Het granieten platform, als referentie-instrument voor nauwkeurige metingen en bewerkingen, heeft een directe invloed op de nauwkeurigheid ervan en daarmee op de productiekwaliteit. Hieronder volgt een systematisch onderhoudsplan met aandacht voor omgevingscontrole, dagelijks onderhoud en professionele kalibratie, om ervoor te zorgen dat het platform gedurende lange tijd een nauwkeurigheid op nanometerniveau behoudt.
1. Milieubeheersing: Bouw een nauwkeurige beschermingsbarrière.
Temperatuur- en vochtigheidsbeheer
De temperatuur in de werkomgeving moet stabiel blijven op 20 ± 1 °C. Elke schommeling van 1 °C veroorzaakt thermische vervorming van het granieten platform van 0,5-1 μm/m. Er kan een temperatuurregelsysteem in de werkplaats worden geïnstalleerd om te voorkomen dat de lucht uit de airconditioningopeningen direct op het platform blaast.
De luchtvochtigheid moet tussen de 40% en 60% worden gehouden. Een te hoge luchtvochtigheid kan gemakkelijk roestvorming op metalen onderdelen veroorzaken, terwijl een te lage luchtvochtigheid statische elektriciteit kan veroorzaken die de meting verstoort.
Trillingsisolatie
Het platform moet uit de buurt van trillingsbronnen zoals stempelmachines en freesmachines worden gehouden. Het wordt aanbevolen om een afstand van meer dan 3 meter tot trilapparatuur aan te houden.
Als trillingen niet te vermijden zijn, kunnen luchtgeveerde schokdempers aan de onderkant van het platform worden geïnstalleerd om de invloed van omgevingstrillingen op de vlakheid van het platform te verminderen (waardoor externe trillingen met meer dan 80% kunnen worden gereduceerd).
2. Dagelijks onderhoud: Nauwgezette controle van reiniging tot bescherming
Specificaties voor oppervlaktereiniging
Stof verwijderen: Veeg het oppervlak dagelijks in dezelfde richting af met een hertenleren doek of een pluisvrije doek om te voorkomen dat stofdeeltjes (≥5 μm) krassen op het platform veroorzaken. Hardnekkige vlekken kunnen voorzichtig worden verwijderd met watervrije ethanol (zuiverheid ≥99,7%). Sterke oplosmiddelen zoals aceton mogen niet worden gebruikt.
Ontvetten: Als het in contact komt met olievlekken, veeg het dan af met een verdunde neutrale reiniger, spoel het vervolgens af met gedemineraliseerd water en laat het aan de lucht drogen om te voorkomen dat minerale olie in de kleine poriën van het platform doordringt.
Laad- en botsingsbeveiliging
Het draagvermogen van het platform moet beperkt blijven tot maximaal 70% van de nominale belasting (bijvoorbeeld, voor een platform van 1000 kg wordt aanbevolen dat de belasting ≤700 kg is) om permanente vervorming door plaatselijke overbelasting te voorkomen.
Het is ten strengste verboden om werkstukken op het platform te slaan. Draag bij het hanteren van gereedschap zachte handschoenen om te voorkomen dat scherpe voorwerpen krassen op het oppervlak veroorzaken (krassen met een diepte van meer dan 20 μm beïnvloeden de meting van het gereflecteerde lichtpad).
3. Professionele kalibratie: De kern van het wetenschappelijk waarborgen van nauwkeurigheid
Instelling van de kalibratiecyclus
Gebruiksscenario's volgens de standaardprocedure: Kalibreer eenmaal per kwartaal en gebruik een laserinterferometer om de vlakheid te meten (met een nauwkeurigheid van ±0,5 μm/m).
Bij intensief gebruik of in zware omstandigheden: Maandelijkse kalibratie, met speciale aandacht voor temperatuurgevoelige gebieden (zoals de rand van het platform in de buurt van warmtebronnen).

Verwerking na kalibratie
Indien een afwijking in de vlakheid wordt geconstateerd (bijvoorbeeld > ±1 μm/m), dient het oppervlak te worden geslepen en gerepareerd door een professionele technicus met W1.5 micropoeder. Zelf slijpen met schuurpapier is ten strengste verboden.
Na de kalibratie moeten de gegevens worden vastgelegd en gearchiveerd, en moet een nauwkeurigheidscurve van het platform worden opgesteld om de onderhoudsbehoeften vooraf te voorspellen.
4. Opslag en transport: Voorkom verborgen precisieverlies.
Belangrijke aandachtspunten voor langdurige opslag
Bij opslag dient het platform afgedekt te worden met een vocht- en stofwerende hoes. De onderkant moet op drie punten ondersteund worden (de steunpunten bevinden zich op 2/9 van de lengte van het platform) om doorbuiging door de zwaartekracht te voorkomen (een platform van 1 meter kan door langdurige ondersteuning op één punt 0,3 μm doorzakken).
Verplaats de steunpunten van het platform regelmatig (maandelijks) om lokale druk op de lange termijn te voorkomen.
Transportbeschermingsplan
Transport over korte afstanden: Wikkel het in schokabsorberend schuim, bevestig het in een stevig frame en houd de versnelling binnen 2g.
Transport over lange afstanden: Het product moet vacuüm verpakt en gevuld zijn met droge stikstof. Na aankomst moet het 24 uur blijven staan totdat de temperatuur stabiel is voordat het wordt uitgepakt. Dit voorkomt dat condenswater de nauwkeurigheid beïnvloedt.
5. Foutvoorspelling: Technieken voor het vroegtijdig opsporen van problemen
Visuele inspectie: Bekijk het oppervlak regelmatig met een vergrootglas met 40x vergroting. Als er aanhoudende krassen of een aanzienlijke afname van de glans worden geconstateerd, kan dit duiden op een verminderde nauwkeurigheid.
Geluidsdetectie: Tik zachtjes op het platform. Als het geluid hees wordt (normaal gesproken moet het een helder geluid zijn), kunnen er microbarsten in het apparaat zitten. Stop onmiddellijk met het gebruik ervan om dit te laten controleren.
Dankzij dit onderhoudssysteem kan het ZHHIMG® granieten platform een vlakheid van ±1 μm/m gedurende 10 jaar behouden, wat meer dan drie keer langer is dan de precisielevensduur van platforms die niet goed worden onderhouden. De praktijk heeft bewezen dat na de implementatie van deze oplossing door een bepaalde halfgeleiderfabriek de frequentie van platformkalibratie met 50% is verminderd en de jaarlijkse onderhoudskosten met meer dan 150.000 yuan zijn bespaard.
Geplaatst op: 18 juni 2025
