap ervan wordt niet beïnvloed door lage temperaturen of vacuümomgevingen. Het portaalframe kan in vacuümkamers worden geïntegreerd om detectiemechanismen voor het scannen van monsters aan te drijven zonder variabele magnetische interferentie te introduceren als gevolg van veranderende omgevingsomstandigheden.
Bovenop het niet-magnetische frame heeft graniet zelf een hoge stijfheid en minimale vervorming, waardoor aan de dubbele precisie-eisen voor magnetisch gevoelige inspectie wordt voldaan. Veel niet-magnetische, niet-metalen materialen missen voldoende stijfheid, waardoor portaalschuiven tijdens snelle bewegingen elastisch gaan trillen en positioneringsfouten veroorzaken. Geïntegreerde granieten structuren bieden voldoende stijfheid en minimale vervorming tijdens beweging. Ze behouden een magnetisch schone omgeving en zorgen voor positionering op micronniveau, waarbij stabiele magnetische omstandigheden en een hoge bewegingsnauwkeurigheid worden gecombineerd. Lokale magnetische isolatie kan worden toegepast op metalen onderdelen zoals geleiderails en bevestigingsmiddelen. In combinatie met het niet-magnetische granieten hoofdgedeelte kan de algehele magnetische interferentie van het gehele portaalsysteem tot een extreem laag niveau worden beperkt, waardoor aan de strenge eisen van diverse speciale inspectiescenario's kan worden voldaan.
Geplaatst op: 20-09-2026